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柴田 英毅

所属

名古屋大学
未来社会創造機構

役職

客員教授

学位

博士 (工学)

専門

  • 半導体デバイス・プロセス技術
  • 半導体集積回路技術
  • 多層配線形成技術
  • 三次元デバイス集積化技術
  • MEMS技術
  • 光伝送技術
  • 材料強度学
  • 金属疲労学
  • 固体物理学
  • 薄膜材料物性学

経歴

  • 元 株式会社 東芝 研究開発センター 首席参与

学協会

  • JEITA STRJ (半導体技術ロードマップ専門委員会) 配線WG委員長
  • 半導体MIRAIプロジェクト/Selete-NSI (Nano. Silicon Integration) 技術委員
  • 応用物理学会 集積化MEMS技術研究会副委員長 他多数

受賞

  • 日刊工業新聞社十大新製品賞
  • IEEE IITC2005 Best Paper Award受賞
  • IMAPS2009 Best Paper Award受賞
  • ADMETA2009 Best Paper Award受賞
  • ADMETA2012 Best Paper Award、Technical Achievement Award受賞
  • 社長特別表彰 (功績賞)
  • 電気学会センサ・マイクロマシン部門「優秀技術論文賞」