佐藤 英樹
経歴
- 1996年〜2000年 アネルバ (株) (現 キヤノンアネルバ) 半導体装置事業部 技術担当
上記期間中、量産用スパッタリング装置、プラズマCVD装置およびMOCVD装置の開発業務に従事
- 2000年〜2007年 三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 助手
- 2002年〜2003年 米国ノースカロライナ大学チャペルヒル校 客員研究員
上記期間中、各種成膜法を使用したナノカーボン材料の合成およびその応用に関する研究に従事
- 2008年〜2022年 三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻 准教授
- 2023年〜 三重大学 大学院 工学研究科 電気電子工学専攻 教授
学協会
- 応用物理学会
- 日本真空学会
- 日本表面科学会
- フラーレン・ナノチューブ・グラフェン学会