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半導体製造に向けた高純度ガスの精製、分析技術

半導体製造に向けた高純度ガスの精製、分析技術

~水素、アンモニア、希ガス、CO2の精製・回収 / ガス中微量水分の分析~
オンライン 開催

開催日

  • 2024年6月18日(火) 10時30分 16時15分

修得知識

  • 半導体向け高純度ガス用の精製装置のラインナップと精製方式
  • 半導体向け精製技術の開発内容
  • MOFの基礎
  • MOFの応用
  • 微量水分分析の基礎
  • 微量水分分析の注意点
  • 信頼性の高い微量水分分析法

プログラム

第1部 半導体製造に向けた高純度ガスの精製技術

(2024年6月18日 10:30〜12:00)

  1. 大陽日酸
    1. 大陽日酸について
    2. 大陽日酸のエレクトロニクス事業
  2. 精製装置
    1. 高純度不活性ガス精製装置
    2. 高純度不活性ガス精製装置 CH4除去タイプ
    3. 高純度酸素ガス精製装置
    4. 高純度水素ガス精製装置
    5. 高純度水素ガス精製装置 (ゲッター式)
    6. 高純度水素ガス精製装置 (低温式)
    7. 高純度希ガス精製装置 (ゲッター式)
    8. 高純度アンモニアガス精製装置
    9. 高純度CO2精製装置
    10. 高純度Air精製装置
    11. ラインピュリファイヤー
  3. 高純度ガス精製装置モデルチェンジ
    1. Puremate-1000 series
    2. Puremate-1400 series
    3. まとめ
  4. 高純度精製技術の開発
    1. 新規吸着剤の開発
    2. 高流速精製技術の開発
    3. まとめ
    • 質疑応答

第2部 MOFを用いたガス精製装置の特徴とその応用

(2024年6月18日 13:00〜14:30)

  1. 自己集積型ナノポーラス材料・MOF
  2. 高機能ナノポーラス材料の開発を目的とした最先端物性測定技術
    1. 放射光を用いたMOFおよび吸着ガス分子の可視化技術
    2. 高機能MOF材料の設計
  3. MOFの応用
    1. CO2ガスの濃縮 (DAC技術から工業排ガス回収技術)
    2. アンモニア回収技術、希ガス回収技術
    • 質疑応答

第3部 半導体製造に用いられる高純度ガス中の微量水分分析

(2024年6月18日 14:45〜16:15)

 高純度ガス中の残留水分の微量分析は他成分の微量分析に比べて困難です。なぜ難しいのか、どのようにすれば信頼性の高い分析結果が得られるのかについて、できるだけ分かりやすく解説します。

  1. 微量水分の基礎
    1. 微量水分とは
    2. 微量水分分析の必要性
    3. 微量水分分析の難しさ
    4. 微量水分分析の問題点
  2. 微量水分の分析器
    1. 鏡面冷却式露点計
    2. 静電容量式センサー
    3. 五酸化リン式水分計
    4. 水晶発振式水分計
    5. APIMS
    6. TDLAS
    7. CRDS
    8. 検量線の要否
  3. 微量水分の計測標準
    1. 計測標準とは
    2. 測定の不確かさ
    3. 微量水分標準
  4. 計測結果の信頼性
    1. 各種分析器の性能評価例
    2. 信頼性の高い微量水分分析のために
    • 質疑応答

講師

  • 足立 貴義
    大陽日酸 株式会社 技術開発ユニット 山梨ソリューションセンター ガス分離開発部
    主任研究員
  • 堀 彰宏
    SyncMOF 株式会社
    取締役 副社長 兼 CTO
  • 阿部 恒
    国立研究開発法人 産業技術総合研究所 物質計測標準研究部門 ガス・湿度標準研究グループ
    上級主任研究員

主催

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