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溝口 計

所属

NHリサーチ

学位

工学博士

専門

  • プラズマ工学
  • レーザー工学
  • リソグラフィ装置工学

経歴

  • 九州大学 プラズマ・ナノ界面工学研究センター アドバイザー・客員教授 (兼任)
  • 1982年 九州大学 総合理工学研究科 村岡研究室 修了
  • 1994年 工学博士 (九州大学工学部) 。
  • 1990年以来、リソグラフィ用KrF、ArF、F2レーザ、LPP – EUV光源、ハイブリッド・エキシマレーザの研究開発に従事。
  • 2000年8月 ギガフォトン社 CTO
  • 2023年3月 ギガフォトン社 退職
  • 2023年4月 九州大学 プラズマ・ナノ界面工学研究センター アドバイザー・客員教授

学協会

  • 日本レーザー学会
  • 日本応用物理学会
  • SPIE (The International Society for Optical Engineering) フェロー

受賞

  • 2002年 レーザー学会 論文賞
  • 2009年 日本レーザー学会 産業賞 (装置部門)
  • 2016年 レーザー学会 論文賞
  • 2018年 光振興協会 桜井賞
  • 2019年 日本レーザー学会 産業賞 (装置部門)