技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
このセミナーは過去に開催したセミナーのオンラインセミナー:オンデマンド配信です。
視聴方法のご案内メールの到着日より1ヶ月間、動画をご視聴いただけます。
お申込は、2025年8月28日まで受け付けいたします。
本セミナーでは、EUVリソグラフィについて取り上げ、EUVリソグラフィーの基礎からEUVフォトプロセスの最適化と評価、最新のメタルレジストについて解説いたします。
(収録日:2025年4月17日 ※映像時間:約2時間9分)
近年2nmスケールの半導体が非常に注目を集めている。その中の核技術の1つとしてレジストがあげられる。本講演では1) メタルレジストがなぜ重要か、2) 各社が開発したメタルレジスト、3) EUV光利用におけるメタルレジストの必要性、4) メタルレジストのEUV露光による反応機構を中心に講演を行っていく。必要に応じて、2nmスケール半導体作製における核技術、世界動向についても講演を行う。
(収録日:2025年2月20日 ※映像時間:約4時間20分)
半導体用レジスト技術の基礎から解説し、特にレジスト材料 (感光性樹脂) ・プロセス、ノボラック系ポジ型レジスト、及び化学増幅系3成分 (ベース樹脂、溶解抑制剤、酸発生剤) ポジ型レジストのそれぞれの化学成分とレジスト特性との関係について解説します。
半導体、LCD等の電子デバイス製造では、成膜、パターン作製 (レジスト塗布、露光、現像) 、エッチング、レジスト剥離、洗浄等のプロセスを複数回繰り返すことにより、基板上に微細素子がパターンニングされたトランジスタが形成される。これらの工程はリソグラフィー工程と呼ばれ、おおよそ20回から30回繰り返されることになる。
本講演では、特にレジスト材料 (感光性樹脂) ・プロセスについて解説するとともに、ノボラック系ポジ型レジスト、及び化学増幅系3成分 (ベース樹脂、溶解抑制剤、酸発生剤) ポジ型レジストのそれぞれの化学成分とレジスト特性との関係について解説する。レジスト剥離 (除去) 技術 については、環境に優しい新規な技術として、活性種として水素ラジカル、湿潤オゾン、マイクロバブル水を用いた技術について解説する。
また、元デバイスメーカーにいた者の視線で、レジストメーカーに原料を提供する素材メーカーにおけるレジスト評価法の具体的な手法について丁寧に解説したい。
(収録日:2025年4月22日 ※映像時間:約4時間45分)
今日の情報化社会は、マイクロエレクトロニクス (ME) の発展に支えられている。その先端技術ともいえる人工知能 (AI) は医療分野、自動運転技術への展開から社会への浸透をはじめており、人間に代わるから超えるところまで議論されている。
MEは、1950年代に集積回路 (IC) が開発されて以来、大規模集積回路 (LSI) のパターンの微細化、高集積化、すなわちメモリー大容量化、システムLSIの高性能化の方向で、一貫して発展してきている。あわせて情報処理の高速化、低価格化も実現してきた。今後もメモリーの大容量化およびシステムLSIの高性能化の流れは止まりそうにないと予測されている。このような流れの中で、フォトリソグラフィの進歩はフォトレジストなどの材料開発が中心軸となってMEの発展に寄与してきたが、これらの材料をうまく使いこなす露光装置を中心としたハードウェア、プロセス技術の進歩も著しいものがある。
レジスト材料の開発はパターンの微細化、高解像度化が中心で、これは主として露光に用いる光の波長を短くすることで実現されてきた。ここまではさまざまな選択肢、さまざまな試行など、紆余曲折はあったものの、結果として振り返ってみれば、それまでの技術の延長線上で進んできている。1970年代から40年余りの短い時間に次のような大きな技術変革を経験している。
それぞれのステップで多くのイノベーションが実現され課題を克服してきたわけである。ここでは、これまでの技術・材料開発の事例をまとめ、今後の効率的な技術開発・不良防止・トラブル対策への応用への指針とする。あわせて、日本の今後の半導体関連産業の在り方についても考察する。
(収録日:2025年1月31日 ※映像時間:約2時間59分)
フォトリソグラフィ技術の進化は、半導体集積回路の集積度向上を支えてきました。最先端の極端紫外線 (EUV) リソグラフィによって20 nm以下の線幅まで解像可能となり、微細化による半導体製品の高性能化のトレンドは継続するとみられます。しかし、EUVリソグラフィには特有の課題があり、レジスト材料等の最適化が進められています。
本講演では、微細加工技術の基礎から始まり、フォトリソグラフィ技術の原理や特長、さらに最新のEUVリソグラフィ技術について、光と物質の相互作用に基づいて詳しく解説します。
EUVリソグラフィの装置やレジスト、フォトマスクなどの要素技術から応用事例までを網羅し、最後にフォトリソグラフィ技術の課題と今後の展望について紹介します。これにより、微細加工分野における最先端技術の理解を深めていただくことを目的としています。
教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。
| 開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
|---|---|---|---|
| 2026/1/15 | エポキシ樹脂 2日間総合セミナー | オンライン | |
| 2026/1/15 | 炭素繊維強化プラスチック (CFRP) を基礎から徹底解説 | 東京都 | オンライン |
| 2026/1/15 | 分子シミュレーションによる高分子材料の内部構造と変形・破壊の解析 | オンライン | |
| 2026/1/16 | 高分子・ポリマー材料の合成、重合反応の基礎、プロセスと工業化・実用化のための総合知識 | オンライン | |
| 2026/1/16 | 高分子微粒子の合成、粒径制御とその中空化 | オンライン | |
| 2026/1/16 | 分子シミュレーションによる高分子材料の内部構造と変形・破壊の解析 | オンライン | |
| 2026/1/19 | 化学反応型樹脂の接着強さと硬化率評価 | オンライン | |
| 2026/1/20 | UV硬化樹脂の材料設計と硬度・柔軟性の両立、低粘度化 | オンライン | |
| 2026/1/20 | 高分子延伸による配向・結晶化制御 | 東京都 | 会場 |
| 2026/1/21 | CO2を原料とした樹脂材料の研究開発動向と工業化の可能性 | オンライン | |
| 2026/1/23 | 自動車リサイクルの課題、展望と樹脂リサイクル技術の開発動向 | オンライン | |
| 2026/1/23 | 易解体性材料の基礎と最新トレンドおよび接着剤・粘着剤の開発事例とポイント | オンライン | |
| 2026/1/23 | ウレタン材料の基礎と組成・構造解析および難溶解材料の最適な分析手法 | オンライン | |
| 2026/1/26 | 溶解度パラメータ (SP値・HSP値) の基礎と活用法 | オンライン | |
| 2026/1/27 | 高分子微粒子の合成、粒径制御とその中空化 | オンライン | |
| 2026/1/27 | ビトリマー (結合交換性架橋樹脂) の基礎とイオン伝導性ビトリマーへの展開 | オンライン | |
| 2026/1/28 | ポリウレタンの材料設計と構造・物性の制御と劣化対策 | オンライン | |
| 2026/1/30 | 熱可塑性エラストマーの総合知識 | オンライン | |
| 2026/1/30 | 高屈折率ポリマーの分子設計、合成手法と屈折率の測定方法 | オンライン | |
| 2026/2/3 | 防振ゴムの劣化メカニズムと耐久性試験・寿命予測 | オンライン |
| 発行年月 | |
|---|---|
| 2024/7/31 | ポリウレタンの材料設計、環境負荷低減と応用事例 |
| 2024/7/29 | サステナブルなプラスチックの技術と展望 |
| 2024/7/22 | 世界のレトルトフィルム・レトルトパウチの実態と将来展望 2024-2026 (書籍版 + CD版) |
| 2024/7/22 | 世界のレトルトフィルム・レトルトパウチの実態と将来展望 2024-2026 |
| 2024/7/17 | 世界のリサイクルPET 最新業界レポート |
| 2024/6/28 | ハイドロゲルの特性と作製および医療材料への応用 |
| 2024/5/30 | PETボトルの最新リサイクル技術動向 |
| 2024/2/29 | プラスチックのリサイクルと再生材の改質技術 |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
| 2024/2/26 | EUV (極端紫外線) 露光装置 技術開発実態分析調査報告書 |
| 2023/10/31 | エポキシ樹脂の配合設計と高機能化 |
| 2023/9/29 | 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 |
| 2023/7/31 | 熱可塑性エラストマーの特性と選定技術 |
| 2023/7/14 | リサイクル材・バイオマス複合プラスチックの技術と仕組 |
| 2023/3/31 | バイオマス材料の開発と応用 |
| 2023/1/31 | 液晶ポリマー (LCP) の物性と成形技術および高性能化 |
| 2023/1/6 | バイオプラスチックの高機能化 |
| 2022/10/5 | 世界のプラスチックリサイクル 最新業界レポート |
| 2022/8/31 | ポリイミドの高機能設計と応用技術 |
| 2022/5/31 | 自動車マルチマテリアルに向けた樹脂複合材料の開発 |