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真空蒸着のセミナー・研修・出版物

ALD (原子層堆積法) の基礎と応用 (1日コース)

2020年1月21日(火) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

原子層制御プロセスの原理・最適設計および最新動向

2019年12月20日(金) 10時00分17時00分
東京都 開催

本セミナーでは、原子層制御プロセスの基礎から解説し、原料供給・パージ・反応性ガス供給など多くの制御パラメータの最適化や、ALDプロセスを活用した最新の応用事例を詳解いたします。

ALD (原子層堆積法) ALEt (原子層エッチング) の基礎・応用・最新動向

2019年11月26日(火) 10時00分16時30分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

プラズマエッチングのプロセス制御とプラズマダメージの発生機構、抑制

2019年9月10日(火) 10時00分17時00分
東京都 開催

本セミナーでは、エッチングの原理、装置、メカニズム、トラブル対策まで、経験豊富な講師が解説いたします。

薄膜作製の基礎とトラブル対策

2019年8月21日(水) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、真空蒸着、スパッタ、CVDなどの成膜技術について基礎から解説し、実務での活用についてわかりやすく詳解いたします。

スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説

2019年7月26日(金) 10時00分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に取り上げ、応力制御や密着性改善のために必要な基本知識から、具体的な測定法や剥離トラブルの対処法について解説いたします。

ALD (原子層堆積法) の基礎と応用 (1日コース)

2019年7月11日(木) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

スパッタリング薄膜における応力発生メカニズムと付着力の評価

2019年4月23日(火) 10時00分17時00分
東京都 開催

本セミナーは、スパッタリングプロセスの基礎から解説し、現場において遭遇する様々なトラブルに対応する力を身に付けることを目標としております。

ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向

2019年3月29日(金) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

スパッタリング薄膜における応力発生と付着力 (2日間)

2018年12月19日(水) 12時30分10時00分
2018年12月20日(木) 10時00分16時00分
東京都 開催

本セミナーは、スパッタリングプロセスの基礎から解説し、現場において遭遇する様々なトラブルに対応する力を身に付けることを目標としております。

ALD (原子層堆積法) 、ALEt (原子層エッチング) の基礎・応用・最新動向

2018年11月26日(月) 10時00分16時30分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

薄膜の低温成膜技術とそのプロセス、膜質の制御

2018年9月28日(金) 10時00分17時00分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

ALD (原子層堆積法) 、ALEt (原子層エッチング) の基礎・応用・最新動向

2018年7月26日(木) 10時00分17時00分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

ALD (原子層堆積法) の基礎と応用 (1日コース)

2018年7月12日(木) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

薄膜作製の基礎とトラブル対策

2018年7月3日(火) 10時30分16時30分
大阪府 開催

本セミナーでは、真空蒸着、スパッタ、CVDなどの成膜技術について基礎から解説し、実務での活用についてわかりやすく詳解いたします。

薄膜応力の発生メカニズムと密着性改善

2018年6月13日(水) 10時00分17時00分
東京都 開催

本セミナーでは、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に取り上げ、膜応力の発生メカニズムについて基材や膜構造、成膜条件の影響について詳解いたします。

薄膜電子デバイスの作製プロセス最適化と設備導入のポイント

2018年5月24日(木) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、各成膜方法から、パターニング手法、転写技術、洗浄乾燥、表面処理、クリーンルーム、安全への配慮まで、薄膜電子デバイスのプロセス構築・設備導入における実用ノウハウを解説いたします。

スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説

2018年4月23日(月) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に取り上げ、応力制御や密着性改善のために必要な基本知識から、具体的な測定法や剥離トラブルの対処法について解説いたします。

ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向

2018年3月30日(金) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

原子層エッチングの原理、プロセス最適化と微細加工技術

2018年3月26日(月) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、原子層エッチングのメカニズムから最先端の原子層エッチング開発事例まで、第一線の講師陣が解説いたします。

スパッタリング薄膜における応力発生と付着力 (2日間)

2017年12月19日(火) 12時30分16時30分
2017年12月20日(水) 10時00分16時00分
東京都 開催

本セミナーは、スパッタリングプロセスの基礎から解説し、現場において遭遇する様々なトラブルに対応する力を身に付けることを目標としております。

原子層堆積法 (ALD) の原理、反応機構と成膜技術

2017年9月25日(月) 10時00分17時00分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

薄膜作製の基礎とトラブル対策

2017年7月21日(金) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、真空蒸着、スパッタ、CVDなどの成膜技術について基礎から解説し、実務での活用についてわかりやすく詳解いたします。

ALD (原子層堆積法) 、ALEt (原子層エッチング) の基礎・応用・最新動向

2017年6月26日(月) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

ALD (原子層堆積法) の基礎と高品質膜化および最新動向

2017年3月30日(木) 10時00分16時00分
東京都 開催

本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。

スパッタ・真空蒸着と膜質改善技術の徹底解説

2017年3月28日(火) 10時30分16時30分
東京都 開催

本セミナーでは、スパッタや真空蒸着法で形成された金属・無機薄膜を中心に取り上げ、応力制御や密着性改善のために必要な基本知識から、具体的な測定法や剥離トラブルの対処法について解説いたします。

薄膜の応力発生メカニズムと密着性改善

2017年2月8日(水) 10時00分17時00分
東京都 開催

本セミナーでは、界面や表面、膜応力や剥離・破壊の基礎から解説し、密着性改善の考え方、密着力の評価方法について詳解いたします。

スパッタリング薄膜における応力発生と付着力

2016年11月15日(火) 10時00分16時30分
東京都 開催

本セミナーは、スパッタリングプロセスの基礎から解説し、現場において遭遇する様々なトラブルに対応する力を身に付けることを目標としております。

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