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流れの可視化を踏まえた半導体洗浄技術のポイント

流れの可視化を踏まえた半導体洗浄技術のポイント

オンライン 開催

開催日

  • 2023年7月21日(金) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • 半導体洗浄技術を構成している要素・要点を知りたい技術者
  • 半導体洗浄技術の課題を理解しているが、その解決方法を模索している技術者

修得知識

  • 先端材料の洗浄方法を構成する要素
  • 「清浄」とは目的に合わせた操作であること
  • キレイにするための表面の取扱い方
  • 洗浄するための水流と気泡の使い方と作り方
  • 生産プロセスに共通して潜在する基礎現象 (流れ・気泡などの動きと設計) の考え方

プログラム

 水の流れを一つの軸にすると、半導体洗浄が直感でわかるようになってきます。それを目指して、基礎現象の理解から困った時の対策までの考え方を1日で説明します。
 半導体にとって「清浄・きれい」とは何かを考え、水の流れを動画で眺めると、洗浄とは何をどうすることなのかが感じ取れます。ここでは、身近な流れの動画を見て感覚をつかみ、枚葉式洗浄機とバッチ式洗浄機の流れを可視化観察動画と計算例で理解します。超音波の効果についても流れと気泡の動画を見るとイメージが湧きます。
 最後には、足元をすくわれた時の視点と対策を紹介して締め括ります。最近のこととしては、半導体電子回路の微細化が進むことに伴って取り入れるべき視点についても考えてみます。工学の初歩から応用のつながりまで説明しますので、半導体以外の洗浄や洗浄以外のプロセス技術者にも参考になります。

  1. 洗う理由:汚れは何?いつ、どこからなぜやって来る?
  2. 一般の洗浄
    • 洗浄の4要素
      • 温度
      • 時間
      • 化学
      • 力学
  3. 半導体の洗浄に特有のこと (何故、そこまでして洗うのか)
  4. 先端技術情報 (半導体洗浄を取扱っている国際学会・国内学会)
  5. 半導体洗浄の基礎現象 (薬液と流れの効果)
    1. 表面の現象とプロセス
      • 付着
      • 脱離
      • 引き剥がす
      • 乾かす
    2. 流れ、熱、拡散、反応 (洗う=汚れを動かす操作)
    3. 装置内流れの種類
      • 完全混合
      • 押出流れ
      • 境界層
    4. 流れの可視化観察 (「流れ」と「拡散」の感覚を動画で)
  6. 洗浄機内の流れと反応
    1. 枚葉式洗浄機
      1. 水の流れの実例 (観察動画と計算例)
      2. 化学反応の例 (表面反応もここまで分かる)
    2. バッチ式洗浄機
      1. 水の流れの実例 (観察動画と計算例)
      2. 水流を最適化した事例 (入口と出口を変える)
    3. 超音波の働き
      1. 水と気泡の動きの実例 (観察動画)
  7. 洗浄結果の評価方法
  8. まとめ:困った時の視点と対策 (境界層を壊そう!)
    • 質疑応答

主催

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お問い合わせ

本セミナーに関するお問い合わせは tech-seminar.jpのお問い合わせからお願いいたします。
(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)

受講料

1名様
: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります)

案内割引・複数名同時申込割引について

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「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。

  • R&D支援センターからの案内を希望する方
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
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    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)

ライブ配信セミナーについて

  • 本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
  • お申し込み前に、 視聴環境テストミーティングへの参加手順 をご確認いただき、 テストミーティング にて動作確認をお願いいたします。
  • 開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。
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  • Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。
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本セミナーは終了いたしました。

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