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佐藤 英樹

所属

三重大学
大学院工学研究科
電気電子工学専攻

役職

教授

学位

博士 (工学)

専門

  • 薄膜・表面物性工学
  • ナノ材料工学

経歴

  • 1996年〜2000年 アネルバ (株) (現 キヤノンアネルバ) 半導体装置事業部 技術担当
    上記期間中、量産用スパッタリング装置、プラズマCVD装置およびMOCVD装置の開発業務に従事
  • 2000年〜2007年 三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 助手
  • 2002年〜2003年 米国ノースカロライナ大学チャペルヒル校 客員研究員
    上記期間中、各種成膜法を使用したナノカーボン材料の合成およびその応用に関する研究に従事
  • 2008年〜2022年 三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 准教授
  • 2023年〜 三重大学 大学院 工学研究科 電気電子工学専攻 教授

学協会

  • 応用物理学会
  • 日本真空学会
  • 日本表面科学会
  • フラーレン・ナノチューブ・グラフェン学会

講演するセミナー

会場 開催方法
2025/7/30 薄膜技術の基礎 オンライン

講演したセミナー

会場 開催方法
2019/8/21 薄膜作製の基礎とトラブル対策 東京都
2018/7/3 薄膜作製の基礎とトラブル対策 大阪府
2017/7/21 薄膜作製の基礎とトラブル対策 東京都
2016/7/29 薄膜作製の基礎とトラブル対策 東京都