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土肥 俊郎

所属

埼玉大学

役職

名誉教授

学位

工学博士

専門

  • 超精密加工技術とその応用

経歴

  • 埼玉大学 名誉教授
  • 九州大学 名誉教授
  • 1973年 山梨大学 大学院 修士課程 修了
  • 1973年 日本電信電話公社(現在のNTT) 武蔵野電気通信研究所入社、電子応用研究所主幹研究員を経て、1988年 埼玉大学 教育学部 教授、2004年～2006年 米国アリゾナ大学 客員教授
  • 2007年〜2018年 九州大学 大学院 工学研究院 教授
  • 2011年より、産学連携センターにて多産学連携“Doi Project“を発足し、「オプト・エレクトロニクス機能性材料の精密加工技術とそのデバイスプロセス技術の開発」をスタート。
  • 2019年 株式会社Doi Laboratory 代表取締役
    これまでの「超精密加工とその応用に関する研究開発」(主として先端的プラナリゼーションCMPの研究開発)の業績を踏まえて企業への橋渡しを行っている。
    (研究論文160本、出願特許180件、各賞の授賞13件以上)

学協会

  • 精密工学会 フェロー
  • 精密工学会「プラナリゼーションCMP専門委員会」委員長を経て2011年より名誉会長。
  • 日本学術振興会第136委員会「将来加工技術」委員長
  • AIST「精密加工プロセス研究会」代表
  • KITEC「次世代パワーデバイス/LEDのマイクロファブリケーション技術に関する調査研究会」座長
  • 日本工学アカデミー
  • 日本機械学会
  • 応用物理学会
  • 日本セラミクス協会