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ホーム
山口 侑二
所属
株式会社レゾナック
研磨材料開発部
役職
上級研究員
専門
300mmウェハ洗浄
ウェットエッチング
乾燥プロセス
メタルCMP
電気化学
経歴
2012年3月 京都大学大学院工学研究科 物質エネルギー化学専攻 修士修了
2012年4月 大日本スクリーン製造 株式会社 (現 SCREENセミコンダクターソリューションズ 株式会社 ) 入社
ウェハ洗浄/Wet Etch装置のプロセス開発業務に従事
2020年 日立化成 株式会社 (現 株式会社 レゾナック) 入社
研磨材料開発部にてCMPスラリー開発に従事
ハイブリッドボンディング前バリアメタル研磨スラリ開発を担当
講演したセミナー
会場
開催方法
2025/6/17
半導体CMP技術の基礎と先端パッケージ向け工程・スラリー材料の技術動向
オンライン