技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーでは、ALDプロセスの基礎知識から、成膜に用いられる有機金属原料の分子設計・合成・揮発性・安全性について、現場の実情に即して体系的に解説いたします。
また、近年話題のカルコゲナイド (MoS2など) や遷移金属系薄膜への適用技術、成膜トラブルを防ぐ原料の選択指針、ALDの逆工程であるアトミックレイヤーエッチング (ALE) や、低温でも高品質な成膜が可能な低温ALDにも触れます。
有機金属化合物の一般的特徴とALD用原料としての揮発可能な原料の開発指針を中心として、多種気相原料の特徴とALDに適しているか否かを解説する。また、原料の揮発・輸送手段の例を具体的に紹介する。さらに現在、注目を集めているMoS2などカルコゲナイドや遷移金属薄膜の原料と成膜、今後の発展が期待されるALDの逆工程ALE (Atomic Layer Eching) についても提案、最後に近年盛んになった低温ALDについても触れる。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/1/22 | CVD・ALD装置の反応プロセス解析事例と展開 | オンライン | |
| 2026/1/23 | CVD・ALD装置の反応プロセス解析事例と展開 | オンライン | |
| 2026/1/27 | ALE (アトミック レイヤー エッチング) 技術の基本原理と開発事例および最新動向 | オンライン | |
| 2026/2/6 | 半導体・電子デバイス製造における真空および薄膜形成・加工技術 | オンライン | |
| 2026/2/13 | 半導体製造プロセスにおけるドライエッチングの基礎・最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/2/13 | ALD原料設計と成膜プロセスの基礎・実践 | オンライン | |
| 2026/2/16 | 半導体製造プロセスにおけるドライエッチングの基礎・最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/2/16 | ALD原料設計と成膜プロセスの基礎・実践 | オンライン | |
| 2026/3/2 | ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向 | オンライン | |
| 2026/3/9 | ALD (原子層堆積法) の基礎とプロセス最適化および最新技術動向 | 東京都 | 会場 |