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町田 英昭

所属

気相成長株式会社

役職

代表取締役

学位

博士 (理学)

専門

  • 有機金属化学
  • CVD, ALD
  • LSI配線

経歴

  • 2008年 株式会社トリケミカル研究所 開発部長、取締役辞任
  • 2008年〜2010年 東京大学 特任研究員
  • 2008年 気相成長株式会社 設立、CVD・ ALD原料開発およびプロセス開発
  • 2020年〜 NPO科学知総合研究所 理事長
  • 2024年〜 東京理科大学 非常勤講師

学協会

  • 2022年 Advanced Metallization Conference 委員長 (東京大学 開催)

講演したセミナー

会場 開催方法
2025/6/26 ALDプロセスの基礎と原料の分子設計・開発および成膜の最新技術 オンライン