クリーンルーム内の維持管理や超純水および薬液に含まれる不溶性微粒子を測定する際に、気中および液中パーティクルカウンタを利用するのは、非常に有効な手段ですが、装置の動作原理および測定の際の注意点を理解することで、より効果的な運用を行うことが出来ます。
　本セミナーでは気中および液中パーティクルカウンタの動作原理および注意点等を解説いたします。

1. パーティクルについて
   1. 球体の等価測定
   2. 粒子径の同定
   3. 光の散乱
   4. 粒径分布
2. 気中パーティクルカウンタ
   1. クリーンルームの基礎
   2. クリーンルーム内のパーティクル
   3. パーティクル沈降速度
   4. 気中パーティクルのブラウン運動
   5. 気中パーティクル測定
   6. 粒子搬送損失について
3. 液中パーティクルカウンタ
   1. 光遮蔽式パーティクルカウンタについて
   2. 光散乱式パーティクルカウンタについて
   3. 測定方法の違いについて
      • 全量測定方式
      • 部分測定方式
   4. サンプリング方法
   5. 測定に際し考慮する事項
      • 気泡について
      • 屈折によるコントラスト
      • 分子の散乱
      • サンプルの混和性
      • サンプルの色
      • サンプルの屈折率
      • サンプルのパーティクル濃度
      • 汚染
4. フィルタについて
   1. ろ材について
   2. 除去メカニズム
5. 装置校正について
   1. 光散乱式粒子計数器の原理
   2. ISO21501 要求事項
• 質疑応答・名刺交換