技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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名古屋大学
工学研究科
電子工学専攻
減圧プラズマから大気圧プラズマにわたり、さまざまなプロセスに最適化したプラズマ装置の設計・製作をおこない、プロセスプラズマ装置内の気相および表面における物理化学過程の解析を進める。また、核融合装置壁の制御に関する研究も行っている。
| 会場 | 開催方法 | ||
|---|---|---|---|
| 2024/5/21 | プラズマプロセスにおける基礎と半導体微細加工へのプラズマによるエッチングプロセス | オンライン | |
| 2023/7/28 | プラズマ生成の基礎・現象の理解と半導体微細加工・エッチングプロセスの基礎 | オンライン | |
| 2022/10/20 | プラズマ生成の基礎・現象の理解と半導体微細加工・エッチングプロセスの基礎 | オンライン | |
| 2021/11/30 | プラズマによるフッ素樹脂の表面改質と接着性向上技術 | オンライン | |
| 2021/10/14 | プラズマ生成の基礎・現象の理解と半導体微細加工・エッチングプロセスの基礎 | オンライン |