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溝口 計
所属
NHリサーチ
学位
工学博士
専門
プラズマ工学
レーザー工学
リソグラフィ装置工学
経歴
九州大学 プラズマ・ナノ界面工学研究センター アドバイザー・客員教授 (兼任)
1982年 九州大学 総合理工学研究科 村岡研究室 修了
1994年 工学博士 (九州大学工学部) 。
1990年以来、リソグラフィ用KrF、ArF、F2レーザ、LPP – EUV光源、ハイブリッド・エキシマレーザの研究開発に従事。
2000年8月 ギガフォトン社
CTO
2023年3月 ギガフォトン社 退職
2023年4月 九州大学 プラズマ・ナノ界面工学研究センター アドバイザー・客員教授
学協会
日本レーザー学会
日本応用物理学会
SPIE
(The International Society for Optical Engineering) フェロー
受賞
2002年 レーザー学会 論文賞
2009年 日本レーザー学会 産業賞 (装置部門)
2016年 レーザー学会 論文賞
2018年 光振興協会 桜井賞
2019年 日本レーザー学会 産業賞 (装置部門)
講演したセミナー
会場
開催方法
2024/7/29
リソグラフィ技術の発展とレジスト材料の原理および半導体高密度化への展開
オンライン
2024/7/18
リソグラフィ技術の発展とレジスト材料の原理および半導体高密度化への展開
オンライン