- 1994年3月 東京大学 工学部 機械情報工学科 卒業
- 1999年3月 東京大学 大学院 工学系研究科 産業機械工学専攻 博士課程 修了、博士 (工学)
- 1999年4月 東北大学 大学院 工学研究科 助手
- 2001年4月 東北大学 大学院 工学研究科 講師
- 2003年4月〜2013年7月 東北大学 大学院 工学研究科 助教授
- 2013年8月 東北大学 大学院 工学研究科 教授
- 2004年1月〜2006年3月 科学技術振興機構 研究開発戦略センター フェロー (兼務)
- 2006年4月〜2018年3月 科学技術振興機構 研究開発戦略センター 特任フェロー (兼務)
- 2010年9月〜2011年3月 ルーベンカトリック大学客員教授としてimecに滞在
- 2017年度 日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門部門長
- 2019年からMEMS Engineer Forum委員長
- 2020年からIEEE Ultrasonics, Feroelectrics, and Frequency Control Society Adcom Member
MEMSセンサー、集積化技術、MEMSパッケージング技術、弾性波デバイス、圧電デバイス・材料などの研究に従事。