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高周波弾性波デバイスの基礎、応用、今後の技術動向

高周波弾性波デバイスの基礎、応用、今後の技術動向

オンライン 開催

概要

本セミナーでは、弾性体や圧電体の基本的な考え方・理論、BAWやSAWの原理、種類や励振方法から今後のFBARやSAWの技術の動向などについて講演いたします。

開催日

  • 2023年7月11日(火) 10時30分 16時30分

受講対象者

  • BAW (FBAR) ・SAWデバイス関係セールスエンジニア
  • BAW (FBAR) ・SAW・板波開発担当者
  • BAW (FBAR) ・SAW・板波実用化担当者
  • BAW (FBAR) ・SAW・板波製造担当者
  • 新しい弾性波デバイス研究担当者、開発企画担当者

修得知識

  • 弾性体、圧電体の基礎
  • 一般的なFBAR、SAW、板波の知識
  • BAW、FBAR、板波の基礎、原理
  • FBAR、SAW用材料
  • BAW、FBAR、板波の各種振動モードの種類
  • FBAR、SAWフィルタの原理、応用例
  • 技術開発、実用化の秘訣
  • 技術者に期待されること

プログラム

 圧電薄膜バルク波共振子 (BAW) や弾性表面波 (SAW) は小形、軽量、周波数無調整、高信頼性、高周波化対応可能等の特徴を持つ。SAWの民生用への応用はテレビの映像中間周波数 (VIF) 用フィルタが最初で、その後SAWデバイスは自動車電話、コードレス電話、ペジャ用などへの応用を経て、今や携帯電話、スマートフォンに欠かせない重要な部品となっている。一方、BAWは携帯電話の普及により採用され、当時、SAWの比べて急峻な特性を持つため、急峻な特性が要求されるbandを中心に採用されるようになった。近年のスマートフォンの普及により、両デバイスは、それぞれ特徴を生かしたBandに使用されている。また近年の周波数の混雑対策として、SAWでも急峻な特性が得られるようになってきている。今後、急峻な特性と良好な温度特性をもつフィルタ特性に加え、キャリアアグリゲーションシステムの普及により、広い周波数範囲でスプリアスのないフィルタや第5世代用あるいは次の世代用高周波フィルタが要求されるなど、ますますFBARやSAWフィルタへの期待が高くなっている。
 講師は、BAWや良質なZnO膜の開発に加え、TV用SAWフィルタ実用化の黎明期から現在に至るまで、SAWの開発・実用化・製造に取り組んできている。これらの経験を活かし、弾性体や圧電体の基本的な考え方・理論、BAWやSAWの原理、BAWやSAWの種類や励振方法、それらに適した材料、それらを応用したFBARやSAW共振子、ラダーフィルタへの原理・構成方法、実用化成功の秘訣、今後のBAWやSAWの技術の動向などについて講演する。

  1. 弾性体の基礎
    1. 弾性体の結晶構造
    2. 歪と応力の関係
    3. 弾性定数
      • スチッフネス
      • コンプライアンス
        • ポアソン比
        • ヤング率
    4. 運動方程式
    5. 弾性体の縦波音速、横波音速は何に依存している、どのように求める
  2. 圧電体とは
    1. 圧電現象
    2. 圧電方程式 (圧電定数)
    3. 結晶構造のおける圧電定数の違い
    4. 電気機械結合係数
  3. BAWとFBAR
    1. バルク波 (BAW) とは
    2. 厚みすべり振動とは
    3. 厚み縦振動とは
    4. FBAR用材料
    5. 成膜方法
    6. BAWやFBARの厚み振動共振子の周波数は何で決まる
    7. 厚み振動共振子の帯域は何で決まる
    8. エネルギー閉じ込め振動とは
    9. キャビティ構造とSMRの違いは
  4. 共振子とラダーフィルタ
    1. 共振子
    2. ネットワークアナライザによる共振子特性の測定
    3. スミスチャート、動アドミタンス特性
    4. 共振周波数、反共振周波数とは
    5. 電気機械結合係数
    6. Qとは
    7. 等価回路
    8. 2重モードフィルタとは
    9. ラダーフィルタとは
    10. フィルタの帯域は
    11. 帯域は何に依存する
    12. 高周波化するには
  5. SAW
    1. SAWとは
    2. SAWとBAWの違い
    3. SAWの励振
    4. SAWの種類
    5. レイリー波
    6. 漏洩弾性波
    7. 縦波型漏洩弾性波
    8. セザワ波
    9. BGS波
    10. ラブ波
    11. 層状構造弾性波
    12. 境界波
  6. 板波
    1. 板波とBAWやSAWとの違いは
    2. ラム波と横波型 (SH型) 板波
    3. LiNbO3やLiTaO3薄膜を用いたデバイスの例
  7. SAWの解析方法
  8. SAW用材料
    1. セラミック (PZT等)
    2. 薄膜 (ZnO等)
    3. 単結晶
      • LiTaO3
      • LiNbO3
      • 水晶
      • LBO
      • ランガサイト等
  9. SAW共振子
    1. SAW共振子の原理
  10. SAWフィルタの種類
    1. トランスバーサル型フィルタ
    2. 縦波型共振子フイルタ
    3. 横波型共振子フィルタ
    4. ラダーフィルタ
  11. 実用化に成功するために
  12. 今後の動向
    1. 高周波化
    2. 広帯域化
    • 質疑応答

講師

  • 門田 道雄
    東北大学 大学院 工学研究科 ロボティクス専攻
    シニアリサーチフェロー

主催

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: 50,000円 (税別) / 55,000円 (税込)
複数名
: 45,000円 (税別) / 49,500円 (税込)

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  • 2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。
    • 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
    • 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)
    • 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)
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  • 学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒
  • 病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者
  • 文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など
  • 公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方
  • 支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。
  • 企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。

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