CVDのセミナー・研修・出版物 https://tech-seminar.jp:443/taxonomy/term/719/all ja プラズマエッチングのプロセス制御とプラズマダメージの発生機構、抑制 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2019-09-10-%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%81%AE%E7%99%BA%E7%94%9F%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%80%81%E6%8A%91%E5%88%B6 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> プラズマエッチングのプロセス制御とプラズマダメージの発生機構、抑制</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/32763/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div class="contact"><a href="/order/gijutu.co.jp/seminar?id=32763&date=2019-09-10&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%81%AE%E7%99%BA%E7%94%9F%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%80%81%E6%8A%91%E5%88%B6">セミナーに申し込む</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、エッチングの原理、装置、メカニズム、トラブル対策まで、経験豊富な講師が解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2019-09-10T10:00:00+09:00">2019年9月10日(火) 10時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2019-09-10T10:00:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2019-09-10T17:00:00+09:00">17時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2019-09-10T17:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマエッチング・原子層エッチングに関連する技術者 <ul> <li>高誘電膜</li> <li>機能性膜</li> <li>電極</li> <li>バリアメタル</li> <li>絶縁膜</li> <li>化合物半導体</li> <li>リチウム電池 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <h4>第1部 プラズマエッチングの最新技術動向とプロセス制御</h4> <p>(2019年9月10日 10:00〜14:00)※途中、昼食休憩含む</p> <p> プラズマエッチングは、フィン型電界効果トランジスタなどの先端半導体デバイスを製造する上で、必要不可欠な技術である。モノのインターネット (IoT) の普及により、データ処理を担う半導体デバイスの更なる性能向上が求められており、デバイス構造の微細化と三次元化が進んでいる。これに伴ってプラズマエッチングには、原子層レベルの制御性が求められている。次世代の三次元デバイスでは、深さ方向の高制御加工に加え、横方向の高制御加工も必要となる。本講演では、プラズマエッチング技術について、エッチングの原理から、技術動向、装置、プロセス制御、そして最先端の原子層エッチング開発事例までを、メーカで各種デバイスのエッチングプロセス開発に携わってきた講師が、実経験を交えて分かり易く解説する。</p> <ol> <li>半導体デバイスの動向、構造、および製造工程 <ol> <li>半導体デバイスの技術動向</li> <li>半導体デバイスの構造</li> <li>半導体デバイスの製造工程</li> </ol></li> <li>プラズマエッチング技術の動向 <ol> <li>プラズマエッチングの種類</li> <li>プラズマエッチングの技術動向</li> <li>プラズマエッチングの先端課題</li> </ol></li> <li>プラズマエッチングの基礎及びプロセス制御 <ol> <li>プラズマエッチング装置</li> <li>プラズマエッチングの特徴</li> <li>プラズマエッチングの原理</li> <li>プラズマエッチングにおけるプロセス制御</li> <li>プラズマエッチング損傷</li> <li>各種材料のプラズマエッチング技術</li> </ol></li> <li>原子層エッチングの基礎と最新技術 <ol> <li>原子層加工技術のトレンド</li> <li>原子層エッチングの基礎</li> <li>等方性原子層エッチング</li> <li>異方性原子層エッチング</li> </ol></li> <li>今後の課題</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol> <h4>第2部 プラズマエッチングにおけるプラズマダメージの発生機構と制御</h4> <p>(2019年9月10日 14:15〜17:00)</p> <p> 企業などでプラズマエッチングに関する研究開発を始めた方、プロセス設計に従事されている方、デバイス信頼性評価に従事されている方などを対象とし、プラズマの基礎から、最先端プラズマプロセスにおける大きな課題「プラズマ誘起ダメージの発生機構」とその抑制についてお話します。大学で理系科目を習得していれば特に問題なく理解できると思います。また、講師の企業、大学での勤務経験をもとに、エンジニアとして何が大切か?どうすればいいのか?を伝えたいと思います。</p> <ol> <li>プラズマエッチングとは <ol> <li>現代社会におけるプラズマ技術の応用例</li> <li>プラズマを理解するためのパラメータ</li> <li>超微細半導体デバイス製造におけるプラズマエッチングの役割</li> <li>プラズマエッチングの基礎 (反応表面の構造について)</li> </ol></li> <li>プラズマエッチングにおける技術課題について <ol> <li>加工形状異常に代表される課題例</li> <li>新しい課題~プラズマ誘起ダメージ</li> </ol></li> <li>プラズマ誘起ダメージについて <ol> <li>3つのダメージ発生機構とプラズマ誘起ダメージの歴史</li> <li>イオン衝撃によるプラズマ誘起ダメージモデル</li> </ol></li> <li>今後の展望 <ol> <li>原子レベルでのプラズマ誘起ダメージの理解に向けて</li> <li>プラズマ誘起ダメージは今後どうなるのか?</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/23411"><span itemprop="name">篠田 和典</span></a> 氏 <div>株式会社 日立製作所 研究開発グループ エレクトロニクスイノベーションセンタ ナノプロセス研究部</div> <div>主任研究員</div> </div> </li> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/29080"><span itemprop="name">江利口 浩二</span></a> 氏 <div>京都大学 大学院 工学研究科 航空宇宙工学専攻 </div> <div>​教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%A0%AA%E5%BC%8F%E4%BC%9A%E7%A4%BE-%E6%8A%80%E8%A1%93%E6%83%85%E5%A0%B1%E5%8D%94%E4%BC%9A">株式会社 技術情報協会</a> <meta itemprop="name" content="株式会社 技術情報協会" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5436-7744" /> <meta itemprop="url" content="http://www.gijutu.co.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="141-0031" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">西五反田2-29-5</span> 日幸五反田ビル8F </div> <a href="/node/15011"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区西五反田2-29-5&amp;markers=東京都品川区西五反田2-29-5&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="株式会社 技術情報協会の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/gijutu.co.jp">株式会社 技術情報協会</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=32763&date=2019-09-10&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%81%AE%E7%99%BA%E7%94%9F%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%80%81%E6%8A%91%E5%88%B6">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="55000">55000円</span> (税別) / 59,400円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=32763&date=2019-09-10&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%81%AE%E7%99%BA%E7%94%9F%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%80%81%E6%8A%91%E5%88%B6" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-07-02T00:00:02+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 54,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" 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href="/order/gijutu.co.jp/seminar?id=32763&date=2019-09-10&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%81%AE%E7%99%BA%E7%94%9F%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%80%81%E6%8A%91%E5%88%B6">セミナーに申し込む</a></div> </div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Mon, 01 Jul 2019 15:00:02 +0000 admin 32763 at https://tech-seminar.jp:443 薄膜作製の基礎とトラブル対策 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2019-08-21-%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 薄膜作製の基礎とトラブル対策</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/387" rel="tag" title="スパッタリング">スパッタリング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/32791/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div class="contact"><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=32791&date=2019-08-21&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96">セミナーに申し込む</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、真空蒸着、スパッタ、CVDなどの成膜技術について基礎から解説し、実務での活用についてわかりやすく詳解いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2019-08-21T10:30:00+09:00">2019年8月21日(水) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2019-08-21T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2019-08-21T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2019-08-21T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>薄膜作製に関連する研究・開発・製造業務に携わる方</li> <li>薄膜作製の若手技術者・新人の方</li> <li>薄膜作製に関してある程度の経験はあるが、自分の知識を系統的に整理したい方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>成膜プロセス設計に必要な基礎知識</li> <li>成膜プロセスで発生したトラブル対応に必要な基礎知識</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> スパッタ法や真空蒸着法、化学気相成長 (<span class="caps">CVD</span>) 法は、先端材料研究をはじめ、電子デバイス,太陽電池,建材、さらには食品産業まで、さまざまな分野で使用されており、今や我々の生活と切っても切り離せない技術になっています。エレクトロニクスや真空技術の進歩により、現在では高性能な成膜装置が市販されていますが、これらを使いこなすには適切な知識が必要です。たとえば、新たな条件で成膜を行おうとすると、所望の薄膜を得るために条件出しを行わなければなりません。また、成膜プロセスでトラブルが発生すると、その対処に頭を悩ませることになります。そのようなときに必要になるのが、成膜技術に関する基本的かつ系統的な知識です。<br />  本講座では、真空蒸着法やスパッタ法、CVD法などを用いた成膜技術に携わる方々を対象に、これらの技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。</p> <ol> <li>成膜技術に必要な真空・表面物性工学 <ol> <li>気体分子運動論の基礎</li> <li>真空工学の基礎</li> <li>表面物性工学の基礎</li> </ol></li> <li>真空蒸着法 <ol> <li>真空蒸着法の原理</li> <li>真空蒸着法の種類と装置例</li> <li>真空蒸着法で作製される薄膜の例</li> <li>真空蒸着法を適用する際の留意事項</li> </ol></li> <li>スパッタ法 <ol> <li>スパッタ法の原理</li> <li>スパッタ法の種類と装置例</li> <li>スパッタ法で作製される薄膜の例</li> <li>スパッタ法を適用する際の留意事項</li> </ol></li> <li>化学気相成長 (<span class="caps">CVD</span>) 法 <ol> <li>CVD法の原理</li> <li>CVD法の種類と装置例</li> <li>CVD法で作製されるさまざまな薄膜の例</li> <li>CVD法を適用する際の留意事項</li> </ol></li> <li>薄膜評価法 <ol> <li>表面モルフォロジ、ステップカバレッジ</li> <li>膜組成、膜構造</li> <li>付着力、膜応力</li> <li>電気的特性、光学的特性</li> </ol></li> <li>成膜プロセスで遭遇するトラブル例と対処法 <ol> <li>膜質に関するトラブル</li> <li>装置に関するトラブル</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/20695"><span itemprop="name">佐藤 英樹</span></a> 氏 <div>三重大学 大学院工学研究科 電気電子工学専攻</div> <div>准教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%B1%9F%E6%9D%B1%E5%8C%BA%E6%96%87%E5%8C%96%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC">江東区文化センター</a> <p>3F 第1研修室</p> <meta itemprop="name" content="江東区文化センター" /> <meta itemprop="telephone" content="03-3644-8111" /> <meta itemprop="url" content="" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="135-0016" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">江東区</span> <span itemprop="streetAddress">東陽四丁目11-3</span> </div> <a href="/node/19435"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都江東区東陽四丁目11-3&amp;markers=東京都江東区東陽四丁目11-3&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="江東区文化センターの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=32791&date=2019-08-21&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=32791&date=2019-08-21&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-07-05T10:36:49+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 23,139円(税別) / 24,990円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 69,417円(税別) / 74,970円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,556円(税別) / 99,960円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,833円(税別) / 149,940円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div class="contact"><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=32791&date=2019-08-21&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96">セミナーに申し込む</a></div> </div> </div> CVD スパッタリング 真空蒸着 薄膜 Fri, 05 Jul 2019 01:36:49 +0000 admin 32791 at https://tech-seminar.jp:443 ALD (原子層堆積法) の基礎と応用 (1日コース) https://tech-seminar.jp:443/seminar/2019-07-11-ALD-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95-%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8-1%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ALD (原子層堆積法) の基礎と応用 (1日コース)</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~薄膜形成の原理から、最新の応用展開の状況まで~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/32528/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=32528&date=2019-07-11&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/32528/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーは、 <acronym title="Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法"><span class="caps">ALD</span></acronym> , <acronym title="Chemical Vapor Deposition / 気相薄膜形成法"><span class="caps">CVD</span></acronym> の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2019-07-11T10:30:00+09:00">2019年7月11日(木) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2019-07-11T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2019-07-11T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2019-07-11T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDに関連する技術者 <ul> <li>高誘電膜</li> <li>機能性膜</li> <li>電極</li> <li>バリアメタル</li> <li>絶縁膜</li> <li>化合物半導体</li> <li>リチウム電池 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD法の基礎</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの開発</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの解析能力</li> <li>解析能力・エッチングへの応用としてのALEt</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。<br />  このため、本講座では、第1部で各種の薄膜作成の基礎を概説、第2部でALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、第3部ではALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。</p> <ol> <li>第1部 薄膜作成の基礎 <ol> <li>薄膜作製プロセス概論 <ol> <li>薄膜の種類と用途:ULSI,MEMS,太陽電池,LED/LD</li> <li>ウェットプロセスとドライプロセス,PVDとCVD</li> <li>CVDプロセスの特徴</li> <li>半導体デバイス,高集積化・微細化とALD技術</li> </ol></li> <li>真空の基礎知識と薄膜形成の基礎 <ol> <li>真空蒸着</li> <li>真空度・真空の質,平均自由行程</li> <li>各種PVD技術</li> </ol></li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDプロセス概論 <ol> <li>CVDプロセスの原理と特徴,応用例</li> <li>ALDプロセスの原理と歴史的展開</li> <li>ALDプロセスの特徴と応用・発展</li> <li>ALEtプロセスの原理と特徴</li> </ol></li> </ol></li> <li>第2部 <span class="caps">ALD</span>/CVD反応機構と速度論 <ol> <li>ALDの基礎としてのCVDプロセス入門 <ol> <li>CVDプロセスの素課程</li> <li>CVDプロセスの速度論 <ol> <li>製膜速度の温度依存性,表面反応律速と拡散律速</li> <li>製膜速度の濃度依存性,1次反応とラングミュア・ヒンシェルウッド型反応</li> </ol></li> <li>CVDプロセスの均一性</li> </ol></li> <li>表面・気相の反応機構解析入門 <ol> <li>素反応機構と総括反応機構</li> <li>気相反応の第一原理計算と精度</li> <li>表面反応機構の量子化学的検討と実験的解析</li> </ol></li> </ol></li> <li>第3部 ALDプロセスの基礎と展開 <ol> <li>ALDプロセスの基礎 <ol> <li>ALDプロセスの基礎理論と製膜特性</li> <li>ALDプロセスの理想と現実</li> </ol></li> <li>ALDプロセスの展開と応用 <ol> <li>ALDプロセスの応用用途</li> <li>ALDプロセスの解析手法と最適化</li> <li>HW-ALDによる高品質Ni薄膜の合成</li> <li><span class="caps">ALD</span>-Co (W) /CVD-Cu (Mn) による高信頼性ULSI配線形成</li> </ol></li> <li>まとめ</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/12385"><span itemprop="name">霜垣 幸浩</span></a> 氏 <div>東京大学 大学院 工学系研究科 マテリアル工学専攻</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E4%B8%AD%E5%A4%AE%E5%A4%A7%E5%AD%A6-%E9%A7%BF%E6%B2%B3%E5%8F%B0%E8%A8%98%E5%BF%B5%E9%A4%A8">中央大学 駿河台記念館</a> <p>350教室</p> <meta itemprop="name" content="中央大学 駿河台記念館" /> <meta itemprop="telephone" content="" /> <meta itemprop="url" content="" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="101-0062" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">千代田区</span> <span itemprop="streetAddress">神田駿河台3丁目11−5</span> </div> <a href="/node/1767"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都千代田区神田駿河台3丁目11−5&amp;markers=東京都千代田区神田駿河台3丁目11−5&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="中央大学 駿河台記念館の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/cmcre.com">株式会社 シーエムシー・リサーチ</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=32528&date=2019-07-11&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46296">46296円</span> (税別) / 50,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/seminar?id=32528&date=2019-07-11&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-06-14T14:23:36+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="20833">20833円</span> (税別) / 22,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/seminar?id=32528&date=2019-07-11&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-06-14T14:23:36+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="20833円" /> <meta itemprop="highPrice" content="46296円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/seminar?id=32528&date=2019-07-11&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-06-14T14:23:36+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>シーエムシーリサーチからの案内をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> また、2名以上同時申込で全員案内登録をしていただいた場合、2名様目以降は半額 (税込 22,500円)となります。</p> <ul> <li>Eメール案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 41,667円(税別) / 45,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 62,500円(税別) / 67,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 83,333円(税別) / 90,000円(税込)</li> </ul></li> <li>Eメール案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,296円(税別) / 50,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,593円(税別) / 100,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,889円(税別) / 150,000円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>アカデミック割引</h3> <ul> <li>1名様あたり 13,889円(税別) / 15,000円(税込)</li> </ul> <p>学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。</p></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=32528&date=2019-07-11&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Fri, 14 Jun 2019 05:23:36 +0000 admin 32528 at https://tech-seminar.jp:443 プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ https://tech-seminar.jp:443/seminar/2019-05-17-%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD-%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D-%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~プラズマCVDによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズム~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/588" rel="tag" title="プラズマ表面処理">プラズマ表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/31855/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=31855&date=2019-05-17&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/31855/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2019-05-17T10:30:00+09:00">2019年5月17日(金) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2019-05-17T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2019-05-17T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2019-05-17T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマCVDの応用分野の技術者、研究者 <ul> <li>太陽光発電</li> <li>ハイバリア成膜</li> <li>親水・撥水</li> <li>ディスプレイ</li> <li>集積回路</li> <li>ミニマルファブなど</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>高品質膜を得ようとした際の物理的・化学的なメカニズム</li> <li>高品質なプラズマCVD膜を得るためのノウハウ</li> <li>プラズマ源の選定、装置設定、現象</li> <li>ハイバリア成膜、親水・撥水、ディスプレイ、集積回路などの応用</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 産業界で高品質なプラズマCVD膜の得るための仕事に従事する方々は、プラズマ源の選定から装置パラメータの設定に至る意思決定をする立場にあると思います。この意思決定を適切に行うためには、各種のプラズマ源の特徴を把握しておく必要があります。<br />  また、そのプラズマ源を用いたリアクター内で起こる物理・化学的現象が、各種パラメータを変えるとどうなるのか、更にそれが膜質にどのように反映されるのかを把握しておく必要があります。<br />  本講座では、プラズマCVDによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズムを理解して頂くことを趣旨としました。</p> <ol> <li>プラズマと気体放電の基礎 <ol> <li>プラズマの温度 <ul> <li>低温大気圧プラズマはどうしてできるのか?</li> </ul></li> <li>壁との境界「シース」 <ul> <li>プロセスでは表面近傍の理解が大切!</li> </ul></li> <li>Townsendの放電理論とPaschenの法則 <ul> <li>そもそも放電しないと話にならない!</li> </ul></li> </ol></li> <li>プラズマ源 <ol> <li>DC放電プラズマとシース <ul> <li>プラズマ中の電位構造の理解がイオン衝撃の理解に繋がる!</li> </ul></li> <li>RF放電プラズマの基礎と装置構造 <ul> <li>電極非対象とコンデンサの効能</li> </ul></li> <li>高密度プラズマ源は何故高密度か? <ul> <li>電子の直進か回転かが密度の決め手!</li> </ul></li> </ol></li> <li>プラズマ化学工学 <ol> <li>制御パラメータと内部パラメータ <ul> <li>操作できるのは何か、実際には何が変わるのか?</li> </ul></li> <li>電子の分布関数 <ul> <li>電子のエネルギーは数十eVまで拡がる!</li> </ul></li> <li>一次反応 <ul> <li>電子衝突解離で何ができるのか? それは制御可能なのか?</li> </ul></li> <li>二次反応 <ul> <li>電子衝突解離で何が生成されるかが関係無い、ということもある!</li> </ul></li> <li>輸送過程 <ul> <li>通常は拡散だが、イオンのドリフトを使うとイオン衝撃効果援用</li> </ul></li> <li>表面反応過程 <ul> <li>表面で動くことの重要性。それを制御するパラメータは?</li> </ul></li> </ol></li> <li>薄膜堆積プロセス <ol> <li>膜構造形成過程の基本的描像 <ul> <li>この描像をまずもつべし!</li> </ul></li> <li>電子材料としての膜構造 <ul> <li>欠陥とは何か? 何故形成されるのか?</li> </ul></li> <li>スパッタ成膜とその特徴 <ul> <li>スパッタで出来ないことやるのがCVD</li> </ul></li> <li>プラズマCVDとその特徴 <ul> <li>では、CVDでは何ができるのか?</li> </ul></li> <li>a &#8211; Si:H成膜過程と物性 <ul> <li>最も良く理解されている描像</li> </ul></li> <li>イオン衝撃の効能 <ul> <li>制御によって毒にも薬にもなる</li> </ul></li> <li>機能基の含有 <ul> <li>電子エネルギー分布の制御と二次反応の賜物</li> </ul></li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/9969"><span itemprop="name">白藤 立</span></a> 氏 <div>大阪市立大学 大学院工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%A4%A7%E7%94%B0%E5%8C%BA%E7%94%A3%E6%A5%AD%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%B6-PiO">大田区産業プラザ PiO</a> <p>6F C会議室</p> <meta itemprop="name" content="大田区産業プラザ PiO" /> <meta itemprop="telephone" content="03-3733-6600" /> <meta itemprop="url" content="http://www.pio-ota.jp/plaza/" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="144-0035" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">大田区</span> <span itemprop="streetAddress">南蒲田1-20-20</span> </div> <a href="/node/1731"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都大田区南蒲田1-20-20&amp;markers=東京都大田区南蒲田1-20-20&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="大田区産業プラザ PiOの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス&amp;テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=31855&date=2019-05-17&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="42750">42750円</span> (税別) / 46,170円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=31855&date=2019-05-17&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-04-15T13:19:16+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,300円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=31855&date=2019-05-17&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-04-15T13:19:16+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="22500円" /> <meta itemprop="highPrice" content="42750円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=31855&date=2019-05-17&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-04-15T13:19:16+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講の割引特典について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 22,500円(税別) / 24,300円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,750円(税別) / 46,170円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 48,600円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 72,900円(税込)</li> </ul></li> <li>受講者全員が会員登録をしていただいた場合に限ります。</li> <li>同一法人内(グループ会社でも可)による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=31855&date=2019-05-17&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> <div class="field"> 講演順序・プログラムは変更となる場合がございます。予めご了承ください。</div> </div> 表面処理 プラズマ プラズマCVD プラズマ表面処理 薄膜 Mon, 15 Apr 2019 04:19:16 +0000 admin 31855 at https://tech-seminar.jp:443 プラズマスパッタ法による薄膜作製の基礎と実際の膜作製例 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2019-04-19-%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%82%B9%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%BF%E6%B3%95%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%AE%9F%E9%9A%9B%E3%81%AE%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E4%BE%8B <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> プラズマスパッタ法による薄膜作製の基礎と実際の膜作製例</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~薄膜作製に関する基礎から応用まで~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/387" rel="tag" title="スパッタリング">スパッタリング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/31316/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=31316&date=2019-04-19&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%82%B9%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%BF%E6%B3%95%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%AE%9F%E9%9A%9B%E3%81%AE%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E4%BE%8B">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/31316/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2019-04-19T12:30:00+09:00">2019年4月19日(金) 12時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2019-04-19T12:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2019-04-19T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2019-04-19T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventCancelled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>スパッタ法による薄膜作製に携わる方</li> <li>これからスパッタ法により薄膜作製を行う方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマスパッタ法により作製される薄膜の構造</li> <li>プラズマスパッタ法により作製される薄膜の特性</li> <li>プラズマスパッタ法により作製される薄膜の基本的な制御法</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 現在の薄型テレビやスマートフォン、ハードディスクなどの様々な電子機器には、高機能を有する材料を薄膜化した電子部品が多く用いられている。これらの電子部品に用いられている薄膜を作製する方法の一つとして「プラズマスパッタ法」が使用されている。<br />  そこで、本講演では、一般的なプラズマスパッタ法におけるプラズマ生成から基板上への薄膜堆積に至る基礎的事項や、プラズマスパッタ法による薄膜作製の現状と問題点、プラズマスパッタ法の種類とその動作原理について解説した後、様々なスパッタ法により薄膜を作製した場合の実例について解説する。</p> <ol> <li>プラズマスパッタ法による成膜の基礎 <ol> <li>ターゲットを衝撃するためのイオンの生成</li> <li>プラズマ中のイオンによるターゲット表面の衝撃とスパッタ放出</li> <li>ターゲットからスパッタ放出された粒子の基板への輸送過程</li> <li>基板に入射した粒子の付着・堆積過程</li> <li>様々なスパッタ成膜技術</li> </ol></li> <li>スパッタ法による薄膜作製の具体例 <ol> <li>スパッタ法により作製された薄膜の機械的特性</li> <li>低基板温度上に作製した薄膜の特性</li> <li>スパッタ法による調光ミラー用薄膜</li> <li>対向ターゲット式スパッタ法による蛍光体薄膜</li> <li>原子層積層法によるBaフェライト薄膜</li> <li>低電圧スパッタ法によるITO薄膜の低温成膜</li> <li>スパッタビーム堆積法によるZnO薄膜</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%95%86%E5%B7%A5%E6%83%85%E5%A0%B1%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC-%E3%82%AB%E3%83%A1%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%B6">商工情報センター カメリアプラザ</a> <meta itemprop="name" content="商工情報センター カメリアプラザ" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5626-0021" /> <meta itemprop="url" content="http://www.kcf.or.jp/kameido/" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="136-0071" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">江東区</span> <span itemprop="streetAddress">亀戸2-19-1</span> カメリアプラザ 9F </div> <a href="/node/2330"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都江東区亀戸2-19-1&amp;markers=東京都江東区亀戸2-19-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="商工情報センター カメリアプラザの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=31316&date=2019-04-19&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%82%B9%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%BF%E6%B3%95%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%AE%9F%E9%9A%9B%E3%81%AE%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E4%BE%8B">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=31316&date=2019-04-19&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%82%B9%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%BF%E6%B3%95%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%AE%9F%E9%9A%9B%E3%81%AE%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E4%BE%8B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-04-12T17:45:49+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 23,139円(税別) / 24,990円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 69,417円(税別) / 74,970円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,556円(税別) / 99,960円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,833円(税別) / 149,940円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=31316&date=2019-04-19&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%82%B9%E3%83%91%E3%83%83%E3%82%BF%E6%B3%95%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%AE%9F%E9%9A%9B%E3%81%AE%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E4%BE%8B">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> スパッタリング プラズマCVD 薄膜 Fri, 22 Feb 2019 01:00:14 +0000 admin 31316 at https://tech-seminar.jp:443 ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2019-03-29-ALD-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95-%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~今、ホットで注目のALDを基礎から学びます。高品質化・最適化へ~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/30795/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=30795&date=2019-03-29&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/30795/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーは、 <acronym title="Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法"><span class="caps">ALD</span></acronym> , <acronym title="Chemical Vapor Deposition / 気相薄膜形成法"><span class="caps">CVD</span></acronym> の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2019-03-29T10:30:00+09:00">2019年3月29日(金) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2019-03-29T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2019-03-29T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2019-03-29T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDに関連する技術者 <ul> <li>高誘電膜</li> <li>機能性膜</li> <li>電極</li> <li>バリアメタル</li> <li>絶縁膜</li> <li>化合物半導体</li> <li>リチウム電池 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD法の基礎</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの開発</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの解析能力</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。<br />  このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。</p> <ol> <li>第1部 薄膜作製の基礎 <ol> <li>薄膜作製入門 <ol> <li>薄膜の種類と用途</li> <li>代表的な半導体デバイスにおける薄膜の用途と作製方法</li> <li>ウェットプロセスとドライプロセス</li> <li>PVDとCVD、ALD</li> </ol></li> <li>真空の基礎知識 <ol> <li>真空度とは</li> <li>平均自由行程とクヌッセン数</li> <li>真空の質と真空ポンプ、真空計</li> </ol></li> <li>PVDプロセス <ol> <li>真空蒸着の基礎</li> <li>スパッタリング</li> </ol></li> </ol></li> <li>第2部 <span class="caps">ALD</span>/CVDプロセスの反応機構と速度論 <ol> <li>ALDの基礎としてのCVDプロセス入門 <ol> <li>CVDプロセスの素過程</li> <li>CVDプロセスの速度論 <ol> <li>製膜速度の温度依存性 &#8211; 表面反応律速と拡散律速</li> <li>製膜速度の濃度依存性 &#8211; 1次反応とラングミュア・ヒンシェルウッド型反応</li> </ol></li> <li>CVDプロセスの均一性</li> </ol></li> <li>表面・気相の反応機構解析入門 <ol> <li>素反応機構と総括反応機構</li> <li>気相反応の第一原理計算と精度</li> <li>表面反応機構の量子化学的検討と実験的解析</li> </ol></li> </ol></li> <li>第3部 ALDプロセスの基礎と展開 <ol> <li>ALDプロセスの基礎 <ol> <li>ALDプロセスの基礎理論と製膜特性</li> <li>ALDプロセスの理想と現実 <ol> <li>ALDプロセスの温度依存性</li> <li>ALDプロセスの均一性</li> <li>ALDプロセスの量産性</li> </ol></li> </ol></li> <li>ALDプロセスの応用と展開 <ol> <li>ALDプロセスの応用用途</li> <li>ALDプロセスの解析手法と最適化 <ol> <li>Quartz Crystal Microbalance (<span class="caps">QCM</span>) によるその場観察と最適化</li> <li>製膜遅れ時間 (Incubation Time) の観測と最適化</li> </ol></li> <li>新しいALD技術 <ol> <li>プラズマALD、プラズマALE、ホットワイヤーALD</li> <li>Spatial <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALD国際会議について</li> </ol></li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/12385"><span itemprop="name">霜垣 幸浩</span></a> 氏 <div>東京大学 大学院 工学系研究科 マテリアル工学専攻</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%93%81%E5%B7%9D%E5%8C%BA%E7%AB%8B%E7%B7%8F%E5%90%88%E5%8C%BA%E6%B0%91%E4%BC%9A%E9%A4%A8-%E3%81%8D%E3%82%85%E3%82%8A%E3%81%82%E3%82%93">品川区立総合区民会館 きゅりあん</a> <p>5F 第4講習室</p> <meta itemprop="name" content="品川区立総合区民会館 きゅりあん" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5479-4100" /> <meta itemprop="url" content="http://www.shinagawa-culture.or.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="140-0011" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">東大井5丁目18-1</span> </div> <a href="/node/1729"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;markers=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス&amp;テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=30795&date=2019-03-29&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="42750">42750円</span> (税別) / 46,170円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=30795&date=2019-03-29&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-01-03T12:54:19+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,300円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=30795&date=2019-03-29&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-01-03T12:54:19+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="22500円" /> <meta itemprop="highPrice" content="42750円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=30795&date=2019-03-29&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2019-01-03T12:54:19+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講の割引特典について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 22,500円(税別) / 24,300円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,750円(税別) / 46,170円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 48,600円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 72,900円(税込)</li> </ul></li> <li>受講者全員が会員登録をしていただいた場合に限ります。</li> <li>同一法人内(グループ会社でも可)による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=30795&date=2019-03-29&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> <div class="field"> 講演順序・プログラムは変更となる場合がございます。予めご了承ください。</div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Thu, 03 Jan 2019 03:53:58 +0000 admin 30795 at https://tech-seminar.jp:443 大気圧プラズマの必須基礎知識と産業応用技術 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2019-03-06-%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%BF%85%E9%A0%88%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E7%94%A3%E6%A5%AD%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 大気圧プラズマの必須基礎知識と産業応用技術</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">大阪府 開催</span> <span class="option">個別相談付き</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/588" rel="tag" title="プラズマ表面処理">プラズマ表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/430" rel="tag" title="大気圧プラズマ">大気圧プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/77" rel="tag" title="接着">接着</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/30242/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=30242&date=2019-03-06&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%BF%85%E9%A0%88%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E7%94%A3%E6%A5%AD%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/30242/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、大気圧プラズマについて基礎から解説いたします。<br /> また、樹脂、ガラス、繊維の表面処理および排ガス処理、殺菌、水浄化、VOC分解、空気清浄機などへの応用について解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2019-03-06T10:30:00+09:00">2019年3月6日(水) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2019-03-06T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2019-03-06T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2019-03-06T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>表面処理、表面改質に関連する部門の技術者 <ul> <li>材料</li> <li>金属</li> <li>半導体</li> <li>薄膜</li> <li>高分子</li> <li>電子部品</li> <li>ガラス 他</li> </ul></li> <li>光学素子メーカーの加工技術者</li> <li>半導体・電子材料メーカーの加工技術者 <ul> <li>SiC、SOIウエハ</li> <li>水晶ウエハ 等</li> </ul></li> <li>表面処理の技術者</li> <li>プラズマ表面処理を基礎から習得したい技術者</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>大気圧プラズマの発生法の基礎知識</li> <li>大気圧プラズマ表面処理の産業応用技術 <ul> <li>ガラス</li> <li>ポリマー</li> <li>金属</li> </ul></li> <li>大気圧環境プラズマの産業応用技術</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 本セミナーでは、はじめに大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎について実例をあげわかりやすく解説します。次に講師が開発した大気圧プラズマ複合表面処理プロセスの基礎と応用例ならびに大気圧プラズマ複合ガス浄化プロセスの基礎と産業応用例を、分野の最新動向を交えながらわかりやすく解説します。例として、プラスチック、ガラス、ポリマー、繊維の表面処理およびディーゼルエンジン排ガス処理、プラズマ殺菌、水中プラズマによる水浄化処理、揮発性有機化合物 (<span class="caps">VOC</span>) 分解処理、空気清浄装置などを選択し、受講後、類似の開発を直ちに始めることができるような具体的情報を提供します。</p> <ol> <li>【大気圧プラズマ発生法の基礎知識】<br /> 大気圧プラズマの発生方法と発生メカニズムの基礎 <ol> <li>大気圧プラズマと発生法</li> <li>プラズマとは?</li> <li>プラズマの種類</li> <li>パルス放電方式</li> <li>無声放電方式 (誘電体バリア放電方式)</li> <li>オゾン発生装置</li> <li>電流電圧電力波形</li> <li>沿面放電方式</li> <li>高周波プラズマ方式</li> <li>プラズマジェット電極</li> <li>コロナ放電プラズマ装置と電子回路</li> <li>その他各種プラズマジェットとプラズマ医療</li> </ol></li> <li>【大気圧プラズマ表面処理の産業応用技術】<br /> 大気圧プラズマ複合プロセスによるフッ素樹脂フィルムの接着性向上技術 <ol> <li>フッ素樹脂の特性</li> <li>プラズマグラフト重合とは</li> <li>フッ素樹脂フィルム処理の実験装置と実験条件</li> <li>接触角による親水性評価</li> <li>はく離試験による接着性評価</li> <li><span class="caps">ESCA</span> (<span class="caps">XPS</span>) による表面分析評価</li> <li>FT &#8211; IRによる表面分析評価</li> <li>電子顕微鏡による表面写真撮影</li> <li>従来技術 (ナトリウム &#8211; アンモニア処理等) との比較</li> <li>テフロン表面へのめっきについて (プラズマ複合めっき処理)</li> <li>大面積処理装置の実現</li> <li>テフロン上めっきのフォトリソグラフィによる微細加工</li> <li>A4コロナ表面処理のデモンストレーション <ul> <li>試作サンプル回覧</li> </ul></li> </ol></li> <li>大気圧プラズマジェットと医療への応用、殺菌技術 <ol> <li>医療への応用例</li> <li>プラズマ照射装置のその他の応用 (低温殺菌技術など)</li> <li>低温プラズマ殺菌の試験結果</li> </ol></li> <li>大気圧プラズマ複合プロセスによるガラス表面およびポリマー表面の恒久的処理技術 <ol> <li>自動車のフロントガラスやサイドミラーの水滴除去</li> <li>ガラス表面の改質装置</li> <li>プラズマのみを照射した場合 (親水性向上)</li> <li>プラズマ・ケミカル複合プロセスによる恒久的はっ水処理</li> <li>恒久的表面処理のメカニズムについて</li> <li>フッ素樹脂フィルム上有機EL膜の発光特性</li> <li>ポリマー・布表面の改質装置 (ロール ツー ロール処理)</li> <li>PETとアクリル酸のプラズマ重合反応について</li> <li>親水性の評価結果</li> <li>プラズマグラフト重合による脱臭性能付加</li> <li>空気清浄機フィルターへの適用</li> <li>煙の浄化のデモンストレーション</li> <li>衣類への応用</li> </ol></li> <li>【大気圧環境プラズマの産業応用技術】<br /> ディーゼルエンジンのPM、NOx同時除去 <ol> <li>プラズマ複合処理の基礎と原理</li> <li>PMの低温燃焼浄化</li> <li>NOxの還元浄化</li> </ol></li> <li>ボイラ排ガスのNOx、SOx同時除去 <ol> <li>プラズマ複合処理の基礎と原理</li> <li>プラズマ浄化システム概要</li> <li>NOx、SOx除去に関する性能計測結果</li> </ol></li> <li>水中気液界面プラズマによる廃水処理 <ol> <li>プラズマ発生の原理と装置詳細</li> <li>水中放電の種類</li> <li>各種計測の結果とまとめ、今後の展開</li> </ol></li> <li>低温プラズマ複合処理によるVOC分解技術 <ol> <li>プラズマ発生の原理と装置詳細</li> <li>各種計測の結果とまとめ</li> <li>まとめと今後の応用</li> </ol></li> <li>プラズマ空気清浄システム <ol> <li>プラズマ脱臭の原理</li> <li>空気清浄機の構造と結果</li> <li>ごみ処理工場の脱臭施設</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%BB%8B%E6%85%B6%E5%8C%BB%E7%99%82%E7%A7%91%E5%AD%A6%E5%A4%A7%E5%AD%A6%E9%99%A2%E5%A4%A7%E5%AD%A6">滋慶医療科学大学院大学</a> <p>9F 講義室1</p> <meta itemprop="name" content="滋慶医療科学大学院大学" /> <meta itemprop="telephone" content="06-6150-1336" /> <meta itemprop="url" content="www.ghsj.ac.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="532-0003" /> <span itemprop="addressRegion">大阪府</span> <span itemprop="addressLocality">大阪市</span> <span itemprop="streetAddress">淀川区宮原1-2-8</span> </div> <a href="/node/20059"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=大阪府大阪市淀川区宮原1-2-8&amp;markers=大阪府大阪市淀川区宮原1-2-8&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="滋慶医療科学大学院大学の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=30242&date=2019-03-06&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%BF%85%E9%A0%88%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E7%94%A3%E6%A5%AD%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="47600">47600円</span> (税別) / 51,408円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=30242&date=2019-03-06&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%BF%85%E9%A0%88%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E7%94%A3%E6%A5%AD%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-11-27T15:51:05+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 23,139円(税別) / 24,990円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 69,417円(税別) / 74,970円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,556円(税別) / 99,960円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,833円(税別) / 149,940円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=30242&date=2019-03-06&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%BF%85%E9%A0%88%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E7%94%A3%E6%A5%AD%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 プラズマCVD プラズマ表面処理 大気圧プラズマ 接着 Tue, 27 Nov 2018 06:51:05 +0000 admin 30242 at https://tech-seminar.jp:443 ミストCVD技術の開発と今後の可能性 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2019-02-26-%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ミストCVD技術の開発と今後の可能性</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~ミスト流を利用した注目の機能膜作製手法の現在地と今後の展望~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/30527/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=30527&date=2019-02-26&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/30527/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、様々な薄膜の作製を可能にするミストCVD法の基礎知識と今後の展望を解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2019-02-26T12:30:00+09:00">2019年2月26日(火) 12時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2019-02-26T12:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2019-02-26T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2019-02-26T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>機能膜作製プロセス</li> <li>大気圧・非真空プロセス</li> <li>溶液プロセス</li> <li>ミストCVD</li> <li>電子デバイス (ディスプレイ・センサー・スイッチング素子・発光素子・量子素子)</li> <li>コーティング (不動態膜・透明導電膜)</li> <li>組成制御</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 大気圧下で大面積に亘り高品質な機能膜を形成するための技術として開発してきたミストCVDに関して、経緯、歴史、作製膜の特性、デバイス、ミストCVDに関する物理、次世代へ向けた開発の方向性等、詳しく説明します。</p> <ol> <li>第1部 ミストCVD技術の開発 <ol> <li>緒言 <ol> <li>自己紹介</li> <li>高知工科大学について</li> <li>高知工科大学 総合研究所について</li> </ol></li> <li>機能膜作製技術の現状とこれからの開発ポイント <ol> <li>どういった物に利用されているのか</li> <li>それらを作製するシステムの大きさやコストについて</li> <li>省エネプロセスの必要性とそれが達成されない理由</li> <li>大気圧下で対象とする機能膜を形成する為のポイント</li> </ol></li> <li>ミストを利用した機能膜形成技術「ミストCVD」の特徴 <ol> <li>ミスト法とは</li> <li>従来の成膜手法に対するミストCVD法の立場</li> <li>超音波噴霧を利用した機能膜形成技術の歴史</li> </ol></li> <li>原料供給手段に超音波噴霧を利用する利点 <ol> <li>各種液滴の発生法</li> <li>一般環境下で薄膜を形成するために適した液滴発生法とは</li> </ol></li> <li>ミスト流を用いた機能膜作製システムの装置群 <ol> <li>ミスト流を用いた機能膜作製システム</li> <li>原料供給器</li> <li>成膜反応装置周囲の基本システム</li> </ol></li> <li>ミストCVDの物理1 <ol> <li>均質膜を作製する為の3つの手段</li> <li>液滴のライデンフロスト状態</li> </ol></li> </ol></li> <li>第2部 ミストCVD技術の応用と発展 <ol> <li>ファインチャネル (FC) システムvsホットウォール (HW) システム <ol> <li>解析構造・条件</li> <li>結果</li> </ol></li> <li>ミストCVDで作製出来る機能膜 <ol> <li>これまでに形成できた薄膜種</li> <li>酸化亜鉛系 (ZnO)</li> <li>酸化ガリウム系 (Ga2O3)</li> <li>酸化アルミニウム (AlOx)</li> <li>酸化インジウムガリウム亜鉛 (<span class="caps">IGZO</span>)</li> <li>有機膜</li> <li>層状硫化モリブデン (MoS2)</li> <li>その他</li> </ol></li> <li>ミストCVDで作製したデバイス <ol> <li>大気圧手法により形成された酸化物TFTの現状</li> <li>ミストCVDによるIGZO TFTの作製</li> <li>特性および最適化</li> <li>その他のデバイス (<span class="caps">IGZO</span>, Ga2O3, SnO2 <span class="caps">MESFET</span>, Organic SC等)</li> </ol></li> <li>ミストCVDによる量子素子の作製とその特徴 <ol> <li>大気圧下で量子井戸が形成できる理由</li> <li>作製した量子井戸の特徴</li> </ol></li> <li>ミストCVDの物理2 <ol> <li>ミスト同士は衝突しない</li> <li>複合反応の抑制</li> <li>組成制御技術</li> </ol></li> <li>ミストCVDの物理3 <ol> <li>反応炉内でのミスト液滴の挙動</li> <li>ミスト流を利用した成膜プロセスにおける反応メカニズム</li> </ol></li> <li>まとめ <ol> <li>ミストCVDとこれからのミストCVD</li> <li>ミストCVDの他なる可能性</li> </ol></li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/24988"><span itemprop="name">川原村 敏幸</span></a> 氏 <div>高知工科大学 システム工学群 </div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%93%81%E5%B7%9D%E5%8C%BA%E7%AB%8B%E7%B7%8F%E5%90%88%E5%8C%BA%E6%B0%91%E4%BC%9A%E9%A4%A8-%E3%81%8D%E3%82%85%E3%82%8A%E3%81%82%E3%82%93">品川区立総合区民会館 きゅりあん</a> <p>6階 中会議室</p> <meta itemprop="name" content="品川区立総合区民会館 きゅりあん" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5479-4100" /> <meta itemprop="url" content="http://www.shinagawa-culture.or.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="140-0011" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">東大井5丁目18-1</span> </div> <a href="/node/1729"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;markers=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス&amp;テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=30527&date=2019-02-26&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="38000">38000円</span> (税別) / 41,040円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=30527&date=2019-02-26&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-12-17T16:57:02+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="20000">20000円</span> (税別) / 21,600円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=30527&date=2019-02-26&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-12-17T16:57:02+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="20000円" /> <meta itemprop="highPrice" content="38000円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=30527&date=2019-02-26&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-12-17T16:57:02+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講の割引特典について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 20,000円(税別) / 21,600円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,000円(税別) / 41,040円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 43,200円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 64,800円(税込)</li> </ul></li> <li>受講者全員が会員登録をしていただいた場合に限ります。</li> <li>同一法人内(グループ会社でも可)による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=30527&date=2019-02-26&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> <div class="field"> 講演順序・プログラムは変更となる場合がございます。予めご了承ください。</div> </div> CVD 薄膜 Mon, 17 Dec 2018 07:57:02 +0000 admin 30527 at https://tech-seminar.jp:443 金属材料の特性を最大限に引き出す熱処理技術の基礎と応用技術 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2019-02-07-%E9%87%91%E5%B1%9E%E6%9D%90%E6%96%99%E3%81%AE%E7%89%B9%E6%80%A7%E3%82%92%E6%9C%80%E5%A4%A7%E9%99%90%E3%81%AB%E5%BC%95%E3%81%8D%E5%87%BA%E3%81%99%E7%86%B1%E5%87%A6%E7%90%86%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 金属材料の特性を最大限に引き出す熱処理技術の基礎と応用技術</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">大阪府 開催</span> <span class="option">個別相談付き</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/275" rel="tag" title="浸炭処理">浸炭処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/78" rel="tag" title="熱処理">熱処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/276" rel="tag" title="窒化処理">窒化処理</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/29759/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=29759&date=2019-02-07&title=%E9%87%91%E5%B1%9E%E6%9D%90%E6%96%99%E3%81%AE%E7%89%B9%E6%80%A7%E3%82%92%E6%9C%80%E5%A4%A7%E9%99%90%E3%81%AB%E5%BC%95%E3%81%8D%E5%87%BA%E3%81%99%E7%86%B1%E5%87%A6%E7%90%86%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/29759/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、耐磨耗性・耐疲労性・耐腐食性・耐熱性等、鉄鋼材料に機能を付与する熱処理について解説し、部品・設備などの設計・開発を適性の行うための基礎知識を習得していただきます。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2019-02-07T10:00:00+09:00">2019年2月7日(木) 10時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2019-02-07T10:00:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2019-02-07T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2019-02-07T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>熱処理の目的と必要性 (鉄鋼材料)</li> <li>熱処理の種類と材料の特性</li> <li>鉄鋼材料の種類と熱処理の適用例</li> <li>非鉄金属材料の熱処理 (アルミ合金など)</li> <li>熱処理による表面改質技術 <ul> <li>高周波焼入れ</li> <li>浸炭</li> <li>窒化</li> <li><span class="caps">PVD</span></li> <li>CVDなど</li> </ul></li> <li>熱処理品質の評価方法とトラブル対策</li> <li>熱処理に関する個別相談</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 鉄鋼材料をはじめ、多くの金属材料は熱処理をすることによって材料の持っている機械的性質、延性、靭性、耐摩耗性、耐食性などの特性を目的によって最大限に引き出すための技術です。金属材料に適した最適の熱処理を行うことによって、必要とする特性を材料にもたらし、設備や部品の安全性、信頼性、耐久性などを満足させることができるようにする極めて重要な技術である。<br />  したがい、本講習は熱処理の必要性とそれによって得られる特性について、十分理解することによって、部品、設備などの設計・開発を適性の行うことができるための、基礎知識の習得に資する。</p> <ol> <li>熱処理の目的と必要性 <ol> <li>熱処理とは?なぜ熱処理をするのか?</li> <li>鉄鋼材料の熱処理技術と組織の関係</li> </ol></li> <li>熱処理の種類と方法ならびに特性の変化 <ol> <li>焼きなまし <ul> <li>完全焼きなまし</li> <li>等温やきなまし</li> <li>球状やきなまし</li> <li>応力除去焼きなまし</li> </ul></li> <li>焼きならし</li> <li>焼入れ</li> <li>焼戻し</li> <li>固溶化熱処理</li> <li>時効処理</li> <li>残留オーステナイトとサブゼロ処理 など</li> </ol></li> <li>熱処理の適用例 <ol> <li>機械構造用鋼の熱処理</li> <li>工具鋼の熱処理</li> <li>軸受け鋼の熱処理</li> <li>ばね鋼の熱処理</li> <li>鋳鋼・鋳鉄の熱処理</li> <li>ステンレス鋼の熱処理</li> </ol></li> <li>非鉄金属材料の熱処理 <ol> <li>アルミ合金</li> <li>Ti合金など</li> </ol></li> <li>熱処理による表面改質技術 <ol> <li>材料表面の加熱による方法 <ul> <li>炎焼入れ法</li> <li>高周波焼入れ法</li> <li>レーザー焼入れ法</li> </ul></li> <li>拡散浸透方による表面硬化方法 <ol> <li>浸炭 <ul> <li>ガス浸炭</li> <li>真空浸炭</li> <li>プラズマ浸炭</li> </ul></li> <li>浸炭窒化</li> <li>窒化 <ul> <li>塩浴軟窒化</li> <li>ガス窒化</li> <li>ガス軟窒化</li> <li>プラズマ窒化など</li> </ul></li> <li>表面改質技術 <ul> <li><span class="caps">PVD</span></li> <li>CVDなど</li> </ul></li> </ol></li> </ol></li> <li>熱処理の評価方法とトイラブル対策 <ol> <li>品質検査法 <ul> <li>硬さ</li> <li>強度</li> <li>変形</li> <li>面粗度など</li> </ul></li> <li>トラブル例 <ul> <li>脱炭</li> <li>焼き割れ</li> <li>変形</li> <li>粒界酸化など</li> </ul></li> </ol></li> <li>個別相談</li> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E3%83%89%E3%83%BC%E3%83%B3%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC">ドーンセンター</a> <p>4F 中会議室1</p> <meta itemprop="name" content="ドーンセンター" /> <meta itemprop="telephone" content="" /> <meta itemprop="url" content="" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="540-0008" /> <span itemprop="addressRegion">大阪府</span> <span itemprop="addressLocality">大阪市</span> <span itemprop="streetAddress">中央区大手前1丁目3-49</span> </div> <a href="/node/1800"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=大阪府大阪市中央区大手前1丁目3-49&amp;markers=大阪府大阪市中央区大手前1丁目3-49&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="ドーンセンターの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=29759&date=2019-02-07&title=%E9%87%91%E5%B1%9E%E6%9D%90%E6%96%99%E3%81%AE%E7%89%B9%E6%80%A7%E3%82%92%E6%9C%80%E5%A4%A7%E9%99%90%E3%81%AB%E5%BC%95%E3%81%8D%E5%87%BA%E3%81%99%E7%86%B1%E5%87%A6%E7%90%86%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=29759&date=2019-02-07&title=%E9%87%91%E5%B1%9E%E6%9D%90%E6%96%99%E3%81%AE%E7%89%B9%E6%80%A7%E3%82%92%E6%9C%80%E5%A4%A7%E9%99%90%E3%81%AB%E5%BC%95%E3%81%8D%E5%87%BA%E3%81%99%E7%86%B1%E5%87%A6%E7%90%86%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-10-04T23:07:06+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 23,139円(税別) / 24,990円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 69,417円(税別) / 74,970円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,556円(税別) / 99,960円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,833円(税別) / 149,940円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=29759&date=2019-02-07&title=%E9%87%91%E5%B1%9E%E6%9D%90%E6%96%99%E3%81%AE%E7%89%B9%E6%80%A7%E3%82%92%E6%9C%80%E5%A4%A7%E9%99%90%E3%81%AB%E5%BC%95%E3%81%8D%E5%87%BA%E3%81%99%E7%86%B1%E5%87%A6%E7%90%86%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 CVD PVD 浸炭処理 熱処理 窒化処理 Thu, 04 Oct 2018 14:07:06 +0000 admin 29759 at https://tech-seminar.jp:443 有機EL用バリアフィルム、封止材のバリア性向上と性能評価技術 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-12-20-%E6%9C%89%E6%A9%9FEL%E7%94%A8%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E3%80%81%E5%B0%81%E6%AD%A2%E6%9D%90%E3%81%AE%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E6%80%A7%E5%90%91%E4%B8%8A%E3%81%A8%E6%80%A7%E8%83%BD%E8%A9%95%E4%BE%A1%E6%8A%80%E8%A1%93 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 有機EL用バリアフィルム、封止材のバリア性向上と性能評価技術</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1039" rel="tag" title="フィルム">フィルム</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1494" rel="tag" title="封止">封止</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/152" rel="tag" title="成膜">成膜</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/265" rel="tag" title="有機EL">有機EL</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/29893/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=29893&date=2018-12-20&title=%E6%9C%89%E6%A9%9FEL%E7%94%A8%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E3%80%81%E5%B0%81%E6%AD%A2%E6%9D%90%E3%81%AE%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E6%80%A7%E5%90%91%E4%B8%8A%E3%81%A8%E6%80%A7%E8%83%BD%E8%A9%95%E4%BE%A1%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/29893/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、有機デバイス封止材について解説し、フレキシブル性、透明性を下げずにバリア性、耐久性を上げる手法について詳解いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-12-20T10:30:00+09:00">2018年12月20日(木) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-12-20T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-12-20T16:00:00+09:00">16時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-12-20T16:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>有機ELの応用製品に関連する技術者 <ul> <li>ディスプレイ</li> <li>携帯電話</li> <li>タッチパネル</li> <li>車載用パネル</li> <li>照明 など</li> </ul></li> <li>有機ELの封止・バリア技術に関心のある技術者・研究者など</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>有機ELに要求されるバリア性</li> <li>各社バリアフィルムの開発動向</li> <li>さらなるハイバリアフィルム開発のための設計指針</li> <li>水蒸気バリア性の評価法</li> <li>粘土とは何か。なぜ粘土の添加がバリア性を生み出すか。</li> <li>粘土を主成分とするフィルムのバリア性</li> <li>粘土を主成分とするフィルムの開発動向</li> </ul> <ul> <li>フレキシブル有機ELに用いられるバリア材料の特性 <ul> <li>バリアフィルム</li> <li>接着剤</li> <li>粘着剤</li> </ul></li> <li>封止手法 <ul> <li>端面封止</li> <li>ダム&amp;フィル封止</li> <li>PSA封止</li> <li>薄膜封止</li> </ul></li> <li>水蒸気バリア性評価法</li> </ul> <ul> <li>プラズマCVD法によるバリア膜形成</li> <li>バリア膜の評価方法</li> <li>積層によるバリア性向上効果</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <h4>第1部 有機EL用封止フィルムの設計指針と粘土を用いたバリアフィルムの開発</h4> <p>(2018年12月20日 10:30〜12:00)</p> <p> 粘土などの平板状ナノフィラーをプラスチックに混合し、フィルムに平行に配向させることによって高いガスバリア性フィルムを開発することができる。<br />  本講演では、種々のバリアフィルムの解説・設計指針を紹介するとともに、粘土などのナノフィラーの紹介と、高いガスバリア性・水蒸気バリア性を付与するための技術について解説する。</p> <ol> <li>バリアフィルムの開発動向 <ol> <li>バリアフィルムの要求性能 <ul> <li>各製品で要求されるガスバリア値</li> </ul></li> <li>各社バリアフィルムの開発状況 <ul> <li>バリア材の構造</li> <li>バリア性フィルム市場</li> <li>各種高分子フィルムのバリア性</li> <li>各種透明蒸着フィルムのバリア性</li> <li>多積層バリア</li> <li>各社バリアフィルム開発状況</li> <li>さらなるハイバリアに向けた設計指針</li> </ul></li> </ol></li> <li>水蒸気バリア性の評価</li> <li>粘土膜の製造 <ol> <li>粘土と成膜性</li> <li>製膜プロセス</li> <li>特性</li> <li>応用例</li> <li>産業化スキーム</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol> <h4>第2部 フレキシブル有機EL用バリア材料と水蒸気バリア性評価</h4> <p>(2018年12月20日 12:45〜14:15)</p> <p> 有機ELは極微量の水分でも性能が低下してしまうため、バリア材料を用いた封止が必要不可欠です。<br />  本講座では有機ELに用いられるバリア材料の種類や封止方式についてご紹介します。また、バリア材料の評価手法について、水蒸気透過のメカニズム、多種多様な評価手法、有機ELに必要とされる水蒸気透過度 (<span class="caps">WVTR</span>) 10 &#8211; 6 g m &#8211; 2 day &#8211; 1レベルの水蒸気バリア性を評価可能な最新技術まで、詳細に解説いたします。これらの知見が新規バリア材料の開発や有機ELデバイス材料選定の一助となることを期待します。</p> <ol> <li>有機ELにおける封止の必要性</li> <li>フレキシブル有機ELの封止方式について <ol> <li>フレキシブル基板</li> <li>ダム&amp;フィル封止</li> <li>液状材料を用いた全面封止</li> <li><span class="caps">PSA</span> (Pressure Sensitive Adhesive) フィルムを用いた封止</li> <li>薄膜封止 (<span class="caps">TFE</span>: Thin Film Encapsulation)</li> </ol></li> <li>フレキシブル有機EL向け材料の水蒸気バリア性評価 <ol> <li>水蒸気バリア性評価の指標</li> <li>バリア材料の水蒸気透過メカニズム</li> <li>多種多様な水蒸気バリア性評価手法</li> <li>水蒸気バリア性評価の課題</li> <li>MA法 (Modified differential pressure method)</li> <li>接着剤の水蒸気バリア性評価</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol> <h4>第3部 透明SiNxバリア膜の低温プラズマ形成とバリア性評価</h4> <p>(2018年12月20日 14:30〜16:00)</p> <p> 有機EL封止用SiNx膜の低温プラズマ形成法として、種々のプラズマ源の特徴からダメージの少ない成膜法について説明する。また、SiNx膜構造と光透過率の関係を、XPS等を用いた解析結果から述べる。さらに、SiNx/SiONx積層構造によるバリア性向上についても膜の透過率、有機EL素子の恒温恒湿評価の結果を紹介する。</p> <ol> <li>種々のプラズマCVD法の紹介</li> <li>低損傷プロセスとしての表面波プラズマCVD法の概略</li> <li>透明窒化ケイ素膜の材料設計 <ol> <li>SiN組成と光透過率の関係</li> <li>透明SiN膜の構造 (XPSによる構造解析)</li> </ol></li> <li>バリア性向上のための指針 <ol> <li>バリア性評価方法</li> <li>膜の高密度化</li> <li>膜中水素濃度、膜密度、水蒸気透過率の関係</li> <li>Caテストによるバリア性評価</li> </ol></li> <li>積層構造によるバリア性向上効果 <ol> <li>SiONx/SiN積層構造</li> </ol></li> <li>有機EL素子の信頼性評価 <ol> <li>ガラス封止構造での信頼性評価</li> <li>薄膜封止構造での信頼性評価</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/6180"><span itemprop="name">蛯名 武雄</span></a> 氏 <div>国立研究開発法人 産業技術総合研究所 化学プロセス研究部門</div> <div>首席研究員</div> </div> </li> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/29892"><span itemprop="name">上東 篤史</span></a> 氏 <div>株式会社MORESCO デバイス材料事業部 デバイス材料開発部 </div> <div></div> </div> </li> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/5481"><span itemprop="name">東 和文</span></a> 氏 <div>株式会社 島津製作所 基盤技術研究所 </div> <div>担当部長</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%A0%AA%E5%BC%8F%E4%BC%9A%E7%A4%BE-%E6%8A%80%E8%A1%93%E6%83%85%E5%A0%B1%E5%8D%94%E4%BC%9A">株式会社 技術情報協会</a> <meta itemprop="name" content="株式会社 技術情報協会" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5436-7744" /> <meta itemprop="url" content="http://www.gijutu.co.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="141-0031" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">西五反田2-29-5</span> 日幸五反田ビル8F </div> <a href="/node/15011"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区西五反田2-29-5&amp;markers=東京都品川区西五反田2-29-5&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="株式会社 技術情報協会の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/gijutu.co.jp">株式会社 技術情報協会</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=29893&date=2018-12-20&title=%E6%9C%89%E6%A9%9FEL%E7%94%A8%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E3%80%81%E5%B0%81%E6%AD%A2%E6%9D%90%E3%81%AE%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E6%80%A7%E5%90%91%E4%B8%8A%E3%81%A8%E6%80%A7%E8%83%BD%E8%A9%95%E4%BE%A1%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="55000">55000円</span> (税別) / 59,400円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=29893&date=2018-12-20&title=%E6%9C%89%E6%A9%9FEL%E7%94%A8%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E3%80%81%E5%B0%81%E6%AD%A2%E6%9D%90%E3%81%AE%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E6%80%A7%E5%90%91%E4%B8%8A%E3%81%A8%E6%80%A7%E8%83%BD%E8%A9%95%E4%BE%A1%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-11-01T16:37:17+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 54,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=29893&date=2018-12-20&title=%E6%9C%89%E6%A9%9FEL%E7%94%A8%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E3%80%81%E5%B0%81%E6%AD%A2%E6%9D%90%E3%81%AE%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E6%80%A7%E5%90%91%E4%B8%8A%E3%81%A8%E6%80%A7%E8%83%BD%E8%A9%95%E4%BE%A1%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-11-01T16:37:17+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="50000円" /> <meta itemprop="highPrice" content="55000円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=29893&date=2018-12-20&title=%E6%9C%89%E6%A9%9FEL%E7%94%A8%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E3%80%81%E5%B0%81%E6%AD%A2%E6%9D%90%E3%81%AE%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E6%80%A7%E5%90%91%E4%B8%8A%E3%81%A8%E6%80%A7%E8%83%BD%E8%A9%95%E4%BE%A1%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-11-01T16:37:17+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h4>複数名同時受講割引について</h4> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 50,000円(税別) / 54,000円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 55,000円(税別) / 59,400円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 108,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 162,000円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=29893&date=2018-12-20&title=%E6%9C%89%E6%A9%9FEL%E7%94%A8%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E3%80%81%E5%B0%81%E6%AD%A2%E6%9D%90%E3%81%AE%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E6%80%A7%E5%90%91%E4%B8%8A%E3%81%A8%E6%80%A7%E8%83%BD%E8%A9%95%E4%BE%A1%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> CVD フィルム 封止 成膜 有機EL Thu, 01 Nov 2018 07:37:17 +0000 admin 29893 at https://tech-seminar.jp:443 プラズマによる表面処理技術の基礎と応用 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-12-13-%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%87%A6%E7%90%86%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> プラズマによる表面処理技術の基礎と応用</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/588" rel="tag" title="プラズマ表面処理">プラズマ表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/430" rel="tag" title="大気圧プラズマ">大気圧プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/256" rel="tag" title="大気圧非平衡プラズマ処理">大気圧非平衡プラズマ処理</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/29523/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=29523&date=2018-12-13&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%87%A6%E7%90%86%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/29523/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、低圧から大気圧までの各種プラズマの生成方法、各種材料 (樹脂、金属、芽胞菌、細菌など) の表面処理技術の基礎と応用について分かりやすく解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-12-13T10:30:00+09:00">2018年12月13日(木) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-12-13T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-12-13T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-12-13T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマ表面処理の応用分野の技術者、研究者 <ul> <li>太陽光発電</li> <li>ハイバリア成膜</li> <li>親水・撥水</li> <li>ディスプレイ</li> <li>集積回路</li> <li>ミニマルファブなど</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマの基礎</li> <li>各種プラズマの生成法</li> <li>低圧および大気圧プラズマによる各種材料表面処理</li> <li>低圧および大気圧プラズマによるプラズマによる殺菌・滅菌処理技術</li> <li>プラズマ表面機能化ナノ微粒子を用いた環境、バイオ応用</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 近年、各種材料表面の高機能化の社会的ニーズの拡大に伴い、従来広く用いられてきた化学薬品を用いたウエットプロセスから環境に優しいドライプロセス技術の開発が求められている。本講座では、最近注目されているドライプラズマプロセスについて、低圧から大気圧までの各種プラズマの生成方法から、それらのプラズマを用いた各種材料 (樹脂、金属、芽胞菌、細菌など) の表面処理技術の基礎と応用について、分かりやすく解説する。また、講義では単なる一方向的な講義ではなく、受講者からの質問に対して、その都度答える双方向の講義としたい。</p> <ol> <li>プラズマの生成と制御 <ol> <li>プラズマの基本的性質</li> <li>気体の絶縁破壊</li> <li>プラズマ生成技術~低圧力から大気圧まで~</li> <li>プラズマ計測技術</li> </ol></li> <li>プラズマを用いた表面処理技術 <ol> <li>エッチング</li> <li>アッシング</li> <li>プラズマCVD、PVD</li> <li>プラズマ表面粗化</li> <li>プラズマ表面化学修飾</li> <li>プラズマ滅菌</li> </ol></li> <li>低圧力マイクロ波放電を用いた表面プロセス <ol> <li>マイクロ波プラズマについて</li> <li>表面波プラズマと体積波プラズマについて</li> <li>マイクロ波プラズマ実験装置</li> <li>表面波プラズマを用いた表面プロセスの例</li> <li>体積波プラズマを用いた表面プロセスの例</li> </ol></li> <li>低圧力RFプラズマを用いた表面プロセス <ol> <li>RF放電プラズマについて</li> <li>RF放電プラズマ装置 <ul> <li>容量結合型プラズマ装置</li> <li>誘導結合型プラズマ装置</li> </ul></li> <li>RF放電プラズマを用いた表面プロセスの例</li> </ol></li> <li>プラズマプロセスを用いた各種微粒子の作製と応用 <ol> <li>微粒子の産業応用について</li> <li>直流アーク放電による各種炭素被覆金属ナノ微粒子の作製</li> <li>表面高機能化磁性体ナノ微粒子の環境応用 <ul> <li>汚染水浄化 等</li> </ul></li> <li>表面高機能化ナノ微粒子の医療応用 <ul> <li>ウイルス</li> <li>細菌高感度検出 等</li> </ul></li> </ol></li> <li>大気圧プラズマを用いた表面プロセス <ol> <li>大気圧放電プラズマの特徴</li> <li>誘電体バリア放電</li> <li>大気圧プラズマジェット</li> <li>直流アーク放電法による表面修飾ナノ微粒子の作製</li> </ol></li> <li>大気圧放電プラズマを用いた各種プロセス <ol> <li>大気圧プラズマジェットによるポリイミド上への導電性銅薄膜堆積</li> <li>大気圧プラズマジェットを用いたアルミ表面処理と樹脂密着性向上</li> <li>バブルを利用した液相中大気圧プラズマについて</li> <li>細線状大気圧誘電体バリア放電による管内滅菌</li> <li>大気圧誘電体バリア放電を用いた樹脂包装容器内の滅菌</li> <li>大気圧誘電体バリア放電を用いたフッ素樹脂材の表面修飾</li> </ol></li> <li>まとめと今後の課題</li> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%B1%9F%E6%9D%B1%E5%8C%BA%E7%94%A3%E6%A5%AD%E4%BC%9A%E9%A4%A8">江東区産業会館</a> <p>第5展示室</p> <meta itemprop="name" content="江東区産業会館" /> <meta itemprop="telephone" content="03-3699-6011" /> <meta itemprop="url" content="http://www.koto-sangyokaikan.or.jp/" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="135-0016" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">江東区</span> <span itemprop="streetAddress">東陽4丁目5-18</span> </div> <a href="/node/2363"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都江東区東陽4丁目5-18&amp;markers=東京都江東区東陽4丁目5-18&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="江東区産業会館の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=29523&date=2018-12-13&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%87%A6%E7%90%86%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=29523&date=2018-12-13&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%87%A6%E7%90%86%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-09-22T16:22:10+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 23,139円(税別) / 24,990円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 69,417円(税別) / 74,970円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,556円(税別) / 99,960円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,833円(税別) / 149,940円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=29523&date=2018-12-13&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%87%A6%E7%90%86%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 プラズマ プラズマCVD プラズマ表面処理 大気圧プラズマ 大気圧非平衡プラズマ処理 Sat, 22 Sep 2018 07:22:10 +0000 admin 29523 at https://tech-seminar.jp:443 ALD (原子層堆積法) 、ALEt (原子層エッチング) の基礎・応用・最新動向 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-11-26-ALD-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95-%E3%80%81ALEt-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0-%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ALD (原子層堆積法) 、ALEt (原子層エッチング) の基礎・応用・最新動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~ALD/ALEtの原理、理想特性と現実とのギャップ、高品質化・最適化のコツを学ぶ~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/28833/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28833&date=2018-11-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/28833/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーは、 <acronym title="Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法"><span class="caps">ALD</span></acronym> , <acronym title="Chemical Vapor Deposition / 気相薄膜形成法"><span class="caps">CVD</span></acronym> の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-11-26T10:00:00+09:00">2018年11月26日(月) 10時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-11-26T10:00:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-11-26T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-11-26T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDに関連する技術者 <ul> <li>高誘電膜</li> <li>機能性膜</li> <li>電極</li> <li>バリアメタル</li> <li>絶縁膜</li> <li>化合物半導体</li> <li>リチウム電池 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD法の基礎</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの開発</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの解析能力</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などからULSI MOSトランジスタ用高誘電率ゲート酸化膜、および、メモリキャパシタ用高誘電率絶縁膜形成などに応用展開されているほか、近年では有機ELなどのガスバリヤコーティング、繊維表面への撥水加工など、幅広い応用展開の見込める技術です。また、ALDと同じようにガスを交互供給することによりエッチングを行うALEt (Atomic Layer Etching) は、原子レベルでの平滑なエッチングが可能で、高い選択性も有することから、次世代デバイス作製に必須の技術と目されています。しかし、そのプロセスは原料供給、パージ、反応性ガス供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較してかなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。<br />  このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と現実について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALD/ALEtプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。</p> <ol> <li>第1部 薄膜作製の基礎 <ol> <li>薄膜作製プロセス概論 <ol> <li>薄膜の種類と用途</li> <li>代表的な半導体デバイスにおける薄膜の用途と作製方法</li> <li>ウェットプロセスとドライプロセス</li> <li>PVDとCVDの比較、長所と短所</li> </ol></li> <li>真空の基礎知識と薄膜形成の基礎 <ol> <li>真空度とは</li> <li>平均自由行程とクヌッセン数</li> <li>真空の質と真空ポンプ</li> <li>真空蒸着の基礎</li> <li>スパッタリング</li> </ol></li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDプロセス概論 <ol> <li>CVDプロセスの原理と特徴</li> <li>CVDの応用例</li> <li>ALDプロセスの原理と歴史的展開</li> <li>ALDプロセスの特徴と応用、発展</li> <li>ALEtプロセスの原理と特徴</li> </ol></li> </ol></li> <li>第2部 <span class="caps">ALD</span>/CVDプロセスの反応機構と速度論 <ol> <li>ALDの基礎としてのCVDプロセス入門 <ol> <li>CVDプロセスの素過程</li> <li>CVDプロセスの速度論 <ol> <li>製膜速度の温度依存性 &#8211; 表面反応律速と拡散律速</li> <li>製膜速度の濃度依存性 &#8211; 1次反応とラングミュア・ヒンシェルウッド型反応</li> </ol></li> <li>CVDプロセスの均一性と量産性</li> </ol></li> <li>表面・気相の反応機構解析入門 <ol> <li>素反応機構と総括反応機構</li> <li>気相反応の第一原理計算と精度</li> <li>表面反応機構の量子化学的検討と実験的解析</li> <li>CVDプロセスの反応メカニズム解析とプロセスシミュレーション</li> </ol></li> </ol></li> <li>第3部 ALDプロセスの基礎と展開 <ol> <li>ALDプロセスの基礎 <ol> <li>ALDプロセスの基礎理論と製膜特性</li> <li>ALDプロセスの理想と現実 <ol> <li><span class="caps">ALD</span> &#8211; Window (ALD1サイクルの製膜長温度依存性)</li> <li>ALDプロセスの均一性と量産性</li> </ol></li> </ol></li> <li>ALDプロセスの応用と展開 <ol> <li>ALDプロセスの応用用途</li> <li>ALDプロセスの解析手法と最適化</li> <li>新しいALD技術 <ol> <li>プラズマALD、ALEt、ホットワイヤーALD</li> <li>Spatial <span class="caps">ALD</span></li> <li>ALD原料ガス開発</li> </ol></li> <li>ALDの国際会議、情報入手先</li> </ol></li> </ol></li> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%96%B0%E5%AE%BF%E5%8C%BA%E7%AB%8B-%E6%96%B0%E5%AE%BF%E6%96%87%E5%8C%96%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC">新宿区立 新宿文化センター</a> <p>4F 第3会議室</p> <meta itemprop="name" content="新宿区立 新宿文化センター" /> <meta itemprop="telephone" content="03-3350-1141" /> <meta itemprop="url" content="http://www.regasu-shinjuku.or.jp/bunka-center/" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="160-0022" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">新宿区新宿</span> <span itemprop="streetAddress">6-14-1</span> </div> <a href="/node/20647"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都新宿区新宿6-14-1&amp;markers=東京都新宿区新宿6-14-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="新宿区立 新宿文化センターの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=28833&date=2018-11-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=28833&date=2018-11-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-11-16T10:56:08+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 23,139円(税別) / 24,990円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 69,417円(税別) / 74,970円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,556円(税別) / 99,960円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,833円(税別) / 149,940円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28833&date=2018-11-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Sat, 28 Jul 2018 07:56:40 +0000 admin 28833 at https://tech-seminar.jp:443 薄膜の低温成膜技術とそのプロセス、膜質の制御 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-09-28-%E8%96%84%E8%86%9C%E3%81%AE%E4%BD%8E%E6%B8%A9%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%80%81%E8%86%9C%E8%B3%AA%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 薄膜の低温成膜技術とそのプロセス、膜質の制御</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~有機EL、フレキシブルデバイスへの活用に向けて / 熱に弱い部品、基板上へ高品質な薄膜をいかに低温で作るのか~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/387" rel="tag" title="スパッタリング">スパッタリング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/28894/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28894&date=2018-09-28&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E3%81%AE%E4%BD%8E%E6%B8%A9%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%80%81%E8%86%9C%E8%B3%AA%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/28894/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーは、 <acronym title="Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法"><span class="caps">ALD</span></acronym> , <acronym title="Chemical Vapor Deposition / 気相薄膜形成法"><span class="caps">CVD</span></acronym> の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-09-28T10:00:00+09:00">2018年9月28日(金) 10時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-09-28T10:00:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-09-28T17:00:00+09:00">17時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-09-28T17:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <h4>第1部 プラズマ支援反応性スパッタリング製膜による機能性薄膜の低温・大面積形成技術</h4> <p>~プラズマ生成制御から低温・低ダメージ・大面積のプロセス技術まで~</p> <p>(2018年9月28日 10:00〜14:00) ※途中昼休み含む</p> <p> プラズマを用いた表面改質、薄膜形成あるいは微細加工などを行う技術 (いわゆるプラズマプロセス) は、表面の高機能化や新たな材料創製を高精度かつ効率良く行える実用的なプロセス技術として発展し、今日のエレクトロニクス、薄膜工学、機械工学をはじめとする広範な分野にわたる産業を支える基幹技術の一つになっています。プラズマを利用した応用分野は多岐にわたっていますが、目的に合わせた技術開発と最適化を行うためには、プラズマ生成と制御に関わる基本的な理解が極めて重要です。<br />  本講座では、プラズマプロセス技術の新規導入や応用展開を志す研究者や技術者の皆様の一助となることを念頭において、放電ならびにプラズマの生成・制御の基礎から、次世代のフレキシブルデバイスの創成ならびにソフトマテリアル (有機材料) への適用に不可欠な低温・低ダメージ・大面積のプロセスに向けたプラズマ技術を基盤に据えて、先進的なスパッタリング製膜技術への展開について講述します。<br />  特に、ものづくりの「道具」としてのプラズマプロセスでは、多様化が望まれる材料との関わりやコスト低減に資する技術が極めて重要であることから、本講座では、放電技術としてのプラズマの生成・制御に関する知見だけではなく、プラズマと材料との相互作用を踏まえ、プラズマプロセス技術の展望について実例を交えて紹介します。</p> <ol> <li>はじめに <ul> <li>放電科学の黎明期からの展開、プラズマ技術の応用</li> </ul></li> <li>プラズマ生成の原理と実際 <ol> <li>プラズマの生成と維持</li> <li>プロセスプラズマ生成法</li> <li>大気圧・液中でのプラズマ生成と利用</li> </ol></li> <li>大面積プラズマの生成と制御 <ol> <li>プラズマ源に求められる性能</li> <li>プラズマ源のスケールアップに伴う問題点</li> <li>大面積プロセスプラズマ生成・制御技術</li> </ol></li> <li>低ダメージ・高密度プラズマの生成と制御 <ol> <li>プラズマ電位・イオンエネルギー制御技術</li> </ol></li> <li>プラズマ支援スパッタリング製膜技術 <ol> <li>イオン衝撃を利用した製膜プロセスの特徴 (ionized sputter deposition)</li> <li>反応性スパッタリング製膜プロセスの問題点と制御法</li> <li>放電の高密度化と反応性制御技術 <ul> <li>磁場構造の改善による高密度化</li> <li>高電力インパルスマグネトロンスパッタリング<br /> High Power Impulse Magnetron Sputtering (<span class="caps">HIPIMS</span>)</li> <li>プラズマ支援スパッタ製膜技術 (高速製膜・大面積・長尺)</li> </ul></li> </ol></li> <li>プラズマプロセス技術の展望 <ol> <li>ソフトマテリアルの低温クリーニング・表面処理技術</li> <li>シリコン薄膜の低温形成技術</li> <li>窒化シリコン薄膜の低温・高速・長尺形成技術</li> <li>高移動度酸化物半導体InGaZnO薄膜の低温形成技術</li> </ol></li> <li>まとめ、基礎・応用に関するQ&amp;A</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol> <h4>第2部 室温原子層堆積法による金属酸化物薄膜のコーティング技術</h4> <p>(2018年9月28日 14:15〜17:00)</p> <p> 原子層堆積法は微細化が進むLSI製造に広く用いられているが、それ以外の様々な分野での応用が試みられている。また、堆積温度を室温化することで、従来活用できなかったELやフレキシブルエレクトロニクスでの可能性も見出されている。<br />  本セミナーでは、従来技術としての熱ALDの基礎を振り返り、我々が取り組んできたALDの室温化研究について解説する。近年、ニーズが高まっている微粒子コーティングについても紹介する。</p> <ol> <li>原子層堆積の基礎 <ol> <li>原子層堆積法とは</li> <li>原子層堆積の開発の歴史</li> <li>熱ALDの事例紹介</li> <li>プラズマを用いたALD</li> <li>低温製膜の限界</li> </ol></li> <li>室温ALDの開発 <ol> <li>SiO2の室温形成事例とペットボトル・アクリル樹脂コーティング</li> <li>生体親和膜TiO2の室温形成事例とペットボトルコーティング</li> <li>Al2O3の室温形成事例と防食コーティング応用</li> <li>HfO2の室温形成事例</li> <li>窒化物薄膜の低温形成事例</li> </ol></li> <li>蛍光微粒子コーティング技術</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/28893"><span itemprop="name">節原 裕一</span></a> 氏 <div>大阪大学 接合科学研究所 スマートプロセス研究センター</div> <div>副所長 / スマートプロセス研究センター長 / 教授</div> </div> </li> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/11164"><span itemprop="name">廣瀬 文彦</span></a> 氏 <div>山形大学 大学院 理工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%A0%AA%E5%BC%8F%E4%BC%9A%E7%A4%BE-%E6%8A%80%E8%A1%93%E6%83%85%E5%A0%B1%E5%8D%94%E4%BC%9A">株式会社 技術情報協会</a> <meta itemprop="name" content="株式会社 技術情報協会" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5436-7744" /> <meta itemprop="url" content="http://www.gijutu.co.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="141-0031" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">西五反田2-29-5</span> 日幸五反田ビル8F </div> <a href="/node/15011"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区西五反田2-29-5&amp;markers=東京都品川区西五反田2-29-5&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="株式会社 技術情報協会の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/gijutu.co.jp">株式会社 技術情報協会</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=28894&date=2018-09-28&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E3%81%AE%E4%BD%8E%E6%B8%A9%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%80%81%E8%86%9C%E8%B3%AA%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="55000">55000円</span> (税別) / 59,400円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=28894&date=2018-09-28&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E3%81%AE%E4%BD%8E%E6%B8%A9%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%80%81%E8%86%9C%E8%B3%AA%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-08-01T14:14:15+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 54,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=28894&date=2018-09-28&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E3%81%AE%E4%BD%8E%E6%B8%A9%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%80%81%E8%86%9C%E8%B3%AA%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-08-01T14:14:15+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="50000円" /> <meta itemprop="highPrice" content="55000円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=28894&date=2018-09-28&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E3%81%AE%E4%BD%8E%E6%B8%A9%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%80%81%E8%86%9C%E8%B3%AA%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-08-01T14:14:15+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講割引について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 50,000円(税別) / 54,000円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 55,000円(税別) / 59,400円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 108,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 162,000円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28894&date=2018-09-28&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E3%81%AE%E4%BD%8E%E6%B8%A9%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%80%81%E8%86%9C%E8%B3%AA%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD スパッタリング プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Wed, 01 Aug 2018 05:12:32 +0000 admin 28894 at https://tech-seminar.jp:443 大気圧プラズマの基礎と応用展開 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-09-20-%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E5%B1%95%E9%96%8B <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 大気圧プラズマの基礎と応用展開</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~マルチガス・精密温度制御・高速処理への挑戦~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/588" rel="tag" title="プラズマ表面処理">プラズマ表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/430" rel="tag" title="大気圧プラズマ">大気圧プラズマ</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/28346/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28346&date=2018-09-20&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E5%B1%95%E9%96%8B">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/28346/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、親水化処理、接着性向上、クリーニング等の分野で応用が広がる大気圧プラズマについて、基礎から分かりやすく解説いたします。<br /> また、最新の大気圧プラズマ生成法と表面処理、殺菌、環境浄化等への最先端の応用例を解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-09-20T10:30:00+09:00">2018年9月20日(木) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-09-20T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-09-20T10:30:00+09:00">10時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-09-20T10:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマに関連する技術者</li> <li>プラズマの応用に関連する技術者 <ul> <li>プラズマ表面処理</li> <li>プロセシング・新材料創成</li> <li>医療・バイオ分野</li> <li>殺菌・滅菌処理</li> <li>環境浄化</li> <li>微量元素分析 など</li> </ul></li> <li>プラズマで課題を抱えている方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>大気圧プラズマの基礎</li> <li>新しい大気圧プラズマ源</li> <li>大気圧プラズマの応用例</li> <li>大気圧プラズマの今後の展望</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず、また高密度な活性種を生成できるため、産業応用には大変多くのメリットがあります。このため、ここ数年、材料表面の親水化処理、接着性の向上、クリーニング等の分野で急速に利用され始めています。学術的にも、IEEEの国際会議では2005年には1%以下だった大気圧プラズマの発表件数が、近年では半数に迫る勢いで激増しています。しかし、大気圧プラズマの発生や利用法についてはブラックボックス的な部分が多いため、産業応用へのしきいが高いのも事実です。<br />  そこで本講演では、前半で大気圧プラズマの物理や基本的な装置構成をわかりやすく解説し、後半で講師の最新の研究テーマである、金属の3Dプリンタを用いた、マルチガスプラズマや温度制御プラズマなど新しい装置の開発、およびこれらを用いた高速表面クリーニング、接着性改善、酸化膜還元、殺菌処理、皮膚等付着物分析、医療・農業応用などにスポットをあてて研究成果をご紹介します。</p> <ol> <li>大気圧プラズマの基礎 <ol> <li>なぜ大気圧プラズマ?</li> <li>プラズマの特長</li> <li>大気圧プラズマの生成法</li> <li>プラズマ中の原子・分子過程</li> <li>プラズマの物理</li> <li>大気圧プラズマの計測法</li> </ol></li> <li>大気圧高温プラズマと応用 <ol> <li>大気圧高温プラズマ</li> <li>ガス分解処理</li> <li>半導体表面処理</li> </ol></li> <li>大気圧低温プラズマ <ol> <li>さわれるプラズマとは</li> <li>リモートプラズマ</li> <li>ダメージフリープラズマ</li> <li>プラズマガス種と生成される活性種</li> <li>精密温度制御プラズマ</li> </ol></li> <li>大気圧低温プラズマの応用例 <ol> <li>表面処理への応用 <ul> <li>接着前処理</li> <li>酸化膜還元</li> <li>コーティング 等</li> </ul></li> <li>殺菌・医療・農業分野への応用</li> <li>環境浄化・分析への応用</li> </ol></li> <li>大気圧プラズマの有効な利用法と近未来展望</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%B1%9F%E6%9D%B1%E5%8C%BA%E7%94%A3%E6%A5%AD%E4%BC%9A%E9%A4%A8">江東区産業会館</a> <p>第2会議室</p> <meta itemprop="name" content="江東区産業会館" /> <meta itemprop="telephone" content="03-3699-6011" /> <meta itemprop="url" content="http://www.koto-sangyokaikan.or.jp/" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="135-0016" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">江東区</span> <span itemprop="streetAddress">東陽4丁目5-18</span> </div> <a href="/node/2363"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都江東区東陽4丁目5-18&amp;markers=東京都江東区東陽4丁目5-18&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="江東区産業会館の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=28346&date=2018-09-20&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E5%B1%95%E9%96%8B">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=28346&date=2018-09-20&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E5%B1%95%E9%96%8B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-06-09T13:35:39+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 23,139円(税別) / 24,990円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 69,417円(税別) / 74,970円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,556円(税別) / 99,960円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,833円(税別) / 149,940円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28346&date=2018-09-20&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E5%B1%95%E9%96%8B">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 プラズマ プラズマCVD プラズマ表面処理 大気圧プラズマ Sat, 09 Jun 2018 04:35:39 +0000 admin 28346 at https://tech-seminar.jp:443 バリアフィルム技術の総合知識 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-08-30-%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> バリアフィルム技術の総合知識</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~透過のメカニズム、バリア性の付与技術、評価、マーケット情報、ハイバリア技術~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/670" rel="tag" title="コーティング">コーティング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/387" rel="tag" title="スパッタリング">スパッタリング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1039" rel="tag" title="フィルム">フィルム</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/152" rel="tag" title="成膜">成膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/28360/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28360&date=2018-08-30&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/28360/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ハイバリア包装材料の基礎から解説し、包装用途からエレクトロニクス用途までを網羅的に詳解いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-08-30T10:30:00+09:00">2018年8月30日(木) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-08-30T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-08-30T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-08-30T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>バリアフィルム技術の基礎</li> <li>要求特性、ドライ&amp;ウェットコート、成膜技術、ハイバリア</li> <li>透過のメカニズム</li> <li>バリア性の付与技術</li> <li>バリア性の評価</li> <li>バリアフィルムのマーケット情報</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> アルミ蒸着フィルムは、アルミ箔代替として優れたガスバリア性、耐ピンホール性、光線遮断性、装飾性が注目され、一方透明蒸着フィルムは、塩化ビニリデンフィルム代替として優れたガスバリア性、透明性、レトルト耐性、非金属性、環境対応性などが注目され現在大きな食品包装市場を形成しております。最近は、ガスバリア性に加え、フィルム自身に酸素、水蒸気を吸収する機能持つアクティブパッケージが広く利用されるようになっています。 また、最近は透明蒸着フィルムを利用した太陽電池や量子ドットフィルム、有機ELの封止膜へのハイバリアフィルムの適用拡大行われています。この分野では食品分野とは桁違いの厳しいバリア性と軽量でフレキシブルなバリアフィルムが要求され、このため有機・無機膜からなるハイブリッドコーティング技術が開発されてきております。<br />  これらの技術内容や市場について、本講座にて分かりやすく、かつ詳細に解説します。関連技術者にとって、貴重かつ不可欠な情報が網羅されていますので、是非ご聴講ください。</p> <ol> <li>プラスチックフィルムの謎に迫る <ol> <li>ガス透過のメカニズム:ガス透過モデル <ul> <li>定常状態でのガス拡散状態</li> </ul></li> <li>ガス透過理論:透過ガス量の式 <ul> <li>ガス透過係数</li> <li>積層系のガス透過係数</li> </ul></li> <li>高分子構造とガスバリア性:高分子の構造とガスバリア性 <ul> <li>結晶化度とガス透過度</li> <li>配向度とガス透過度</li> <li>ガラス転移点とガス透過度</li> <li>フリーボリュームとガス透過度</li> <li>凝集エネルギーとガス透過度</li> <li>PEの熱振動による開閉孔</li> <li>PANニトリル基による極性相互作用</li> <li>PVA水酸基による水素結合</li> <li>水蒸気敏感度とガス透過度</li> <li>ラミネート構成による透湿度の変化</li> </ul></li> <li>各種フィルムのガス、水蒸気バリア性:パーマコール <ul> <li>各種フィルムの酸素vs水蒸気透過度</li> </ul></li> </ol></li> <li>バリア性を付与するドライコート薄膜作製手法 <ol> <li>ドライコーティング法の分類</li> <li>薄膜の形成:薄膜成長の3様式 <ul> <li>基板面上の核形成と核成長</li> <li>蒸着膜構造の圧力・温度依存性</li> <li>アルミ蒸着膜の表面・断面写真 (<span class="caps">TEM</span>)</li> <li>アルミ蒸着膜のピンホール部写真</li> <li>無機膜の欠陥とガス分子の透過経路</li> <li>ピンホール数と酸素透過度の関係</li> </ul></li> <li>アルミ蒸着膜:アルミ蒸着フィルムのラミネート効果 <ul> <li>ハイバリアアルミ蒸着フィルム</li> <li>ハイバリア・アルミ蒸着フィルムの構造</li> </ul></li> <li>透明蒸着膜:透明蒸着フィルムの構成と性能 <ul> <li>PVD透明蒸着プロセス</li> <li>CVD透明蒸着プロセス</li> <li>SiOx膜の酸素透過度とX値の関係</li> <li>SiO2膜の成膜方法と特性</li> <li>二元蒸着の概念とその蒸着膜の構造</li> <li>アルミナ添加量と密度</li> <li>バリア性の関係</li> <li>蒸着フィルムの特性 (延展性、印加圧)</li> </ul></li> </ol></li> <li>バリア性を付与するコータ設備 <ol> <li>ウエットコーティング:バリア性付与コーティング技術の分類 <ul> <li>ウエットコーティング法によるバリアフィルム</li> <li>湿式成膜ガスバリア膜</li> <li>モンモリロナイト</li> <li>ナノシートによる積層構造</li> <li>コーターヘッドの構造</li> <li>塗工方式と適応粘度、塗布厚み</li> </ul></li> <li>ドライコーティング:巻取式真空蒸着機の構造 <ul> <li>電子ビームを使用した真空蒸着機</li> <li>巻取式スパッタリング装置の配置例</li> <li>アルミナ蒸着機 (<span class="caps">BOBST</span>) と蒸発源</li> <li>マイクロ波プラズマCVD蒸着機、</li> </ul></li> <li>ハイブリッドコーティング <ul> <li>PE &#8211; CVD装置 (神鋼) とプラズマ発光</li> <li>PML用ロール・ツ・ロール蒸着機</li> <li>PML用ロール・ツ・ロール蒸着機</li> <li>ロール・ツ・ロールCVD装置</li> <li>エアー・ツ・エアーアルミ連続蒸着機</li> <li>エアー・ツ・エアー全体レイアウト</li> </ul></li> </ol></li> <li>バリア性をどう評価するか <ol> <li>プラスチックの主な規格・試験法:ガス透過度測定方法の分類 <ul> <li>各種用途に求められるバリア性</li> <li>酸素・水蒸気透過度の測定感度</li> </ul></li> <li>ガス透過度測定:等圧法のガス透過度測定原理 <ul> <li>等圧法モコン水蒸気透過度測定法</li> <li>等圧法モコン酸素ガス透過度測定法</li> <li>ボトルの酸素透過度試験装置</li> <li>カップ法透湿度試験方法</li> <li>差圧法高感度水蒸気透過度試験 (オメガトランス法)</li> <li>デルタバーム法</li> <li>Ca法高感度水蒸気透過度試験</li> <li>等圧式フィルム透過性評価装置</li> </ul></li> </ol></li> <li>アルミ蒸着、透明蒸着フィルムのマーケット情報 <ol> <li>包装用バリアフィルムの市場:包装用バリアフィルムの生産量推移 <ul> <li>包装用途のバリフィルムの採用動向</li> <li>基材別生産量と製品名</li> </ul></li> <li>アルミ蒸着フィルムの物性と製品例:アルミ蒸着フィルムの基材別生産量と製品名 <ul> <li>市販アルミ蒸着フィルムの物性表</li> <li>アルミ蒸着フィルムを使用した包材製品例</li> </ul></li> <li>透明蒸着フィルムの物性と製品例:透明蒸着フィルムの一覧 <ul> <li>透明蒸着フィルムの汎用用途</li> <li>透明蒸着フィルムを使用した包材構成</li> <li>包材製品例</li> </ul></li> </ol></li> <li>アクティブパッケージとバリアボトル <ol> <li>酸素吸収フィルム:アクティブパッケージについて <ul> <li>各種アクティブバリア材とその応用</li> <li>エージレスオーマック (三菱ガス化学)</li> <li>オキシガード (東洋製缶)</li> <li>オキシデック (東洋製罐)</li> <li>マルチブロック (東洋製罐)</li> <li>オキシブロック (東洋製罐)</li> <li>有機系酸素吸収フィルムオキシキャッチ (共同印刷)</li> <li>CSP社アクティブフィルム</li> <li>CSP社使用方法</li> </ul></li> <li>バリアボトル:SiOx内面CVD蒸着技術 (東洋製罐、Sibard) <ul> <li>DLC内面CVD蒸着技術 (Sidel社)</li> <li>DLCプラズマコーティングプロセス (三菱重工)</li> </ul></li> <li>吸湿フィルム:乾燥剤の種類と特徴 <ul> <li>吸湿フィルムの用途・吸湿フィルム (丸東産業)</li> <li>アムコア:社 (米) デジフレックス性能</li> </ul></li> </ol></li> <li>ハイバリアへの展開 &#8211; 太陽電池、量子ドット、有機EL <ol> <li>ハイバリアフィルムの市場:市場規模予測</li> <li>太陽電池:主な太陽電池の分類と要求バリア <ul> <li>各種太陽電池の基本構成</li> <li>結晶シリコン系太陽電池パネルの構造とバックシートの構成</li> <li>各社バックシートの銘柄</li> </ul></li> <li>量子ドットフィルム:量子ドットの働きと波長変換の仕組み <ul> <li>量子ドット組込みバックライトの実装方式</li> <li>タブレット端末向け表面実装方式 (3M社)</li> <li>ハイバリアフィルム技術の現状</li> </ul></li> <li>有機ELディスプレイ用封止膜:有機ELを用いた製品 <ul> <li>有機ELの発光メカニズムとデバイスの進化</li> <li>有機・無機ハイブリッドバリア膜の比較</li> <li>Barix技術の概要図</li> <li>Barixのハイブリッド積層膜写真</li> <li>SAVIC社 (元GE社) UHBのハイブリッド積層膜写真</li> <li>UHBプラズマCVDプロセス条件と物性</li> <li>SAMSUNGとLGディスプレイ) の構造</li> <li>積層ハイバリア技術の課題 (エッジ封止)</li> <li>コニカミノルタの超ハイバリアフィルム</li> <li>超ハイバリアフィルムの技術の現状</li> </ul></li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/11953"><span itemprop="name">伊藤 義文</span></a> 氏 <div>久留米工業高等専門学校</div> <div>研究アドバイザー</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%93%81%E5%B7%9D%E5%8C%BA%E7%AB%8B%E7%B7%8F%E5%90%88%E5%8C%BA%E6%B0%91%E4%BC%9A%E9%A4%A8-%E3%81%8D%E3%82%85%E3%82%8A%E3%81%82%E3%82%93">品川区立総合区民会館 きゅりあん</a> <p>4F 第1グループ活動室</p> <meta itemprop="name" content="品川区立総合区民会館 きゅりあん" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5479-4100" /> <meta itemprop="url" content="http://www.shinagawa-culture.or.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="140-0011" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">東大井5丁目18-1</span> </div> <a href="/node/1729"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;markers=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス&amp;テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=28360&date=2018-08-30&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="42750">42750円</span> (税別) / 46,170円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=28360&date=2018-08-30&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-08-29T09:20:12+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,300円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=28360&date=2018-08-30&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-08-29T09:20:12+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="22500円" /> <meta itemprop="highPrice" content="42750円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=28360&date=2018-08-30&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-08-29T09:20:12+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講の割引特典について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 22,500円(税別) / 24,300円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,750円(税別) / 46,170円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 48,600円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 72,900円(税込)</li> </ul></li> <li>受講者全員が会員登録をしていただいた場合に限ります。</li> <li>同一法人内(グループ会社でも可)による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28360&date=2018-08-30&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> <div class="field"> 講演順序・プログラムは変更となる場合がございます。予めご了承ください。</div> </div> 表面処理 CVD PVD コーティング スパッタリング フィルム プラズマCVD 成膜 Sat, 09 Jun 2018 09:04:28 +0000 admin 28360 at https://tech-seminar.jp:443 ALD (原子層堆積法) 、ALEt (原子層エッチング) の基礎・応用・最新動向 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-07-26-ALD-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95-%E3%80%81ALEt-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0-%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ALD (原子層堆積法) 、ALEt (原子層エッチング) の基礎・応用・最新動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~ALD/ALEtの原理、理想特性と現実とのギャップ、高品質化・最適化のコツを学ぶ~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/28468/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28468&date=2018-07-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/28468/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーは、 <acronym title="Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法"><span class="caps">ALD</span></acronym> , <acronym title="Chemical Vapor Deposition / 気相薄膜形成法"><span class="caps">CVD</span></acronym> の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-07-26T10:00:00+09:00">2018年7月26日(木) 10時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-07-26T10:00:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-07-26T17:00:00+09:00">17時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-07-26T17:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventRescheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDに関連する技術者 <ul> <li>高誘電膜</li> <li>機能性膜</li> <li>電極</li> <li>バリアメタル</li> <li>絶縁膜</li> <li>化合物半導体</li> <li>リチウム電池 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD法の基礎</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの開発</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの解析能力</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などからULSI MOSトランジスタ用高誘電率ゲート酸化膜、および、メモリキャパシタ用高誘電率絶縁膜形成などに応用展開されているほか、近年では有機ELなどのガスバリヤコーティング、繊維表面への撥水加工など、幅広い応用展開の見込める技術です。また、ALDと同じようにガスを交互供給することによりエッチングを行うALEt (Atomic Layer Etching) は、原子レベルでの平滑なエッチングが可能で、高い選択性も有することから、次世代デバイス作製に必須の技術と目されています。しかし、そのプロセスは原料供給、パージ、反応性ガス供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較してかなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。<br />  このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と現実について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALD/ALEtプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。</p> <ol> <li>第1部 薄膜作製の基礎 <ol> <li>薄膜作製プロセス概論 <ol> <li>薄膜の種類と用途</li> <li>代表的な半導体デバイスにおける薄膜の用途と作製方法</li> <li>ウェットプロセスとドライプロセス</li> <li>PVDとCVDの比較、長所と短所</li> </ol></li> <li>真空の基礎知識と薄膜形成の基礎 <ol> <li>真空度とは</li> <li>平均自由行程とクヌッセン数</li> <li>真空の質と真空ポンプ</li> <li>真空蒸着の基礎</li> <li>スパッタリング</li> </ol></li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDプロセス概論 <ol> <li>CVDプロセスの原理と特徴</li> <li>CVDの応用例</li> <li>ALDプロセスの原理と歴史的展開</li> <li>ALDプロセスの特徴と応用、発展</li> <li>ALEtプロセスの原理と特徴</li> </ol></li> </ol></li> <li>第2部 <span class="caps">ALD</span>/CVDプロセスの反応機構と速度論 <ol> <li>ALDの基礎としてのCVDプロセス入門 <ol> <li>CVDプロセスの素過程</li> <li>CVDプロセスの速度論 <ol> <li>製膜速度の温度依存性 &#8211; 表面反応律速と拡散律速</li> <li>製膜速度の濃度依存性 &#8211; 1次反応とラングミュア・ヒンシェルウッド型反応</li> </ol></li> <li>CVDプロセスの均一性と量産性</li> </ol></li> <li>表面・気相の反応機構解析入門 <ol> <li>素反応機構と総括反応機構</li> <li>気相反応の第一原理計算と精度</li> <li>表面反応機構の量子化学的検討と実験的解析</li> <li>CVDプロセスの反応メカニズム解析とプロセスシミュレーション</li> </ol></li> </ol></li> <li>第3部 ALDプロセスの基礎と展開 <ol> <li>ALDプロセスの基礎 <ol> <li>ALDプロセスの基礎理論と製膜特性</li> <li>ALDプロセスの理想と現実 <ol> <li><span class="caps">ALD</span> &#8211; Window (ALD1サイクルの製膜長温度依存性)</li> <li>ALDプロセスの均一性と量産性</li> </ol></li> </ol></li> <li>ALDプロセスの応用と展開 <ol> <li>ALDプロセスの応用用途</li> <li>ALDプロセスの解析手法と最適化</li> <li>新しいALD技術 <ol> <li>プラズマALD、ALEt、ホットワイヤーALD</li> <li>Spatial <span class="caps">ALD</span></li> <li>ALD原料ガス開発</li> </ol></li> <li>ALDの国際会議、情報入手先</li> </ol></li> </ol></li> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%95%86%E5%B7%A5%E6%83%85%E5%A0%B1%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC-%E3%82%AB%E3%83%A1%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%B6">商工情報センター カメリアプラザ</a> <p>9F 会議室</p> <meta itemprop="name" content="商工情報センター カメリアプラザ" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5626-0021" /> <meta itemprop="url" content="http://www.kcf.or.jp/kameido/" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="136-0071" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">江東区</span> <span itemprop="streetAddress">亀戸2-19-1</span> カメリアプラザ 9F </div> <a href="/node/2330"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都江東区亀戸2-19-1&amp;markers=東京都江東区亀戸2-19-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="商工情報センター カメリアプラザの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=28468&date=2018-07-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/LimitedAvailability" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=28468&date=2018-07-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-07-28T16:57:04+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 23,139円(税別) / 24,990円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 69,417円(税別) / 74,970円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,556円(税別) / 99,960円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,833円(税別) / 149,940円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28468&date=2018-07-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Fri, 22 Jun 2018 02:42:02 +0000 admin 28468 at https://tech-seminar.jp:443 ALD (原子層堆積法) の基礎と応用 (1日コース) https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-07-12-ALD-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95-%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8-1%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ALD (原子層堆積法) の基礎と応用 (1日コース)</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~薄膜形成の原理から、最新の応用展開の状況まで~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/28614/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28614&date=2018-07-12&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/28614/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーは、 <acronym title="Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法"><span class="caps">ALD</span></acronym> , <acronym title="Chemical Vapor Deposition / 気相薄膜形成法"><span class="caps">CVD</span></acronym> の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-07-12T10:30:00+09:00">2018年7月12日(木) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-07-12T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-07-12T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-07-12T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDに関連する技術者 <ul> <li>高誘電膜</li> <li>機能性膜</li> <li>電極</li> <li>バリアメタル</li> <li>絶縁膜</li> <li>化合物半導体</li> <li>リチウム電池 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD法の基礎</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの開発</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの解析能力</li> <li>解析能力・エッチングへの応用としてのALEt</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。<br />  このため、本講座では、第1部で各種の薄膜作成の基礎を概説、第2部でALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、第3部ではALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。</p> <ol> <li>第1部 薄膜作成の基礎 <ol> <li>薄膜作製プロセス概論 <ol> <li>薄膜の種類と用途:ULSI,MEMS,太陽電池,LED/LD</li> <li>ウェットプロセスとドライプロセス,PVDとCVD</li> <li>CVDプロセスの特徴</li> <li>半導体デバイス,高集積化・微細化とALD技術</li> </ol></li> <li>真空の基礎知識と薄膜形成の基礎 <ol> <li>真空蒸着</li> <li>真空度・真空の質,平均自由行程</li> <li>各種PVD技術</li> </ol></li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDプロセス概論 <ol> <li>CVDプロセスの原理と特徴,応用例</li> <li>ALDプロセスの原理と歴史的展開</li> <li>ALDプロセスの特徴と応用・発展</li> <li>ALEtプロセスの原理と特徴</li> </ol></li> </ol></li> <li>第2部 <span class="caps">ALD</span>/CVD反応機構と速度論 <ol> <li>ALDの基礎としてのCVDプロセス入門 <ol> <li>CVDプロセスの素課程</li> <li>CVDプロセスの速度論 <ol> <li>製膜速度の温度依存性,表面反応律速と拡散律速</li> <li>製膜速度の濃度依存性,1次反応とラングミュア・ヒンシェルウッド型反応</li> </ol></li> <li>CVDプロセスの均一性</li> </ol></li> <li>表面・気相の反応機構解析入門 <ol> <li>素反応機構と総括反応機構</li> <li>気相反応の第一原理計算と精度</li> <li>表面反応機構の量子化学的検討と実験的解析</li> </ol></li> </ol></li> <li>第3部 ALDプロセスの基礎と展開 <ol> <li>ALDプロセスの基礎 <ol> <li>ALDプロセスの基礎理論と製膜特性</li> <li>ALDプロセスの理想と現実</li> </ol></li> <li>ALDプロセスの展開と応用 <ol> <li>ALDプロセスの応用用途</li> <li>ALDプロセスの解析手法と最適化</li> <li>HW-ALDによる高品質Ni薄膜の合成</li> <li><span class="caps">ALD</span>-Co (W) /CVD-Cu (Mn) による高信頼性ULSI配線形成</li> </ol></li> <li>まとめ</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/12385"><span itemprop="name">霜垣 幸浩</span></a> 氏 <div>東京大学 大学院 工学系研究科 マテリアル工学専攻</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E4%B8%AD%E5%A4%AE%E5%A4%A7%E5%AD%A6-%E9%A7%BF%E6%B2%B3%E5%8F%B0%E8%A8%98%E5%BF%B5%E9%A4%A8">中央大学 駿河台記念館</a> <p>350教室</p> <meta itemprop="name" content="中央大学 駿河台記念館" /> <meta itemprop="telephone" content="" /> <meta itemprop="url" content="" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="101-0062" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">千代田区</span> <span itemprop="streetAddress">神田駿河台3丁目11−5</span> </div> <a href="/node/1767"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都千代田区神田駿河台3丁目11−5&amp;markers=東京都千代田区神田駿河台3丁目11−5&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="中央大学 駿河台記念館の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/cmcre.com">株式会社 シーエムシー・リサーチ</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=28614&date=2018-07-12&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46296">46296円</span> (税別) / 50,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/seminar?id=28614&date=2018-07-12&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-07-03T00:49:51+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="20833">20833円</span> (税別) / 22,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/seminar?id=28614&date=2018-07-12&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-07-03T00:49:51+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="20833円" /> <meta itemprop="highPrice" content="46296円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/seminar?id=28614&date=2018-07-12&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-07-03T00:49:51+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>シーエムシーリサーチからの案内をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> また、2名以上同時申込で全員案内登録をしていただいた場合、2名様目以降は半額 (税込 22,500円)となります。</p> <ul> <li>Eメール案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 41,667円(税別) / 45,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 62,500円(税別) / 67,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 83,333円(税別) / 90,000円(税込)</li> </ul></li> <li>Eメール案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,296円(税別) / 50,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,593円(税別) / 100,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,889円(税別) / 150,000円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>アカデミック割引</h3> <ul> <li>1名様あたり 13,889円(税別) / 15,000円(税込)</li> </ul> <p>学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院の教員、学生に限ります。</p></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=28614&date=2018-07-12&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8+%281%E6%97%A5%E3%82%B3%E3%83%BC%E3%82%B9%29">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Mon, 02 Jul 2018 15:49:51 +0000 admin 28614 at https://tech-seminar.jp:443 薄膜作製の基礎とトラブル対策 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-07-03-%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 薄膜作製の基礎とトラブル対策</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">大阪府 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/387" rel="tag" title="スパッタリング">スパッタリング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/27497/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=27497&date=2018-07-03&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/27497/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、真空蒸着、スパッタ、CVDなどの成膜技術について基礎から解説し、実務での活用についてわかりやすく詳解いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-07-03T10:30:00+09:00">2018年7月3日(火) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-07-03T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-07-03T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-07-03T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>成膜プロセス設計に必要な基礎知識</li> <li>成膜プロセスで発生したトラブル対応に必要な基礎知識</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> スパッタ法や真空蒸着法、化学気相成長 (<span class="caps">CVD</span>) 法は、先端材料研究をはじめ、電子デバイス,太陽電池,建材、さらには食品産業まで、さまざまな分野で使用されており、今や我々の生活と切っても切り離せない技術になっています。エレクトロニクスや真空技術の進歩により、現在では高性能な成膜装置が市販されていますが、これらを使いこなすには適切な知識が必要です。たとえば、新たな条件で成膜を行おうとすると、所望の薄膜を得るために条件出しを行わなければなりません。また、成膜プロセスでトラブルが発生すると、その対処に頭を悩ませることになります。そのようなときに必要になるのが、成膜技術に関する基本的かつ系統的な知識です。<br />  本講座では、真空蒸着法やスパッタ法、CVD法などを用いた成膜技術に携わる方々を対象に、これらの技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。</p> <ol> <li>成膜技術に必要な真空・表面物性工学 <ol> <li>気体分子運動論の基礎</li> <li>真空工学の基礎</li> <li>表面物性工学の基礎</li> </ol></li> <li>真空蒸着法 <ol> <li>真空蒸着法の原理</li> <li>真空蒸着法の種類と装置例</li> <li>真空蒸着法で作製される薄膜の例</li> <li>真空蒸着法を適用する際の留意事項</li> </ol></li> <li>スパッタ法 <ol> <li>スパッタ法の原理</li> <li>スパッタ法の種類と装置例</li> <li>スパッタ法で作製される薄膜の例</li> <li>スパッタ法を適用する際の留意事項</li> </ol></li> <li>化学気相成長 (<span class="caps">CVD</span>) 法 <ol> <li>CVD法の原理</li> <li>CVD法の種類と装置例</li> <li>CVD法で作製されるさまざまな薄膜の例</li> <li>CVD法を適用する際の留意事項</li> </ol></li> <li>薄膜評価法 <ol> <li>表面モルフォロジ、ステップカバレッジ</li> <li>膜組成、膜構造</li> <li>付着力、膜応力</li> <li>電気的特性、光学的特性</li> </ol></li> <li>成膜プロセスで遭遇するトラブル例と対処法 <ol> <li>膜質に関するトラブル</li> <li>装置に関するトラブル</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%BB%8B%E6%85%B6%E5%8C%BB%E7%99%82%E7%A7%91%E5%AD%A6%E5%A4%A7%E5%AD%A6%E9%99%A2%E5%A4%A7%E5%AD%A6">滋慶医療科学大学院大学</a> <p>9F 視聴覚大講義室</p> <meta itemprop="name" content="滋慶医療科学大学院大学" /> <meta itemprop="telephone" content="06-6150-1336" /> <meta itemprop="url" content="www.ghsj.ac.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="532-0003" /> <span itemprop="addressRegion">大阪府</span> <span itemprop="addressLocality">大阪市</span> <span itemprop="streetAddress">淀川区宮原1-2-8</span> </div> <a href="/node/20059"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=大阪府大阪市淀川区宮原1-2-8&amp;markers=大阪府大阪市淀川区宮原1-2-8&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="滋慶医療科学大学院大学の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=27497&date=2018-07-03&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=27497&date=2018-07-03&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-04-25T09:27:56+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 23,139円(税別) / 24,990円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 69,417円(税別) / 74,970円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,278円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,556円(税別) / 99,960円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,833円(税別) / 149,940円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=27497&date=2018-07-03&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> CVD スパッタリング 真空蒸着 薄膜 Mon, 26 Mar 2018 06:10:04 +0000 admin 27497 at https://tech-seminar.jp:443 マシニングセンタの高能率・高精度加工 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-05-22-%E3%83%9E%E3%82%B7%E3%83%8B%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%81%AE%E9%AB%98%E8%83%BD%E7%8E%87%E3%83%BB%E9%AB%98%E7%B2%BE%E5%BA%A6%E5%8A%A0%E5%B7%A5 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> マシニングセンタの高能率・高精度加工</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/354" rel="tag" title="ドリル加工">ドリル加工</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1056" rel="tag" title="フライス盤">フライス盤</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/289" rel="tag" title="切削">切削</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/27350/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=27350&date=2018-05-22&title=%E3%83%9E%E3%82%B7%E3%83%8B%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%81%AE%E9%AB%98%E8%83%BD%E7%8E%87%E3%83%BB%E9%AB%98%E7%B2%BE%E5%BA%A6%E5%8A%A0%E5%B7%A5">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/27350/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-05-22T10:00:00+09:00">2018年5月22日(火) 10時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-05-22T10:00:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-05-22T17:00:00+09:00">17時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-05-22T17:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>マシニングセンタの生産技術を担当する初心者~中級者</li> <li>マシニングセンタで加工作業を行う初心者~中級者</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>マシニングセンタを使った加工の各種ポイント</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 近年、汎用性の高いマシニングセンタが多く普及しています。この反面、色々なことができるマシニングセンタですが、上手に使用しないとその性能を発揮できないばかりか、問題が目立つようになります。また、マシニングセンタは小型化が進んでいますが、小型化は剛性低下に直結するため、加工精度や表面粗さが得られにくいことが課題です。<br />  本講習では切削加工を基本から見直し、マシニングセンタで発生する様々なトラブル事例を紹介し、その要因と対策について解説します。切削加工は簡単な物理です。力を小さくするだけでなく、作用する向きを変えてあげれば多くの問題は解決できます。社内の問題解決、現場で役立つ講習を目指します。</p> <ol> <li>金属加工の基礎 <ol> <li>生産技術者も持つべき視点</li> <li>切削加工の原点と理想像</li> </ol></li> <li>切削工具材質の種類と特徴 <ol> <li>超硬合金 (P、M、K、N、S、H) の特徴と使い方</li> <li>超微粒子超硬合金の特徴と使い方</li> <li>サーメットの特徴と使い方</li> <li>CBNの特徴と使い方</li> <li>コーティング (PVD、CVD) の使い方</li> <li>単結晶と多結晶ダイヤの使い方</li> </ol></li> <li>加工条件の見直しと指針 <ol> <li>回転数 (切削速度) の決め方</li> <li>主軸の基底回転数とトルクの関係</li> <li>送り速度の決め方</li> <li>表面粗さから送り速度を求める方法</li> <li>切込み深さの決め方</li> <li>最小切込み深さと最大切込み深さ</li> <li>高速切削の優位性 (工具摩耗を抑制する切削条件とは?)</li> </ol></li> <li>正面フライス工具の使い方 <ol> <li>正面フライスの形状と切削抵抗の関係</li> <li>チップの突き出し高さと表面粗さの関係</li> <li>エンゲージ角とディスエンゲージ角の考え方 (工具寿命とびびり、バリの抑制)</li> <li>同時切削刃数と切削抵抗の関係 (工具寿命とびびり抑制)</li> <li>正面フライス加工のツールパスと加工精度</li> <li>主軸剛性を考慮した加工精度の追及 (主軸のたわみを考える)</li> <li>薄物・低剛性工作物加工のポイント</li> <li>入口バリと出口バリの抑制</li> </ol></li> <li>エンドミルの選び方・使い方 <ol> <li>刃数の選び方と使い方 (溝加工のポイント)</li> <li>ラジアスエンドミルの有効活用</li> <li>ラフィング、不等分割、不等リードエンドミルの使い方</li> <li>アップカットとダウンカットの使い分け (立壁の加工)</li> <li>エンドミルの接触弧と引き込み、びびり</li> <li>ボールエンドミルの倒れと適正角度</li> </ol></li> <li>ドリル加工 <ol> <li>先端角、溝幅比、ねじれ角などに基づく正しいドリルの使い分け</li> <li>工作物材質によるドリルの使い分け</li> <li>ソリッドドリルと刃先交換式ドリルの使い分け</li> <li>ドリル加工の適正切削条件の見分け方</li> <li>加工目的による下穴角度の使い分け (まっすぐ、真円に穴をあけるには!)</li> <li>入口バリと出口バリの抑制方法</li> </ol></li> <li>事例から学ぶマシニングセンタの極意 <ol> <li>タップ加工の同期誤差</li> <li>ミルシートの見方 (合金元素が切削特性に及ぼす影響)</li> <li>高圧クーラントの効果</li> <li>切削油剤の種類と希釈倍率が工具寿命に与える影響</li> </ol></li> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%95%86%E5%B7%A5%E6%83%85%E5%A0%B1%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC-%E3%82%AB%E3%83%A1%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%B6">商工情報センター カメリアプラザ</a> <p>9F 研修室</p> <meta itemprop="name" content="商工情報センター カメリアプラザ" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5626-0021" /> <meta itemprop="url" content="http://www.kcf.or.jp/kameido/" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="136-0071" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">江東区</span> <span itemprop="streetAddress">亀戸2-19-1</span> カメリアプラザ 9F </div> <a href="/node/2330"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都江東区亀戸2-19-1&amp;markers=東京都江東区亀戸2-19-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="商工情報センター カメリアプラザの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=27350&date=2018-05-22&title=%E3%83%9E%E3%82%B7%E3%83%8B%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%81%AE%E9%AB%98%E8%83%BD%E7%8E%87%E3%83%BB%E9%AB%98%E7%B2%BE%E5%BA%A6%E5%8A%A0%E5%B7%A5">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=27350&date=2018-05-22&title=%E3%83%9E%E3%82%B7%E3%83%8B%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%81%AE%E9%AB%98%E8%83%BD%E7%8E%87%E3%83%BB%E9%AB%98%E7%B2%BE%E5%BA%A6%E5%8A%A0%E5%B7%A5" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-04-16T13:17:11+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="40556">40556円</span> (税別) / 43,800円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=27350&date=2018-05-22&title=%E3%83%9E%E3%82%B7%E3%83%8B%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%81%AE%E9%AB%98%E8%83%BD%E7%8E%87%E3%83%BB%E9%AB%98%E7%B2%BE%E5%BA%A6%E5%8A%A0%E5%B7%A5" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-04-16T13:17:11+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="40556円" /> <meta itemprop="highPrice" content="46278円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=27350&date=2018-05-22&title=%E3%83%9E%E3%82%B7%E3%83%8B%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%81%AE%E9%AB%98%E8%83%BD%E7%8E%87%E3%83%BB%E9%AB%98%E7%B2%BE%E5%BA%A6%E5%8A%A0%E5%B7%A5" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-04-16T13:17:11+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 40,556円(税別) / 43,800円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 43,750円(税別) / 47,250円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 81,111円(税別) / 87,600円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 141,912円(税別) / 131,400円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 46,277円(税別) / 49,980円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 92,554円(税別) / 99,960円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 138,831円(税別) / 149,940円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=27350&date=2018-05-22&title=%E3%83%9E%E3%82%B7%E3%83%8B%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%81%AE%E9%AB%98%E8%83%BD%E7%8E%87%E3%83%BB%E9%AB%98%E7%B2%BE%E5%BA%A6%E5%8A%A0%E5%B7%A5">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 CVD PVD ドリル加工 フライス盤 切削 Fri, 23 Mar 2018 13:14:00 +0000 admin 27350 at https://tech-seminar.jp:443 ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-03-30-ALD-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95-%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/26889/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=26889&date=2018-03-30&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/26889/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーは、 <acronym title="Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法"><span class="caps">ALD</span></acronym> , <acronym title="Chemical Vapor Deposition / 気相薄膜形成法"><span class="caps">CVD</span></acronym> の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-03-30T10:30:00+09:00">2018年3月30日(金) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-03-30T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-03-30T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-03-30T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDに関連する技術者 <ul> <li>高誘電膜</li> <li>機能性膜</li> <li>電極</li> <li>バリアメタル</li> <li>絶縁膜</li> <li>化合物半導体</li> <li>リチウム電池 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD法の基礎</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの開発</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの解析能力</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。<br />  このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。</p> <ol> <li>第1部 薄膜作製の基礎 <ol> <li>薄膜作製入門 <ol> <li>薄膜の種類と用途</li> <li>代表的な半導体デバイスにおける薄膜の用途と作製方法</li> <li>ウェットプロセスとドライプロセス</li> <li>PVDとCVD、ALD</li> </ol></li> <li>真空の基礎知識 <ol> <li>真空度とは</li> <li>平均自由行程とクヌッセン数</li> <li>真空の質と真空ポンプ、真空計</li> </ol></li> <li>PVDプロセス <ol> <li>真空蒸着の基礎</li> <li>スパッタリング</li> </ol></li> </ol></li> <li>第2部 <span class="caps">ALD</span>/CVDプロセスの反応機構と速度論 <ol> <li>ALDの基礎としてのCVDプロセス入門 <ol> <li>CVDプロセスの素過程</li> <li>CVDプロセスの速度論 <ol> <li>製膜速度の温度依存性 &#8211; 表面反応律速と拡散律速</li> <li>製膜速度の濃度依存性 &#8211; 1次反応とラングミュア・ヒンシェルウッド型反応</li> </ol></li> <li>CVDプロセスの均一性</li> </ol></li> <li>表面・気相の反応機構解析入門 <ol> <li>素反応機構と総括反応機構</li> <li>気相反応の第一原理計算と精度</li> <li>表面反応機構の量子化学的検討と実験的解析</li> </ol></li> </ol></li> <li>第3部 ALDプロセスの基礎と展開 <ol> <li>ALDプロセスの基礎 <ol> <li>ALDプロセスの基礎理論と製膜特性</li> <li>ALDプロセスの理想と現実 <ol> <li>ALDプロセスの温度依存性</li> <li>ALDプロセスの均一性</li> <li>ALDプロセスの量産性</li> </ol></li> </ol></li> <li>ALDプロセスの応用と展開 <ol> <li>ALDプロセスの応用用途</li> <li>ALDプロセスの解析手法と最適化 <ol> <li>Quartz Crystal Microbalance (<span class="caps">QCM</span>) によるその場観察と最適化</li> <li>製膜遅れ時間 (Incubation Time) の観測と最適化</li> </ol></li> <li>新しいALD技術 <ol> <li>プラズマALD、プラズマALE、ホットワイヤーALD</li> <li>Spatial <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALD国際会議について</li> </ol></li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/12385"><span itemprop="name">霜垣 幸浩</span></a> 氏 <div>東京大学 大学院 工学系研究科 マテリアル工学専攻</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%A4%A7%E7%94%B0%E5%8C%BA%E7%94%A3%E6%A5%AD%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%B6-PiO">大田区産業プラザ PiO</a> <p>6F C会議室</p> <meta itemprop="name" content="大田区産業プラザ PiO" /> <meta itemprop="telephone" content="03-3733-6600" /> <meta itemprop="url" content="http://www.pio-ota.jp/plaza/" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="144-0035" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">大田区</span> <span itemprop="streetAddress">南蒲田1-20-20</span> </div> <a href="/node/1731"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都大田区南蒲田1-20-20&amp;markers=東京都大田区南蒲田1-20-20&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="大田区産業プラザ PiOの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス&amp;テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=26889&date=2018-03-30&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="42750">42750円</span> (税別) / 46,170円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=26889&date=2018-03-30&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-02-05T21:23:16+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,300円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=26889&date=2018-03-30&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-02-05T21:23:16+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="22500円" /> <meta itemprop="highPrice" content="42750円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=26889&date=2018-03-30&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-02-05T21:23:16+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講の割引特典について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 22,500円(税別) / 24,300円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,750円(税別) / 46,170円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 48,600円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 72,900円(税込)</li> </ul></li> <li>受講者全員が会員登録をしていただいた場合に限ります。</li> <li>同一法人内(グループ会社でも可)による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=26889&date=2018-03-30&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> <div class="field"> 講演順序・プログラムは変更となる場合がございます。予めご了承ください。</div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Mon, 05 Feb 2018 12:23:16 +0000 admin 26889 at https://tech-seminar.jp:443 原子層エッチングの原理、プロセス最適化と微細加工技術 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2018-03-26-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E6%9C%80%E9%81%A9%E5%8C%96%E3%81%A8%E5%BE%AE%E7%B4%B0%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E6%8A%80%E8%A1%93 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 原子層エッチングの原理、プロセス最適化と微細加工技術</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/26839/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=26839&date=2018-03-26&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E6%9C%80%E9%81%A9%E5%8C%96%E3%81%A8%E5%BE%AE%E7%B4%B0%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/26839/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、原子層エッチングのメカニズムから最先端の原子層エッチング開発事例まで、第一線の講師陣が解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2018-03-26T10:30:00+09:00">2018年3月26日(月) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2018-03-26T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2018-03-26T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2018-03-26T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>原子層エッチングに関連する技術者 <ul> <li>高誘電膜</li> <li>機能性膜</li> <li>電極</li> <li>バリアメタル</li> <li>絶縁膜</li> <li>化合物半導体</li> <li>リチウム電池 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <h4>第1部 原子層エッチングのメカニズムとプロセスの最適化</h4> <p>(2018年3月26日 10:30〜12:30)</p> <ul> <li><span class="caps">ALD</span>/ALEプロセスの原理、反応機構</li> <li><span class="caps">ALD</span>/ALEプロセスの最適化</li> <li>ALEの応用展開</li> <li>質疑応答</li> </ul> <h4>第2部 プラズマを用いた原子層エッチングと表面反応制御</h4> <p>(2018年3月26日 13:15〜14:45)</p> <p> 原子層エッチングは、次世代の微細な三次元構造を持つ半導体集積回路を開発、製造する際に必要となる技術である。モノのインターネット (IoT) の普及により、データ処理を担う半導体集積回路の微細化/三次元化は益々進んでおり、最小加工寸法が10ナノメートルを切る今後の半導体製造プロセスには、原子層レベルの制御性でエッチングする技術が求められている。<br />  本講座では、プラズマを用いた原子層エッチング技術について、半導体デバイスのトレンドからエッチング反応の原理、表面原子層反応の制御、エッチング装置、そして最先端の原子層エッチング開発事例までを、メーカのエッチング技術開発の現場にいる講師が、実経験を交えながら分かり易く解説する。</p> <ol> <li>背景 <ol> <li>半導体デバイスのトレンド</li> <li>半導体製造プロセスにおけるエッチング</li> </ol></li> <li>プラズマエッチングの技術動向 <ol> <li>プラズマエッチングの基礎</li> <li>プラズマエッチングの歴史</li> <li>先端デバイスエッチングの課題</li> </ol></li> <li>プラズマを用いた原子層エッチング <ol> <li>原子層エッチングプロセス</li> <li>プラズマ照射した窒化膜表面の分析</li> <li>SiNおよびTiNの原子層エッチング</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol> <h4>第3部 ガスクラスターイオンビームによる原子層エッチングとその加工特性</h4> <p>(2018年3月26日 15:00〜16:30)</p> <p> 近年、デバイスの微細化に伴い、原子層エッチングが再び注目されている。超低エネルギーかつ高密度のエネルギーを表面に付与するガスクラスターイオンビーム (<span class="caps">GCIB</span>) は、単原子・分子では実現できない特有の照射効果を示すが、この特有の照射効果を、表面に吸着した分子との反応促進や脱離効果に用いることにより、低温かつ低損傷での原子層エッチングが可能となる。<br />  本講座では、GCIBを利用した難加工材料の原子層エッチングやその原理・応用について紹介する。</p> <ol> <li>技術的背景</li> <li>イオンと固体との相互作用 <ol> <li>イオンの固体中での振る舞い</li> <li>イオン衝突の計算機シミュレーション</li> <li>分子イオン衝突による非線形照射効果</li> </ol></li> <li>ガスクラスターイオンビームの特徴と応用 <ol> <li>中性クラスタービームの発生</li> <li>ガスクラスターイオンビーム装置</li> <li>ガスクラスターイオン特有の照射効果 <ul> <li>高密度エネルギー付与</li> <li>低損傷表面加工</li> <li>表面平坦化</li> <li>表面反応促進効果</li> <li>高効率スパッタ効果</li> </ul></li> <li>表面ナノ加工への応用例</li> </ol></li> <li>ガスクラスターイオンビームによる原子層エッチング <ol> <li>雰囲気ガス中GCIB照射による反応性エッチング</li> <li>ガスクラスターイオンビームによる原子層エッチング</li> <li>表面反応機構と応用例</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/12385"><span itemprop="name">霜垣 幸浩</span></a> 氏 <div>東京大学 大学院 工学系研究科 マテリアル工学専攻</div> <div>教授</div> </div> </li> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/23411"><span itemprop="name">篠田 和典</span></a> 氏 <div>株式会社 日立製作所 研究開発グループ エレクトロニクスイノベーションセンタ ナノプロセス研究部</div> <div>主任研究員</div> </div> </li> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/26838"><span itemprop="name">豊田 紀章</span></a> 氏 <div>兵庫県立大学 大学院 工学研究科 電子情報工学専攻 </div> <div>准教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%A0%AA%E5%BC%8F%E4%BC%9A%E7%A4%BE-%E6%8A%80%E8%A1%93%E6%83%85%E5%A0%B1%E5%8D%94%E4%BC%9A">株式会社 技術情報協会</a> <meta itemprop="name" content="株式会社 技術情報協会" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5436-7744" /> <meta itemprop="url" content="http://www.gijutu.co.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="141-0031" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">西五反田2-29-5</span> 日幸五反田ビル8F </div> <a href="/node/15011"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区西五反田2-29-5&amp;markers=東京都品川区西五反田2-29-5&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="株式会社 技術情報協会の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/gijutu.co.jp">株式会社 技術情報協会</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=26839&date=2018-03-26&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E6%9C%80%E9%81%A9%E5%8C%96%E3%81%A8%E5%BE%AE%E7%B4%B0%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="55000">55000円</span> (税別) / 59,400円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=26839&date=2018-03-26&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E6%9C%80%E9%81%A9%E5%8C%96%E3%81%A8%E5%BE%AE%E7%B4%B0%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-01-31T15:35:51+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 54,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=26839&date=2018-03-26&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E6%9C%80%E9%81%A9%E5%8C%96%E3%81%A8%E5%BE%AE%E7%B4%B0%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-01-31T15:35:51+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="50000円" /> <meta itemprop="highPrice" content="55000円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=26839&date=2018-03-26&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E6%9C%80%E9%81%A9%E5%8C%96%E3%81%A8%E5%BE%AE%E7%B4%B0%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2018-01-31T15:35:51+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講割引について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 50,000円(税別) / 54,000円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 55,000円(税別) / 59,400円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 108,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 162,000円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=26839&date=2018-03-26&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E6%9C%80%E9%81%A9%E5%8C%96%E3%81%A8%E5%BE%AE%E7%B4%B0%E5%8A%A0%E5%B7%A5%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Wed, 31 Jan 2018 06:35:13 +0000 admin 26839 at https://tech-seminar.jp:443 ミストCVD技術の開発と今後の可能性 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2017-12-12-%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ミストCVD技術の開発と今後の可能性</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~注目の薄膜形成技術ミストCVDの実力に迫る~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/25929/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=25929&date=2017-12-12&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/25929/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、様々な薄膜の作製を可能にするミストCVD法の基礎知識と今後の展望を解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2017-12-12T12:30:00+09:00">2017年12月12日(火) 12時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2017-12-12T12:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2017-12-12T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2017-12-12T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>機能膜作製プロセス</li> <li>大気圧・非真空プロセス</li> <li>溶液プロセス</li> <li>ミストCVD</li> <li>電子デバイス (ディスプレイ・センサー・スイッチング素子・発光素子・量子素子)</li> <li>コーティング (不動態膜・透明導電膜)</li> <li>組成制御</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 大気圧下で大面積にわたり高品質な機能膜を形成するための技術として開発してきたミストCVDに関して、経緯、歴史、作製膜の特性、デバイス、ミストCVDに関する物理、次世代へ向けた開発の方向性等、詳しく説明します。</p> <ol> <li>第1部 ミストCVD技術の開発初期 <ol> <li>緒言 <ol> <li>自己紹介</li> <li>高知工科大学について</li> <li>総合研究所について</li> </ol></li> <li>機能膜作製技術の現状とこれからの開発ポイント <ol> <li>どういった物に利用されているのか</li> <li>それらを作製するシステムの大きさやコストについて</li> <li>省エネプロセスの必要性とそれが達成されない理由</li> <li>大気圧下で対象とする機能膜を形成する為のポイント</li> </ol></li> <li>ミストを利用した機能膜形成技術「ミストCVD」の特徴 <ol> <li>ミスト法とは</li> <li>一般の成膜法とミストCVD法の立場</li> <li>超音波噴霧を利用した機能膜形成技術の歴史</li> </ol></li> <li>原料供給手段に超音波噴霧を利用する利点 <ol> <li>各種液滴の発生法</li> <li>一般環境下で薄膜を形成するために適した液滴発生法とは</li> </ol></li> <li>ミスト流を用いた機能膜作製システムの装置群 <ol> <li>ミスト流を用いた機能膜作製システム群</li> <li>原料供給器</li> <li>成膜反応装置周囲の基本システム</li> </ol></li> <li>ミストCVDの物理1 <ol> <li>均質膜を作製する為の3つの手段</li> <li>液滴のライデンフロスト状態</li> </ol></li> </ol></li> <li>第2部 ミストCVD技術の応用と発展 <ol> <li>ファインチャネル (FC) システムvsホットウォール (HW) システム <ol> <li>解析構造・条件</li> <li>結果</li> </ol></li> <li>ミストCVDで作製出来る機能膜 <ol> <li>これまでに形成できた薄膜種</li> <li>酸化亜鉛系 (ZnO)</li> <li>酸化ガリウム系 (Ga2O3)</li> <li>酸化アルミニウム (AlOx)</li> <li>酸化インジウムガリウム亜鉛 (<span class="caps">IGZO</span>)</li> <li>有機膜</li> <li>層状硫化モリブデン (MoS2)</li> <li>その他</li> </ol></li> <li>ミストCVDで作製したデバイス <ol> <li>大気圧手法により作製された酸化物TFTの現状</li> <li>ミストCVDによるIGZO TFTの作製</li> <li>特性および最適化</li> <li>組成比による特性の差</li> </ol></li> <li>ミストCVDによる量子素子の作製とその特徴 <ol> <li>大気圧下で量子井戸が形成できる理由</li> <li>作製した量子井戸の特徴</li> </ol></li> <li>ミストCVDの物理2 <ol> <li>ミスト同士は衝突しない</li> <li>複合反応の抑制</li> <li>組成制御技術</li> </ol></li> <li>まとめ <ol> <li>まとめ</li> <li>ミストCVDの可能性</li> </ol></li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/24988"><span itemprop="name">川原村 敏幸</span></a> 氏 <div>高知工科大学 システム工学群 </div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%93%81%E5%B7%9D%E5%8C%BA%E7%AB%8B%E7%B7%8F%E5%90%88%E5%8C%BA%E6%B0%91%E4%BC%9A%E9%A4%A8-%E3%81%8D%E3%82%85%E3%82%8A%E3%81%82%E3%82%93">品川区立総合区民会館 きゅりあん</a> <p>5階 第1講習室</p> <meta itemprop="name" content="品川区立総合区民会館 きゅりあん" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5479-4100" /> <meta itemprop="url" content="http://www.shinagawa-culture.or.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="140-0011" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">東大井5丁目18-1</span> </div> <a href="/node/1729"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;markers=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス&amp;テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=25929&date=2017-12-12&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="38000">38000円</span> (税別) / 41,040円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=25929&date=2017-12-12&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-10-16T15:11:01+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="20000">20000円</span> (税別) / 21,600円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=25929&date=2017-12-12&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-10-16T15:11:01+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="20000円" /> <meta itemprop="highPrice" content="38000円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=25929&date=2017-12-12&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-10-16T15:11:01+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講の割引特典について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 20,000円(税別) / 21,600円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,000円(税別) / 41,040円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 43,200円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 64,800円(税込)</li> </ul></li> <li>受講者全員が会員登録をしていただいた場合に限ります。</li> <li>同一法人内(グループ会社でも可)による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=25929&date=2017-12-12&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> <div class="field"> 講演順序・プログラムは変更となる場合がございます。予めご了承ください。</div> </div> CVD 薄膜 Mon, 16 Oct 2017 06:10:36 +0000 admin 25929 at https://tech-seminar.jp:443 ミストCVD技術の開発と今後の可能性 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2017-09-26-%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ミストCVD技術の開発と今後の可能性</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~大気圧下における高品質機能膜形成のために~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/24989/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=24989&date=2017-09-26&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/24989/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、様々な薄膜の作製を可能にするミストCVD法の基礎知識と今後の展望を解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2017-09-26T12:30:00+09:00">2017年9月26日(火) 12時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2017-09-26T12:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2017-09-26T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2017-09-26T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 大気圧下で大面積に亘り高品質な機能膜を形成するための技術として開発してきたミストCVDに関して、経緯、歴史、作製膜の特性、デバイス、ミストCVDに関する物理、次世代へ向けた開発の方向性等、詳しく説明します。</p> <ol> <li>機能膜作製技術について</li> <li>大気圧下で機能膜を形成する為のポイント</li> <li>液滴を発生させる方法</li> <li>超音波噴霧を利用した機能膜形成技術の歴史</li> <li>ミストを利用した機能膜形成技術「ミストCVD」の特徴</li> <li>ミストCVDの種類</li> <li>ミストCVDで作製出来る機能膜</li> <li>ミストCVDで作製したデバイス</li> <li>ミストCVDの物理</li> <li>ミストCVDの可能性</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%B1%9F%E6%9D%B1%E5%8C%BA%E6%96%87%E5%8C%96%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC">江東区文化センター</a> <p>3F 第1研修室</p> <meta itemprop="name" content="江東区文化センター" /> <meta itemprop="telephone" content="03-3644-8111" /> <meta itemprop="url" content="" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="135-0016" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">江東区</span> <span itemprop="streetAddress">東陽四丁目11-3</span> </div> <a href="/node/19435"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都江東区東陽四丁目11-3&amp;markers=東京都江東区東陽四丁目11-3&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="江東区文化センターの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=24989&date=2017-09-26&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=24989&date=2017-09-26&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-07-25T13:26:08+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>割引特典について</h3> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。 <ul> <li>1名でお申込みいただいた場合、1名につき 43,750円 (税別) / 47,250円 (税込)</li> <li>複数名で同時にお申し込みいただいた場合、1名につき 23,139円 (税別) / 24,990円 (税込)</li> <li>案内登録をされない方は、1名につき 46,278円 (税別) / 49,980円 (税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=24989&date=2017-09-26&title=%E3%83%9F%E3%82%B9%E3%83%88CVD%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E9%96%8B%E7%99%BA%E3%81%A8%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%8F%AF%E8%83%BD%E6%80%A7">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> CVD 薄膜 Tue, 25 Jul 2017 04:26:08 +0000 admin 24989 at https://tech-seminar.jp:443 原子層堆積法 (ALD) の原理、反応機構と成膜技術 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2017-09-25-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95-ALD-%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%81%A8%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 原子層堆積法 (ALD) の原理、反応機構と成膜技術</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/25044/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=25044&date=2017-09-25&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95+%28ALD%29+%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%81%A8%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/25044/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーは、 <acronym title="Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法"><span class="caps">ALD</span></acronym> , <acronym title="Chemical Vapor Deposition / 気相薄膜形成法"><span class="caps">CVD</span></acronym> の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2017-09-25T10:00:00+09:00">2017年9月25日(月) 10時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2017-09-25T10:00:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2017-09-25T17:00:00+09:00">17時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2017-09-25T17:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDに関連する技術者 <ul> <li>高誘電膜</li> <li>機能性膜</li> <li>電極</li> <li>バリアメタル</li> <li>絶縁膜</li> <li>化合物半導体</li> <li>リチウム電池 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD法の基礎</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの開発</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの解析能力</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <h4>第1部 ALDプロセスの反応機構とプロセス最適化の基礎</h4> <p>(2017年9月25日 10:00〜12:30)</p> <p> Atomic Layer Deposition (<span class="caps">ALD</span>,原子層堆積法) は,ULSI &#8211; MOSトランジスタのゲート絶縁膜,DRAMのメモリキャパシタなどの作製に実用化され,ガスバリヤコーティングや表面処理などへの応用もなされている。本講演では,ALDプロセスの歴史的展開からその原理,反応機構,プロセス最適化の指針などについて基礎的な事項を中心に取り扱う。また,近年注目を集めているALEt (Atomic Layer Etching) についても最近の技術動向を紹介する。</p> <ol> <li>ALDプロセス概論 <ol> <li>ALDプロセスの原理と歴史的展開</li> <li>ALDプロセスの特徴と応用,発展</li> <li>ALEtプロセスの原理と特徴</li> </ol></li> <li>CVDプロセスの反応機構と速度論 <ol> <li>CVDプロセスの素課程</li> <li>CVDプロセスの速度論</li> <li>CVDプロセスの均一性</li> </ol></li> <li>ALDプロセスの反応機構とプロセス最適化の基礎 <ol> <li>ALDプロセスの基本原理と製膜特性</li> <li>ALDプロセスの理想と現実</li> <li>ALDプロセス最適化への指針</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol> <h4>第2部 室温原子層堆積法の基礎と応用</h4> <p>(2017年9月25日 13:15〜15:00)</p> <ol> <li>技術背景 <ol> <li>原子層堆積法のニーズ</li> <li>熱原子層堆積の原理と事例紹介</li> <li>成膜温度の低温化の問題</li> </ol></li> <li>室温原子層堆積法 <ol> <li>プロセス開発 SiO2 TiO2 Al2O3 ZrO2</li> <li>室温原子層堆積の応用事例</li> <li>ガスバリアフィルムへの展開</li> <li>微粒子被覆への展開</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol> <h4>第3部 全ALDプロセスによる水蒸気ハイバリア膜の作製と評価</h4> <p>(2017年9月25日 15:15〜17:00)</p> <p> ALD応用の有望な技術分野の1つとして、ガスバリア膜が挙げられる。特に、水蒸気による材料劣化を避ける必要のある有機デバイス等のために、水蒸気の透過を極限まで減少させる薄膜技術の開発が進められている。ここでは、ALDの複雑な構造への完全被覆性を活かす、全てALDで構成した水蒸気バリア膜について、そのプロセス技術、評価技術、さらに量産実現のための装置技術までを含めた内容を紹介する。</p> <ol> <li>水蒸気バリア膜について</li> <li>水蒸気バリア性能の評価方法</li> <li>原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) Al2O3膜の水蒸気バリア性能</li> <li>ALD積層膜による水蒸気ハイバリア膜の実現</li> <li>量産向け装置技術開発</li> <li>周辺プロセス技術開発</li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/12385"><span itemprop="name">霜垣 幸浩</span></a> 氏 <div>東京大学 大学院 工学系研究科 マテリアル工学専攻</div> <div>教授</div> </div> </li> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/11164"><span itemprop="name">廣瀬 文彦</span></a> 氏 <div>山形大学 大学院 理工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/25043"><span itemprop="name">座間 秀昭</span></a> 氏 <div>株式会社 アルバック 超材料研究所 </div> <div>副参事</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%A0%AA%E5%BC%8F%E4%BC%9A%E7%A4%BE-%E6%8A%80%E8%A1%93%E6%83%85%E5%A0%B1%E5%8D%94%E4%BC%9A">株式会社 技術情報協会</a> <meta itemprop="name" content="株式会社 技術情報協会" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5436-7744" /> <meta itemprop="url" content="http://www.gijutu.co.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="141-0031" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">西五反田2-29-5</span> 日幸五反田ビル8F </div> <a href="/node/15011"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区西五反田2-29-5&amp;markers=東京都品川区西五反田2-29-5&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="株式会社 技術情報協会の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/gijutu.co.jp">株式会社 技術情報協会</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=25044&date=2017-09-25&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95+%28ALD%29+%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%81%A8%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="60000">60000円</span> (税別) / 64,800円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=25044&date=2017-09-25&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95+%28ALD%29+%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%81%A8%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-07-31T13:09:49+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="55000">55000円</span> (税別) / 59,400円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=25044&date=2017-09-25&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95+%28ALD%29+%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%81%A8%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-07-31T13:09:49+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="55000円" /> <meta itemprop="highPrice" content="60000円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=25044&date=2017-09-25&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95+%28ALD%29+%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%81%A8%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-07-31T13:09:49+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講割引について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 55,000円(税別) / 59,400円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 60,000円(税別) / 64,800円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 110,000円(税別) / 118,800円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 165,000円(税別) / 178,200円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=25044&date=2017-09-25&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95+%28ALD%29+%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E6%A9%9F%E6%A7%8B%E3%81%A8%E6%88%90%E8%86%9C%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Mon, 31 Jul 2017 04:09:23 +0000 admin 25044 at https://tech-seminar.jp:443 バリアフィルム技術の総合知識 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2017-08-22-%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> バリアフィルム技術の総合知識</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~透過のメカニズム、バリア性の付与技術、評価、マーケット情報、ハイバリア技術~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/670" rel="tag" title="コーティング">コーティング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/387" rel="tag" title="スパッタリング">スパッタリング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1039" rel="tag" title="フィルム">フィルム</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/152" rel="tag" title="成膜">成膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/24705/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=24705&date=2017-08-22&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/24705/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ハイバリア包装材料の基礎から解説し、包装用途からエレクトロニクス用途までを網羅的に詳解いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2017-08-22T10:30:00+09:00">2017年8月22日(火) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2017-08-22T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2017-08-22T16:00:00+09:00">16時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2017-08-22T16:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>バリアフィルム技術の基礎</li> <li>要求特性、ドライ&amp;ウェットコート、成膜技術、ハイバリア</li> <li>透過のメカニズム</li> <li>バリア性の付与技術</li> <li>バリア性の評価</li> <li>バリアフィルムのマーケット情報</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> アルミ蒸着フィルムは、アルミ箔代替として優れたガスバリア性、耐ピンホール性、光線遮断性、装飾性が注目され、一方透明蒸着フィルムは、塩化ビニリデンフィルム代替として優れたガスバリア性、透明性、レトルト耐性、非金属性、環境対応性などが注目され現在大きな市場を形成しております。最近は透明蒸着フィルムを利用した、太陽電池や量子ドットフィルム、有機EL分野におけるハイバリアフィルムの適用拡大が期待されていますが、この分野では食品分野とは桁違いの厳しいバリア性が要求され、このため有機・無機膜からなるハイブリッドコーティング技術が開発されてきております。<br />  これらの技術内容や市場について、本講座にて分かりやすく、かつ詳細に解説します。関連技術者にとって、貴重、かつ不可欠な情報が網羅されていますので、是非ご聴講ください。</p> <ol> <li>プラスチックフィルムの謎に迫る <ol> <li>ガス透過のメカニズム <ul> <li>ガス透過モデル</li> <li>定常状態でのガス拡散状態</li> </ul></li> <li>ガス透過理論 <ul> <li>透過ガス量の式</li> <li>ガス透過係数</li> <li>積層系のガス透過係数</li> </ul></li> <li>高分子構造とガスバリア性 <ul> <li>高分子の構造とガスバリア性</li> <li>結晶化度とガス透過度</li> <li>配向度とガス透過度</li> <li>ガラス転移点とガス透過度</li> <li>フリーボリュームとガス透過度</li> <li>凝集エネルギーとガス透過度</li> <li>PEの熱振動による開閉孔</li> <li>PANニトリル基による極性相互作用</li> <li>PVA水酸基による水素結合</li> <li>水蒸気敏感度とガス透過度</li> <li>ラミネート構成による透湿度の変化</li> </ul></li> <li>各種フィルムのガス、水蒸気バリア性 <ul> <li>パーマコール</li> <li>各種フィルムの酸素vs水蒸気透過度</li> </ul></li> </ol></li> <li>バリア性を付与するドライコート薄膜作製手法 <ol> <li>ドライコーティング法の分類</li> <li>薄膜の形成 <ul> <li>薄膜成長の3様式</li> <li>基板面上の核形成と核成長</li> <li>蒸着膜構造の圧力・温度依存性</li> <li>アルミ蒸着膜の表面・断面写真 (<span class="caps">TEM</span>)</li> <li>アルミ蒸着膜のピンホール部写真</li> <li>無機膜の欠陥とガス分子の透過経路</li> <li>ピンホール数と酸素透過度の関係</li> </ul></li> <li>アルミ蒸着膜 <ul> <li>アルミ蒸着フィルムのラミネート効果</li> <li>ハイバリア アルミ蒸着フィルム</li> <li>ハイバリア・アルミ蒸着フィルムの構造</li> </ul></li> <li>透明蒸着膜 <ul> <li>透明蒸着フィルムの構成と性能</li> <li>PVD透明蒸着プロセス</li> <li>CVD透明蒸着プロセス</li> <li>SiOx膜の酸素透過度とX値の関係</li> <li>SiO2膜の成膜方法と特性</li> <li>二元蒸着の概念とその蒸着膜の構造</li> <li>アルミナ添加量と密度・バリア性の関係</li> <li>蒸着フィルムの特性 (延展性、印加圧)</li> </ul></li> </ol></li> <li>バリア性を付与するコータ設備 <ol> <li>ウエットコーティング <ul> <li>バリア性付与コーティング技術の分類</li> <li>ウェットコーティング法によるバリアフィルム</li> <li>湿式成膜ガスバリア膜</li> <li>モンモリロナイト</li> <li>ナノシートによる積層構造</li> <li>コーターヘッドの構造</li> <li>塗工方式と適応粘度、塗布厚み</li> </ul></li> <li>ドライコーティング <ul> <li>巻取式真空蒸着機の構造</li> <li>電子ビームを使用した真空蒸着機</li> <li>巻取式スパッタリング装置の配置例</li> <li>アルミナ蒸着機 (<span class="caps">BOBST</span>) と蒸発源</li> <li>マイクロ波プラズマCVD蒸着機</li> </ul></li> <li>ハイブリッドコーティング <ul> <li>PE &#8211; CVD装置 (神鋼) とプラズマ発光</li> <li>PML用ロール・ツー・ロール蒸着機</li> <li>ロール・ツー・ロールCVD装置</li> <li>エアー・ツー・エアーアルミ連続蒸着機</li> <li>エアー・ツー・エアー全体レイアウト</li> </ul></li> </ol></li> <li>バリア性をどう評価するか <ol> <li>プラスチックの主な規格・試験法 <ul> <li>ガス透過量測定規格の一覧</li> <li>ガス透過度測定方法の分類</li> <li>各種用途に求められるバリア性</li> <li>酸素・水蒸気透過度の測定感度</li> </ul></li> <li>ガス透過度測定 <ul> <li>等圧法のガス透過度測定原理</li> <li>等圧法モコン水蒸気透過度測定法</li> <li>等圧法モコン酸素ガス透過度測定法</li> <li>ボトルの酸素透過度試験装置</li> <li>カップ法透湿度試験方法</li> <li>差圧法高感度水蒸気透過度試験 (オメガトランス法)</li> <li>デルタバーム法</li> <li>Ca法高感度水蒸気透過度試験</li> </ul></li> <li>その他測定 <ul> <li>ゲルボフレックス試験機</li> <li>保香性試験法</li> </ul></li> </ol></li> <li>アルミ蒸着、透明蒸着フィルムのマーケット情報 <ol> <li>包装用バリアフィルムの市場 <ul> <li>包装用バリアフィルムの生産量推移</li> <li>包装用途のバリフィルムの採用動向</li> <li>基材別生産量と製品名</li> </ul></li> <li>アルミ蒸着フィルムの物性と製品例 <ul> <li>アルミ蒸着フィルムの基材別生産量と製品名</li> <li>市販アルミ蒸着フィルムの物性表</li> <li>アルミ蒸着フィルムを使用した包材製品例</li> </ul></li> <li>透明蒸着フィルムの物性と製品例 <ul> <li>透明蒸着フィルムの一覧</li> <li>透明蒸着フィルムの汎用用途</li> <li>透明蒸着フィルムを使用した包材構成</li> <li>包材製品例</li> </ul></li> </ol></li> <li>アクティブパッケージ <ol> <li>酸素吸収フィルム <ul> <li>アクティブパッケージについて</li> <li>脱酸素剤と利用形態</li> <li>酸素吸収フィルムの構成・吸収剤</li> <li>鉄系酸素吸収フィルム</li> <li>有機系酸素吸収フィルム</li> <li>東洋製缶オキシブロックのバリア性能</li> <li>酸素吸収性ペットボトルの構成</li> <li>乾燥剤の種類と特徴</li> <li>吸湿フィルムの用途</li> <li>吸湿フィルム (丸東産業)</li> <li>アムコ社 (米) デジフレックス性能-1,性能-2,</li> <li>CSP社アクティブフィルム</li> <li>CSP社使用方法</li> </ul></li> </ol></li> <li>ハイバリアへの展開 &#8211; 太陽電池、量子ドット、有機EL <ol> <li>ハイバリアフィルムの市場 <ul> <li>市場規模予測</li> </ul></li> <li>太陽電池の種類と構造とバックシート <ul> <li>主な太陽電池の分類と要求バリア</li> <li>各種太陽電池の基本構成</li> <li>結晶シリコン系太陽電池パネルの構造とバックシートの構成</li> <li>各社バックシートの銘柄</li> </ul></li> <li>量子ドットフィルム <ul> <li>量子ドットの働きと波長変換の仕組み</li> <li>量子ドット組込みバックライトの実装方式</li> <li>タブレット端末向け表面実装方式 (3M社)</li> <li>ハイバリアフィルム技術の現状</li> </ul></li> <li>有機ELの構造と用途超ハイバリア技術 <ul> <li>有機ELを用いた製品</li> <li>有機ELの発光メカニズムとデバイスの進化</li> <li>有機・無機ハイブリッドバリア膜の比較</li> </ul></li> <li>有機ELディスプレイ用封止膜 <ul> <li>Barix技術の概要図</li> <li>Barixのハイブリッド積層膜写真</li> <li>SAVIC社 (元GE社) UHBのハイブリッド積層膜写真</li> <li>有機・無機プラズマCVDプロセス条件と物性</li> <li>フレキシブル有機ELパネルの構造 (LG社)</li> <li>SAMSUNGとLGディスプレーの構造</li> <li>コニカミノルタの超ハイバリアフィルム</li> <li>テラバリアフィルムの構造</li> <li>超ハイバリアフィルムの技術の現状</li> </ul></li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/11953"><span itemprop="name">伊藤 義文</span></a> 氏 <div>久留米工業高等専門学校</div> <div>研究アドバイザー</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%93%81%E5%B7%9D%E5%8C%BA%E7%AB%8B%E7%B7%8F%E5%90%88%E5%8C%BA%E6%B0%91%E4%BC%9A%E9%A4%A8-%E3%81%8D%E3%82%85%E3%82%8A%E3%81%82%E3%82%93">品川区立総合区民会館 きゅりあん</a> <p>5F 第2講習室</p> <meta itemprop="name" content="品川区立総合区民会館 きゅりあん" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5479-4100" /> <meta itemprop="url" content="http://www.shinagawa-culture.or.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="140-0011" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">東大井5丁目18-1</span> </div> <a href="/node/1729"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;markers=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス&amp;テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=24705&date=2017-08-22&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="42750">42750円</span> (税別) / 46,170円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=24705&date=2017-08-22&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-08-03T15:00:32+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,300円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=24705&date=2017-08-22&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-08-03T15:00:32+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="22500円" /> <meta itemprop="highPrice" content="42750円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=24705&date=2017-08-22&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-08-03T15:00:32+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講の割引特典について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 22,500円(税別) / 24,300円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,750円(税別) / 46,170円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 48,600円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 72,900円(税込)</li> </ul></li> <li>受講者全員が会員登録をしていただいた場合に限ります。</li> <li>同一法人内(グループ会社でも可)による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=24705&date=2017-08-22&title=%E3%83%90%E3%83%AA%E3%82%A2%E3%83%95%E3%82%A3%E3%83%AB%E3%83%A0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E7%B7%8F%E5%90%88%E7%9F%A5%E8%AD%98">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> <div class="field"> 講演順序・プログラムは変更となる場合がございます。予めご了承ください。</div> </div> 表面処理 CVD PVD コーティング スパッタリング フィルム プラズマCVD 成膜 Mon, 19 Jun 2017 05:47:02 +0000 admin 24705 at https://tech-seminar.jp:443 プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ https://tech-seminar.jp:443/seminar/2017-07-31-%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD-%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D-%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> プラズマ生成の基礎とプラズマCVD (化学気相堆積) による高品質成膜プロセスのノウハウ</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/588" rel="tag" title="プラズマ表面処理">プラズマ表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/24343/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=24343&date=2017-07-31&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/24343/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2017-07-31T10:30:00+09:00">2017年7月31日(月) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2017-07-31T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2017-07-31T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2017-07-31T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマCVDの応用分野の技術者、研究者 <ul> <li>太陽光発電</li> <li>ハイバリア成膜</li> <li>親水・撥水</li> <li>ディスプレイ</li> <li>集積回路</li> <li>ミニマルファブなど</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>目的に応じたプラズマ源の選定指針</li> <li>ガス流量、圧力、投入電力、基板温度などの操作パラメータと、成膜プロセスとの対応</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 産業界で高品質なプラズマCVD膜の得るための仕事に従事する方々は、プラズマ源の選定から装置パラメータの設定に至る意思決定をする立場にあると思います。この意思決定を適切に行うためには、各種のプラズマ源の特徴を把握しておく必要があります。<br />  また、そのプラズマ源を用いたリアクター内で起こる物理・化学的現象が、各種パラメータを変えるとどうなるのか、更にそれが膜質にどのように反映されるのかを把握しておく必要があります。<br />  本講座では、プラズマCVDによって高品質膜を得ようとした際の意思決定に関わる物理的・化学的なメカニズムを理解して頂くことを趣旨としました。</p> <ol> <li>プラズマと気体放電の基礎 <ol> <li>プラズマの温度 <ul> <li>低温大気圧プラズマはどうしてできるのか?</li> </ul></li> <li>壁との境界「シース」 <ul> <li>プロセスでは表面近傍の理解が大切!</li> </ul></li> <li>Townsendの放電理論とPaschenの法則 <ul> <li>そもそも放電しないと話にならない!</li> </ul></li> </ol></li> <li>プラズマ源 <ol> <li>DC放電プラズマとシース <ul> <li>プラズマ中の電位構造の理解がイオン衝撃の理解に繋がる!</li> </ul></li> <li>RF放電プラズマの基礎と装置構造 <ul> <li>電極非対象とコンデンサの効能</li> </ul></li> <li>高密度プラズマ源は何故高密度か? <ul> <li>電子の直進か回転かが密度の決め手!</li> </ul></li> </ol></li> <li>プラズマ化学工学 <ol> <li>制御パラメータと内部パラメータ <ul> <li>操作できるのは何か、実際には何が変わるのか?</li> </ul></li> <li>電子の分布関数 <ul> <li>電子のエネルギーは数十eVまで拡がる!</li> </ul></li> <li>一次反応 <ul> <li>電子衝突解離で何ができるのか? それは制御可能なのか?</li> </ul></li> <li>二次反応 <ul> <li>電子衝突解離で何が生成されるかが関係無い、ということもある!</li> </ul></li> <li>輸送過程 <ul> <li>通常は拡散だが、イオンのドリフトを使うとイオン衝撃効果援用</li> </ul></li> <li>表面反応過程 <ul> <li>表面で動くことの重要性。それを制御するパラメータは?</li> </ul></li> </ol></li> <li>薄膜堆積プロセス <ol> <li>膜構造形成過程の基本的描像 <ul> <li>この描像をまずもつべし!</li> </ul></li> <li>電子材料としての膜構造 <ul> <li>欠陥とは何か? 何故形成されるのか?</li> </ul></li> <li>スパッタ成膜とその特徴 <ul> <li>スパッタで出来ないことやるのがCVD</li> </ul></li> <li>プラズマCVDとその特徴 <ul> <li>では、CVDでは何ができるのか?</li> </ul></li> <li>a &#8211; Si:H成膜過程と物性 <ul> <li>最も良く理解されている描像</li> </ul></li> <li>イオン衝撃の効能 <ul> <li>制御によって毒にも薬にもなる</li> </ul></li> <li>機能基の含有 <ul> <li>電子エネルギー分布の制御と二次反応の賜物</li> </ul></li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/9969"><span itemprop="name">白藤 立</span></a> 氏 <div>大阪市立大学 大学院工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%93%81%E5%B7%9D%E5%8C%BA%E7%AB%8B%E7%B7%8F%E5%90%88%E5%8C%BA%E6%B0%91%E4%BC%9A%E9%A4%A8-%E3%81%8D%E3%82%85%E3%82%8A%E3%81%82%E3%82%93">品川区立総合区民会館 きゅりあん</a> <p>5F 第4講習室</p> <meta itemprop="name" content="品川区立総合区民会館 きゅりあん" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5479-4100" /> <meta itemprop="url" content="http://www.shinagawa-culture.or.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="140-0011" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">東大井5丁目18-1</span> </div> <a href="/node/1729"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;markers=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス&amp;テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=24343&date=2017-07-31&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="42750">42750円</span> (税別) / 46,170円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=24343&date=2017-07-31&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-05-16T10:11:49+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,300円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=24343&date=2017-07-31&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-05-16T10:11:49+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="lowPrice" content="22500円" /> <meta itemprop="highPrice" content="42750円" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=24343&date=2017-07-31&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-05-16T10:11:49+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講の割引特典について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 22,500円(税別) / 24,300円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,750円(税別) / 46,170円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 48,600円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 72,900円(税込)</li> </ul></li> <li>受講者全員が会員登録をしていただいた場合に限ります。</li> <li>同一法人内(グループ会社でも可)による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=24343&date=2017-07-31&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E7%94%9F%E6%88%90%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9ECVD+%28%E5%8C%96%E5%AD%A6%E6%B0%97%E7%9B%B8%E5%A0%86%E7%A9%8D%29+%E3%81%AB%E3%82%88%E3%82%8B%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E6%88%90%E8%86%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%83%8E%E3%82%A6%E3%83%8F%E3%82%A6">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> <div class="field"> 講演順序・プログラムは変更となる場合がございます。予めご了承ください。</div> </div> 表面処理 プラズマ プラズマCVD プラズマ表面処理 薄膜 Tue, 16 May 2017 01:11:49 +0000 admin 24343 at https://tech-seminar.jp:443 薄膜作製の基礎とトラブル対策 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2017-07-21-%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 薄膜作製の基礎とトラブル対策</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/387" rel="tag" title="スパッタリング">スパッタリング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/24120/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=24120&date=2017-07-21&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/24120/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、真空蒸着、スパッタ、CVDなどの成膜技術について基礎から解説し、実務での活用についてわかりやすく詳解いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2017-07-21T10:30:00+09:00">2017年7月21日(金) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2017-07-21T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2017-07-21T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2017-07-21T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>薄膜作製に関連する研究・開発・製造業務にたずさわって2~3年の若手技術者や新人の方</li> <li>薄膜作製に関してある程度の経験はあるが、自分の知識を系統的に整理したい方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>成膜プロセス設計に必要な基礎知識</li> <li>成膜プロセスで発生したトラブル対応に必要な基礎知識</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> スパッタ法や真空蒸着法、化学気相成長 (<span class="caps">CVD</span>) 法は、先端材料研究をはじめ、電子デバイス,太陽電池,建材、さらには食品産業まで、さまざまな分野で使用されており、今や我々の生活と切っても切り離せない技術になっています。エレクトロニクスや真空技術の進歩により、現在では高性能な成膜装置が市販されていますが、これらを使いこなすには適切な知識が必要です。たとえば、新たな条件で成膜を行おうとすると、所望の薄膜を得るために条件出しを行わなければなりません。また、成膜プロセスでトラブルが発生すると、その対処に頭を悩ませることになります。そのようなときに必要になるのが、成膜技術に関する基本的かつ系統的な知識です。<br />  本講座では、真空蒸着法やスパッタ法、CVD法などを用いた成膜技術に携わる方々を対象に、これらの技術に関する基礎的かつ系統的な知識を習得し、実際の業務に生かして頂くことを目標とします。</p> <ol> <li>成膜技術に必要な真空・表面物性工学 <ol> <li>気体分子運動論の基礎</li> <li>真空工学の基礎</li> <li>表面物性工学の基礎</li> </ol></li> <li>真空蒸着法 <ol> <li>真空蒸着法の原理</li> <li>真空蒸着法の種類と装置例</li> <li>真空蒸着法で作製される薄膜の例</li> <li>真空蒸着法を適用する際の留意事項</li> </ol></li> <li>スパッタ法 <ol> <li>スパッタ法の原理</li> <li>スパッタ法の種類と装置例</li> <li>スパッタ法で作製される薄膜の例</li> <li>スパッタ法を適用する際の留意事項</li> </ol></li> <li>化学気相成長 (<span class="caps">CVD</span>) 法 <ol> <li>CVD法の原理</li> <li>CVD法の種類と装置例</li> <li>CVD法で作製されるさまざまな薄膜の例</li> <li>CVD法を適用する際の留意事項</li> </ol></li> <li>薄膜評価法 <ol> <li>表面モルフォロジ、ステップカバレッジ</li> <li>膜組成、膜構造</li> <li>付着力、膜応力</li> <li>電気的特性、光学的特性</li> </ol></li> <li>成膜プロセスで遭遇するトラブル例と対処法 <ol> <li>膜質に関するトラブル</li> <li>装置に関するトラブル</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%B1%9F%E6%9D%B1%E5%8C%BA%E6%96%87%E5%8C%96%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC">江東区文化センター</a> <p>3F 第1研修室</p> <meta itemprop="name" content="江東区文化センター" /> <meta itemprop="telephone" content="03-3644-8111" /> <meta itemprop="url" content="" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="135-0016" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">江東区</span> <span itemprop="streetAddress">東陽四丁目11-3</span> </div> <a href="/node/19435"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都江東区東陽四丁目11-3&amp;markers=東京都江東区東陽四丁目11-3&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="江東区文化センターの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=24120&date=2017-07-21&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=24120&date=2017-07-21&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-04-26T14:54:40+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>割引特典について</h3> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。 <ul> <li>1名でお申込みいただいた場合、1名につき 43,750円 (税別) / 47,250円 (税込)</li> <li>複数名で同時にお申し込みいただいた場合、1名につき 23,139円 (税別) / 24,990円 (税込)</li> <li>案内登録をされない方は、1名につき 46,278円 (税別) / 49,980円 (税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=24120&date=2017-07-21&title=%E8%96%84%E8%86%9C%E4%BD%9C%E8%A3%BD%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%88%E3%83%A9%E3%83%96%E3%83%AB%E5%AF%BE%E7%AD%96">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> CVD スパッタリング 真空蒸着 薄膜 Wed, 26 Apr 2017 05:54:40 +0000 admin 24120 at https://tech-seminar.jp:443 ALD (原子層堆積法) 、ALEt (原子層エッチング) の基礎・応用・最新動向 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2017-06-26-ALD-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95-%E3%80%81ALEt-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0-%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ALD (原子層堆積法) 、ALEt (原子層エッチング) の基礎・応用・最新動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~ALD/ALEtの原理、理想特性と現実とのギャップ、高品質化・最適化のコツを学ぶ~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/24276/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=24276&date=2017-06-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/24276/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーは、 <acronym title="Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法"><span class="caps">ALD</span></acronym> , <acronym title="Chemical Vapor Deposition / 気相薄膜形成法"><span class="caps">CVD</span></acronym> の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2017-06-26T10:30:00+09:00">2017年6月26日(月) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2017-06-26T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2017-06-26T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2017-06-26T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDに関連する技術者 <ul> <li>高誘電膜</li> <li>機能性膜</li> <li>電極</li> <li>バリアメタル</li> <li>絶縁膜</li> <li>化合物半導体</li> <li>リチウム電池 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD法の基礎</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの開発</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの解析能力</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などからULSI MOSトランジスタ用高誘電率ゲート酸化膜、および、メモリキャパシタ用高誘電率絶縁膜形成などに応用展開されているほか、近年では有機ELなどのガスバリヤコーティング、繊維表面への撥水加工など、幅広い応用展開の見込める技術です。また、ALDと同じようにガスを交互供給することによりエッチングを行うALEt (Atomic Layer Etching) は、原子レベルでの平滑なエッチングが可能で、高い選択性も有することから、次世代デバイス作製に必須の技術と目されています。しかし、そのプロセスは原料供給、パージ、反応性ガス供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較してかなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。<br />  このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と現実について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALD/ALEtプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。</p> <ol> <li>第1部 薄膜作製の基礎 <ol> <li>薄膜作製プロセス概論 <ol> <li>薄膜の種類と用途</li> <li>代表的な半導体デバイスにおける薄膜の用途と作製方法</li> <li>ウェットプロセスとドライプロセス</li> <li>PVDとCVDの比較、長所と短所</li> </ol></li> <li>真空の基礎知識と薄膜形成の基礎 <ol> <li>真空度とは</li> <li>平均自由行程とクヌッセン数</li> <li>真空の質と真空ポンプ</li> <li>真空蒸着の基礎</li> <li>スパッタリング</li> </ol></li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDプロセス概論 <ol> <li>CVDプロセスの原理と特徴</li> <li>CVDの応用例</li> <li>ALDプロセスの原理と歴史的展開</li> <li>ALDプロセスの特徴と応用、発展</li> <li>ALEtプロセスの原理と特徴</li> </ol></li> </ol></li> <li>第2部 <span class="caps">ALD</span>/CVDプロセスの反応機構と速度論 <ol> <li>ALDの基礎としてのCVDプロセス入門 <ol> <li>CVDプロセスの素過程</li> <li>CVDプロセスの速度論 <ol> <li>製膜速度の温度依存性 &#8211; 表面反応律速と拡散律速</li> <li>製膜速度の濃度依存性 &#8211; 1次反応とラングミュア・ヒンシェルウッド型反応</li> </ol></li> <li>CVDプロセスの均一性と量産性</li> </ol></li> <li>表面・気相の反応機構解析入門 <ol> <li>素反応機構と総括反応機構</li> <li>気相反応の第一原理計算と精度</li> <li>表面反応機構の量子化学的検討と実験的解析</li> <li>CVDプロセスの反応メカニズム解析とプロセスシミュレーション</li> </ol></li> </ol></li> <li>第3部 ALDプロセスの基礎と展開 <ol> <li>ALDプロセスの基礎 <ol> <li>ALDプロセスの基礎理論と製膜特性</li> <li>ALDプロセスの理想と現実 <ol> <li><span class="caps">ALD</span> &#8211; Window (ALD1サイクルの製膜長温度依存性)</li> <li>ALDプロセスの均一性と量産性</li> </ol></li> </ol></li> <li>ALDプロセスの応用と展開 <ol> <li>ALDプロセスの応用用途</li> <li>ALDプロセスの解析手法と最適化</li> <li>新しいALD技術 <ol> <li>プラズマALD、ALEt、ホットワイヤーALD</li> <li>Spatial <span class="caps">ALD</span></li> <li>ALD原料ガス開発</li> </ol></li> <li>ALDの国際会議、情報入手先</li> </ol></li> </ol></li> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%96%B0%E5%AE%BF%E5%8C%BA%E7%AB%8B-%E6%96%B0%E5%AE%BF%E6%96%87%E5%8C%96%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC">新宿区立 新宿文化センター</a> <p>4F 第1会議室</p> <meta itemprop="name" content="新宿区立 新宿文化センター" /> <meta itemprop="telephone" content="03-3350-1141" /> <meta itemprop="url" content="http://www.regasu-shinjuku.or.jp/bunka-center/" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="160-0022" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">新宿区新宿</span> <span itemprop="streetAddress">6-14-1</span> </div> <a href="/node/20647"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都新宿区新宿6-14-1&amp;markers=東京都新宿区新宿6-14-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="新宿区立 新宿文化センターの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=24276&date=2017-06-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=24276&date=2017-06-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-06-14T14:28:49+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>割引特典について</h3> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。 <ul> <li>1名でお申込みいただいた場合、1名につき 43,750円 (税別) / 47,250円 (税込)</li> <li>複数名で同時にお申し込みいただいた場合、1名につき 23,139円 (税別) / 24,990円 (税込)</li> <li>案内登録をされない方は、1名につき 46,278円 (税別) / 49,980円 (税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=24276&date=2017-06-26&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%80%81ALEt+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E5%BF%9C%E7%94%A8%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Mon, 15 May 2017 04:38:48 +0000 admin 24276 at https://tech-seminar.jp:443 大気圧プラズマの基礎と応用展開 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2017-04-26-%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E5%B1%95%E9%96%8B <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 大気圧プラズマの基礎と応用展開</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~ダメージフリー・マルチガス・高速処理への挑戦~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/588" rel="tag" title="プラズマ表面処理">プラズマ表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/430" rel="tag" title="大気圧プラズマ">大気圧プラズマ</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/23374/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=23374&date=2017-04-26&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E5%B1%95%E9%96%8B">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/23374/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、親水化処理、接着性向上、クリーニング等の分野で応用が広がる大気圧プラズマについて、基礎から分かりやすく解説いたします。<br /> また、最新の大気圧プラズマ生成法と表面処理、殺菌、環境浄化等への最先端の応用例を解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2017-04-26T10:30:00+09:00">2017年4月26日(水) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2017-04-26T10:30:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2017-04-26T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2017-04-26T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマに関連する技術者</li> <li>プラズマの応用に関連する技術者 <ul> <li>プラズマ表面処理</li> <li>プロセシング・新材料創成</li> <li>医療・バイオ分野</li> <li>殺菌・滅菌処理</li> <li>環境浄化</li> <li>微量元素分析 など</li> </ul></li> <li>プラズマで課題を抱えている方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>大気圧プラズマの基礎</li> <li>新しい大気圧プラズマ源</li> <li>大気圧プラズマの応用例</li> <li>大気圧プラズマの今後の展望</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> 大気圧プラズマは真空容器や排気設備を必要とせず、また高密度な活性種を生成できるため、産業応用には大変多くのメリットがあります。このため、ここ数年、材料表面の親水化処理、接着性の向上、クリーニング等の分野で急速に利用され始めています。学術的にも、IEEEの国際会議では2005年には1%以下だった大気圧プラズマの発表件数が、近年では25%を越すまでに激増しています。しかし、大気圧プラズマの発生や利用法についてはブラックボックスな部分が多いため、産業応用へのしきいが高いのも事実です。<br />  そこで本講演では、前半で大気圧プラズマの物理や基本的な装置構成をわかりやすく解説し、後半で講師の最新の研究テーマである、ダメージフリープラズマ、マルチガスプラズマ、温度制御プラズマなどの開発およびこれらを用いた、高速表面クリーニング、接着性改善、酸化膜還元、殺菌処理、皮膚付着物分析、医療・農業・美容応用などにスポットをあてて研究成果をご紹介します。</p> <ol> <li>大気圧プラズマの基礎 <ol> <li>なぜ大気圧プラズマ?</li> <li>プラズマとは</li> <li>プラズマの特長</li> <li>大気圧プラズマの生成法</li> <li>プラズマ中の原子・分子過程</li> <li>プラズマの物理</li> <li>大気圧プラズマの計測法</li> </ol></li> <li>大気圧高温プラズマと応用 <ol> <li>大気圧高温プラズマ</li> <li>ガス分解処理</li> <li>半導体表面処理</li> </ol></li> <li>大気圧低温プラズマ <ol> <li>さわれるプラズマとは</li> <li>リモートプラズマ</li> <li>ダメージフリープラズマ</li> <li>プラズマガス種と生成される活性種</li> <li>温度制御プラズマ</li> </ol></li> <li>大気圧プラズマの応用例 <ol> <li>表面処理への応用 <ul> <li>接着前処理</li> <li>酸化膜還元</li> <li>コーティング 等</li> </ul></li> <li>殺菌・医療・農業分野への応用</li> <li>環境浄化・分析への応用</li> </ol></li> <li>大気圧プラズマの有効な利用法と近未来展望</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%B1%9F%E6%9D%B1%E5%8C%BA%E6%96%87%E5%8C%96%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC">江東区文化センター</a> <p>3F 第1研修室</p> <meta itemprop="name" content="江東区文化センター" /> <meta itemprop="telephone" content="03-3644-8111" /> <meta itemprop="url" content="" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="135-0016" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">江東区</span> <span itemprop="streetAddress">東陽四丁目11-3</span> </div> <a href="/node/19435"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都江東区東陽四丁目11-3&amp;markers=東京都江東区東陽四丁目11-3&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="江東区文化センターの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=23374&date=2017-04-26&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E5%B1%95%E9%96%8B">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="46278">46278円</span> (税別) / 49,980円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="http://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=23374&date=2017-04-26&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E5%B1%95%E9%96%8B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2017-02-23T23:15:25+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>割引特典について</h3> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。 <ul> <li>1名でお申込みいただいた場合、1名につき 43,750円 (税別) / 47,250円 (税込)</li> <li>複数名で同時にお申し込みいただいた場合、1名につき 23,139円 (税別) / 24,990円 (税込)</li> <li>案内登録をされない方は、1名につき 46,278円 (税別) / 49,980円 (税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=23374&date=2017-04-26&title=%E5%A4%A7%E6%B0%97%E5%9C%A7%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%BF%9C%E7%94%A8%E5%B1%95%E9%96%8B">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> 表面処理 プラズマ プラズマCVD プラズマ表面処理 大気圧プラズマ Thu, 23 Feb 2017 14:15:25 +0000 admin 23374 at https://tech-seminar.jp:443 ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向 https://tech-seminar.jp:443/seminar/2017-03-30-ALD-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95-%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91 <div itemscope itemtype="http://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">~注目のALDを基礎から学ぶ~</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/718" rel="tag" title="PVD">PVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/386" rel="tag" title="真空蒸着">真空蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/338" rel="tag" title="蒸着">蒸着</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/388" rel="tag" title="薄膜">薄膜</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/23306/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=23306&date=2017-03-30&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> <div class="contact"><a href="/node/23306/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーは、 <acronym title="Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法"><span class="caps">ALD</span></acronym> , <acronym title="Chemical Vapor Deposition / 気相薄膜形成法"><span class="caps">CVD</span></acronym> の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2017-03-30T10:00:00+09:00">2017年3月30日(木) 10時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2017-03-30T10:00:00+09:00" /> ~ <abbr class="dtend" title="2017-03-30T16:00:00+09:00">16時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2017-03-30T16:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALDに関連する技術者 <ul> <li>高誘電膜</li> <li>機能性膜</li> <li>電極</li> <li>バリアメタル</li> <li>絶縁膜</li> <li>化合物半導体</li> <li>リチウム電池 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD法の基礎</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの開発</li> <li><span class="caps">CVD</span>/ALD薄膜形成プロセスの解析能力</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p> Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などから、ULSIゲート酸化膜形成、メモリキャパシタ形成などに応用展開されている技術です。しかし、そのプロセスは、原料の供給、パージ、反応性ガスの供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較して、かなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。<br />  このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と実際について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALDプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。</p> <ol> <li>第1部 薄膜作製の基礎 <ol> <li>薄膜作製入門 <ol> <li>薄膜の種類と用途</li> <li>代表的な半導体デバイスにおける薄膜の用途と作製方法</li> <li>ウェットプロセスとドライプロセス</li> <li>PVDとCVD、ALD</li> </ol></li> <li>真空の基礎知識 <ol> <li>真空度とは</li> <li>平均自由行程とクヌッセン数</li> <li>真空の質と真空ポンプ、真空計</li> </ol></li> <li>PVDプロセス <ol> <li>真空蒸着の基礎</li> <li>スパッタリング</li> </ol></li> </ol></li> <li>第2部 <span class="caps">ALD</span>/CVDプロセスの反応機構と速度論 <ol> <li>ALDの基礎としてのCVDプロセス入門 <ol> <li>CVDプロセスの素過程</li> <li>CVDプロセスの速度論 <ol> <li>製膜速度の温度依存性 &#8211; 表面反応律速と拡散律速</li> <li>製膜速度の濃度依存性 &#8211; 1次反応とラングミュア・ヒンシェルウッド型反応</li> </ol></li> <li>CVDプロセスの均一性</li> </ol></li> <li>表面・気相の反応機構解析入門 <ol> <li>素反応機構と総括反応機構</li> <li>気相反応の第一原理計算と精度</li> <li>表面反応機構の量子化学的検討と実験的解析</li> </ol></li> </ol></li> <li>第3部 ALDプロセスの基礎と展開 <ol> <li>ALDプロセスの基礎 <ol> <li>ALDプロセスの基礎理論と製膜特性</li> <li>ALDプロセスの理想と現実 <ol> <li>ALDプロセスの温度依存性</li> <li>ALDプロセスの均一性</li> <li>ALDプロセスの量産性</li> </ol></li> </ol></li> <li>ALDプロセスの応用と展開 <ol> <li>ALDプロセスの応用用途</li> <li>ALDプロセスの解析手法と最適化 <ol> <li>Quartz Crystal Microbalance (<span class="caps">QCM</span>) によるその場観察と最適化</li> <li>製膜遅れ時間 (Incubation Time) の観測と最適化</li> </ol></li> <li>新しいALD技術 <ol> <li>プラズマALD、プラズマALE、ホットワイヤーALD</li> <li>Spatial <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALD国際会議について</li> </ol></li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="http://schema.org/Person"> <a href="/node/12385"><span itemprop="name">霜垣 幸浩</span></a> 氏 <div>東京大学 大学院 工学系研究科 マテリアル工学専攻</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="http://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%93%81%E5%B7%9D%E5%8C%BA%E7%AB%8B%E7%B7%8F%E5%90%88%E5%8C%BA%E6%B0%91%E4%BC%9A%E9%A4%A8-%E3%81%8D%E3%82%85%E3%82%8A%E3%81%82%E3%82%93">品川区立総合区民会館 きゅりあん</a> <p>5F 第2講習室</p> <meta itemprop="name" content="品川区立総合区民会館 きゅりあん" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5479-4100" /> <meta itemprop="url" content="http://www.shinagawa-culture.or.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="http://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="140-0011" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">東大井5丁目18-1</span> </div> <a href="/node/1729"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;markers=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス&amp;テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=23306&date=2017-03-30&title=ALD+%28%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E5%A0%86%E7%A9%8D%E6%B3%95%29+%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E9%AB%98%E5%93%81%E8%B3%AA%E8%86%9C%E5%8C%96%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="http://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="42750">42750円</span> (税別) / 46,170円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" 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講演順序・プログラムは変更となる場合がございます。予めご了承ください。</div> </div> 表面処理 ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD PVD プラズマCVD 真空蒸着 蒸着 薄膜 Mon, 13 Feb 2017 05:53:52 +0000 admin 23306 at https://tech-seminar.jp:443