研磨加工技術は古くからある加工技術にもかかわらず,現在でも多くの先端デバイスの最終仕上げ加工法として用いられています。それは研磨加工が他の加工技術を凌駕する優れた特徴を有するためですが、一方で、検討すべき因子が多く、最適なパフォーマンスを得るのに苦労する方が多いのも実際ではないでしょうか。
　この問題を解決し優れた研磨加工を実践するには、研磨加工全般にわたり系統立った知識を適切に獲得し、その知識を駆使する中で最先端の加工技術を習得していく必要があります。
　こうした観点にもとづき、本講座では研磨加工の基礎に重点を置きつつ、最新の動向までを整理し系統立って解説します。これから研磨加工に従事されようという初心者・新人の方々、また今一度再確認されたいという方々、さらにはこれからの研磨加工の開発動向を把握されたい加工技術者の方々に有意義な講義になるものと考えます。

1. 研磨加工の基礎知識
   1. 研磨加工の特徴
      • 切削・研削・研磨加工の特徴
      • ラッピングとポリシング
      • ワイヤ・ブレード切断加工
      • バフ研磨加工
      • 各種エネルギーとの複合研磨加工
   2. 砥粒・工具の種類と特徴
      • 砥粒/研磨材
      • ラッピング
      • ポリシング
      • 研磨パッド・研磨布
   3. 周辺技術
      • ラッピング用工具 (ラップ) の形状修正
      • 研磨パッドのコンディショニング
      • 工作物の保持技術
      • 加工状態のモニタリング技術
      • スクラッチの対策
   4. 遊離砥粒研磨と固定砥粒研研磨
      • 遊離砥粒加工法の長所・短所
      • 固定砥粒研磨への置き換えのメリット
      • 固定砥粒研磨加工の進め方
      • 研磨フィルム
   5. 研磨加工における除去加工モデル
2. 高平坦研磨加工
   1. グローバル平坦化研磨
      • 片面研磨と両面研磨
      • 運動学に基づく研磨加工条件の最適化法
      • 研磨パッドドレッサおよびドレス条件の最適化法
   2. エッジサイト平坦化研磨
      • エッジ表面形状の作られ方
      • 弾性論に基づく平坦化研磨の指針
3. 高能率研磨加工
4. 固定砥粒研磨加工
• 質疑応答