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川田 博昭
所属
大阪府立大学大学院
工学研究科
電子物理工学分野
役職
准教授
学位
博士 (工学)
経歴
研究テーマ
プロセスプラズマの計測
シリコンのディープエッチング
ガラス基板のエッチング
パターン移植によるマイクマシン作製
リソグラフィによる微細パターン形成
インプリントの基礎と応用
研究内容
簡便なMEMS作製プロセスの開発と応用
高度なインプリントプロセスの開発
インプリント用ナノモールドの作製
高周波プラズマのプローブ計測、インピーダンス測定
学協会
応用物理学会
日本電気学会
日本真空協会
センシング技術応用研究会