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服部 毅 (Hattori Consulting International)
所属
Hattori Consulting International
役職
代表
経歴
- 元 ソニー株式会社リサーチフェロー
- 韓国Hanyang大学 大学院客員教授
学協会
- 米国電気化学会(ECS) 主催 半導体洗浄国際会議 (SCST) 組織委員長・論文委員長
- IMEC 半導体表面超クリーン化プロセス国際会議 (UCPSS) 日本代表プログラム委員
- IEEE 半導体製造国際会議 (ISSM) 運営委員
- SEMI 日本地区 スタンダード委員会 委員
受賞
- 米国電気化学会 (ECS) フェロー
- 米国電気化学会 (ECS) 終身名誉会員
講演するセミナー
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
| 2024/5/30 | 半導体製造におけるシリコンウェーハのクリーン化技術・洗浄技術 | オンライン |
講演したセミナー
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
| 2024/4/15 | 半導体製造ラインのウェーハ表面洗浄・乾燥および汚染除去技術の基礎から最新動向まで | 東京都 | 会場・オンライン |
|
2024/3/18 2024/4/15 |
先端半導体製造におけるシリコンウェーハ表面のクリーン化技術および洗浄・乾燥技術 (2コースセット) | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2024/3/18 | 先端半導体製造ラインの汚染の実態と歩留向上のためのウェーハ表面汚染防止技術の基礎から最新動向まで | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2023/4/28 | 半導体製造におけるシリコンウェーハのクリーン化技術・洗浄技術 | オンライン | |
| 2023/3/17 | 半導体製造におけるシリコンウェーハ表面のクリーン化技術および洗浄・乾燥技術 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2022/4/28 | 半導体製造におけるシリコンウェーハのクリーン化技術・洗浄技術 | オンライン | |
| 2022/3/25 | 半導体製造におけるシリコンウェーハ表面のクリーン化技術および洗浄・乾燥技術 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2021/2/25 | 半導体製造におけるシリコンウェーハ表面のクリーン化技術および洗浄・乾燥技術 | 東京都 | 会場・オンライン |
| 2020/2/17 | 半導体製造におけるシリコンウェーハ表面のクリーン化技術および洗浄・乾燥技術 | 東京都 | |
| 2019/1/28 | 半導体製造における洗浄技術・装置の最新動向と今後の展望 | 東京都 |
著書
| 発行年月 | ||
|---|---|---|
| 半導体製造におけるウェット/ドライエッチング技術 | 2022/10/31 | 在庫あり |