技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー

川田 博昭

所属

大阪府立大学大学院
工学研究科
電子物理工学分野

役職

准教授

学位

博士 (工学)

経歴

研究テーマ

  • プロセスプラズマの計測
  • シリコンのディープエッチング
  • ガラス基板のエッチング
  • パターン移植によるマイクマシン作製
  • リソグラフィによる微細パターン形成
  • インプリントの基礎と応用

研究内容

  • 簡便なMEMS作製プロセスの開発と応用
  • 高度なインプリントプロセスの開発
  • インプリント用ナノモールドの作製
  • 高周波プラズマのプローブ計測、インピーダンス測定

学協会

  • 応用物理学会
  • 日本電気学会
  • 日本真空協会
  • センシング技術応用研究会