技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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京都大学
大学院 工学研究科
航空宇宙工学専攻
松下電器産業(株)ならびに京都大学では、主に、反応性プラズマプロセスにおけるプラズマ・半導体デバイス表面界面相互作用ならびに絶縁体・半導体・金属材料の信頼性物理機構の研究の研究に従事。
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
| 2019/9/10 | プラズマエッチングのプロセス制御とプラズマダメージの発生機構、抑制 | 東京都 | |
| 2018/10/31 | プラズマエッチングにおけるプラズマダメージの発生機構と制御 | 東京都 |
| 発行年月 | ||
|---|---|---|
| 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 | 2022/10/31 | 在庫あり |