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園田 信夫

所属

クリーンサイエンスジャパン

役職

代表

学位

博士 (情報工学)

専門

  • クリーン化工学
  • 応用物理
  • 静電気

経歴

  • 1973年 三菱電機 株式会社 福岡製作所入社後、塗装・めっきの研究に従事。
  • 1989年 分析技術センター立ち上げ後、半導体製造プロセスでの材料・プロセスの評価分析に従事。
    この間、分析センター長、品質技術部長歴任
  • 1998年 九州工業大学情報工学部にて「水素プラズマスパッタリングによるSiC薄膜形成」により学位取得 (情報工学博士)
  • 2000年 ULSI開発センターにてクリーン化技術グループ立ち上げ先端クリーン化技術開発に従事
  • 2002年 三菱電機 株式会社 パワーデバイス製作所品質保証部にて、アセンブリのクリーン化、静電気対策に従事
  • 2009年 株式会社 オジックテクノロジーズ、取締役技術本部長

学協会

  • 月刊クリーンテクノロジー企画委員
  • ピュリフィケーション研究会 元 副委員長

講演するセミナー

著書