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加藤 智久

所属

国立研究開発法人 産業技術総合研究所
つくば西事業所
エネルギー・環境領域
先進パワーエレクトロニクス研究センター
ウェハプロセスチーム

役職

研究チーム長

学位

博士 (工学)

専門

  • バルク単結晶成長技術
  • ウェハ加工技術
  • X線結晶学
  • 鉱物学

経歴

  • 1999年4月 工業技術新電子技術総合研究所にてSiC単結晶成長・ウェハ加工技術の開発に従事。
  • 2010年度 NEDO「低炭素社会を実現する次世代パワーエレクトロニクスプロジェクト」ウェハテーマリーダー
  • 2014年度 内閣府 SIP『次世代パワーエレクトロニクス研究開発計画』ウェハテーマリーダー
  • 2019年より産総研TPEC (ティーペック) 材料分科会長として、民活型大型共同研究でのSiCウェハ開発を開始

講演するセミナー

会場 開催方法
2024/5/10 半導体ウェハの欠陥制御と検出、評価技術 オンライン