技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
本セミナーでは、ALDプロセスの基礎知識から、成膜に用いられる有機金属原料の分子設計・合成・揮発性・安全性について、現場の実情に即して体系的に解説いたします。
また、近年話題のカルコゲナイド (MoS2など) や遷移金属系薄膜への適用技術、成膜トラブルを防ぐ原料の選択指針、ALDの逆工程であるアトミックレイヤーエッチング (ALE) や、低温でも高品質な成膜が可能な低温ALDにも触れます。
有機金属化合物の一般的特徴とALD用原料としての揮発可能な原料の開発指針を中心として、多種気相原料の特徴とALDに適しているか否かを解説する。また、原料の揮発・輸送手段の例を具体的に紹介する。さらに現在、注目を集めているMoS2などカルコゲナイドや遷移金属薄膜の原料と成膜、今後の発展が期待されるALDの逆工程ALE (Atomic Layer Eching) についても提案、最後に近年盛んになった低温ALDについても触れる。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
---|---|---|---|
2025/6/10 | CVD/ALDプロセスの反応解析、メカニズムとプロセス最適化 | オンライン | |
2025/6/16 | ALD (原子層堆積) / ALE (原子層エッチング) 技術の基礎と応用 | オンライン | |
2025/6/17 | ALD (原子層堆積) / ALE (原子層エッチング) 技術の基礎と応用 | オンライン | |
2025/7/7 | 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術 | オンライン | |
2025/7/10 | 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術 | オンライン | |
2025/7/10 | ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向 | オンライン | |
2025/7/14 | CVD・ALD法による薄膜形成技術のプロセス・反応解析と装置の設計 | オンライン | |
2025/7/29 | 有機薄膜太陽電池の高効率化、耐久性向上技術と実用化展望 | オンライン |