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上野 和良

所属

芝浦工業大学

役職

名誉教授

学位

工学博士

専門

  • 集積回路配線技術

経歴

  • 1984年〜2006年: 日本電気株式会社、NECエレクトロニクス
    • 集積回路配線技術等の研究開発に従事。
      主にCu配線のプロセス開発、高信頼化に従事。NECエレクトロニクス・シニアプロフェッショナル。
  • 2006年〜2025年: 芝浦工業大学 工学部 教授
    • 先端配線プロセスの基礎研究に従事。主にグラフェンプロセスの開発とその電極・配線応用。
  • 2025年〜 : 芝浦工業大学 名誉教授

学協会

  • 応用物理学会 フェロー

講演するセミナー

会場 開催方法
2026/5/22 2nm以降半導体向け配線技術の最新動向と課題 オンライン
2026/7/24 2nm世代以降の先端半導体配線技術の最新動向 オンライン