弾性波デバイス (BAW・SAW) の基礎と最新動向

～高周波化・広帯域化に向けて～

オンライン開催

概要

本セミナーでは、弾性体や圧電体の基本的な考え方・理論、BAWやSAWの原理、種類や励振方法から今後のFBARやSAWの技術の動向などについて講演いたします。

開催日

2025年4月22日(火) 10時30分～ 16時30分

受講対象者

BAW (FBAR) ・SAWデバイス関係セールスエンジニア
BAW (FBAR) ・SAW・板波開発担当者
BAW (FBAR) ・SAW・板波実用化担当者
BAW (FBAR) ・SAW・板波製造担当者
新しい弾性波デバイス研究担当者・開発企画担当者

修得知識

弾性体・圧電体の基礎
一般的なBAW (FBAR) ・SAW・板波の知識
BAW・板波の基礎・原理
BAW・SAW用材料
BAW・板波の各種振動モードの種類
BAW・SAWフィルタの原理、応用例
BAW・SAWを開発・設計する基礎知識
開発テーマの考え方
開発・実用化の進め方
開発・製造における問題点とその解決方法

プログラム

　圧電薄膜バルク波デバイス (BAW、FBAR) や弾性表面波 (SAW) は小形、軽量、周波数無調整、高信頼性、高周波化対応可能等の特徴を持つ。SAWの民生用への応用はテレビの映像中間周波数 (VIF) 用フィルタが最初で、その後SAWデバイスは自動車電話、コードレス電話、ペジャ用などへの応用を経て、今や携帯電話、スマートフォンに欠かせない重要な部品となっている。一方、BAWは携帯電話の普及により採用され、当時、SAWの比べて急峻な特性を持つため、急峻な特性が要求されるbandを中心に採用されるようになった。近年のスマートフォンの普及により、両デバイスは、それぞれ特徴を生かしたBandに使用されている。また近年の周波数の混雑対策として、SAWでも急峻な特性が得られるようになってきている。今後、急峻な特性と良好な温度特性をもつフィルタ特性に加え、キャリアアグリゲーションシステムの普及により、広い周波数範囲でスプリアスのないフィルタが要求されている。さらに近年、第5世代用あるいは第6世代用に加え、自動運転、ICT、FR3など5〜24GHz用高周波弾性波フィルタが要求されるなど、ますますBAWやSAWフィルタの弾性波デバイスへの期待が高くなっている。
　本講演ではこれらの背景を踏まえ、弾性体・圧電体の基礎からBAW・SAWフィルタの原理・応用例や最近の動向、ならびに開発・実用化事例を交えて解説する。

弾性体における音波
圧電体と結晶構造
BAW (FBAR) 及びSAW用材料
1. BAW (FBAR) 用材料
  - 多結晶薄膜
  - 単結晶薄板
2. 弾性表面波 (SAW) 用材料
  - 圧電セラミック主にPb (Ti, Zr) O3
  - 圧電薄膜
  - 圧電単結晶
バルク波の振動モード:BAW (bulk acoustic wave)
1. バルク波の振動モード
2. 薄板の厚み縦振動
3. 薄板の厚みすべり振動
4. 高次モード
5. エネルギー閉じ込め型共振子
共振子とフィルタ
1. 共振子
2. ネットワークアナライザによる共振子特性の測定
3. SmithチャートS11とインピーダンス特性
4. フィルタとは
5. 多重モードフィルタ (モノリシックフィルタ)
6. ラダーフィルタ
7. ラダーフィルタのデュプレサへの応用
薄膜バルク波 (BAW) デバイス
1. キャビティ型とSMBAWR型
2. 多結晶膜を用いたキャビティ型BAWR (FBAR)
3. 多結晶膜を用いたSMBAWR
4. 単結晶を用いたキャビティ型BAWR
5. 単結晶を用いたSM型BAWR
弾性表面波デバイス
1. SAWとは
2. SAWの励振
3. すだれ状電極 (IDT)
4. SAWの定数
5. トランスバースSAWフィルタ
6. SAW共振子
7. 多重モードSAW共振子フィルタ
8. SAWラダーフィルタ
SAWの種類
1. 圧電基板単体を伝わるSAW
  1. レイリー波、LSAW、LLSAW (2ndLSAW)
  2. BGS波
2. LSAWにおける漏洩成分の除去
  1. ラブ (Love) 波
  2. 異種基板との組み合わせ
3. LLSAWにおける漏洩成分の除去
4. 層状構造
  1. レイリー波とセザワ波およびその高次モード
  2. 境界波
  3. Hetero Acoustic Layer SAW (異基板層状構造)
板波
1. 種類
2. LiNbO3薄板における板波
  1. CDVにより成膜されたLiNbO3薄膜
  2. 単結晶LiNbO3薄板
3. 単結晶LiTaO3薄板における板波
4. XBARとYBAR
SAWデバイスの作製プロセス
近年話題のSAWデバイス
1. 多Band化に必要とされるDuplexer
2. 異種材料基板を組み合わせたSAWデバイス
3. 広帯域弾性波デバイス
高周波弾性波デバイスにむけて
1. 板波
2. XBAR・YBAR
3. SAW
4. BAW

質疑応答

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講師

門田道雄氏
東北大学大学院工学研究科ロボティクス専攻

シニアリサーチフェロー

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主催

サイエンス＆テクノロジー株式会社

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お問い合わせ

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受講料

1名様

: 38,200円 (税別) / 42,020円 (税込)

複数名

: 25,000円 (税別) / 27,500円 (税込)

複数名受講割引

2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。
- 1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,200円(税別) / 42,020円(税込)
- 2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)
- 3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)
同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。
請求書は、代表者にご送付いたします。
請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。
申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。
他の割引は併用できません。
サイエンス&テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。

アカデミー割引

教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。

1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)
企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。
お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。

ライブ配信セミナーについて

本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。
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発行年月
2022/3/1	弾性波デバイス徹底解説
2001/7/19	MATLABプログラム事例解説Ⅳ SAWフィルタ
1992/8/1	スペクトラム拡散通信方式応用技術

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