技術セミナー・研修・出版・書籍・通信教育・eラーニング・講師派遣の テックセミナー ジェーピー
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本セミナーは、 ALD , CVD の基礎から解説し、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。
Atomic Layer Deposition (ALD、原子層堆積法) による薄膜合成は、ナノメートルレベルでの膜厚制御性、膜厚均一性などからULSI MOSトランジスタ用高誘電率ゲート酸化膜、および、メモリキャパシタ用高誘電率絶縁膜形成などに応用展開されているほか、近年では有機ELなどのガスバリヤコーティング、繊維表面への撥水加工など、幅広い応用展開の見込める技術です。また、ALDと同じようにガスを交互供給することによりエッチングを行うALEt (Atomic Layer Etching) は、原子レベルでの平滑なエッチングが可能で、高い選択性も有することから、次世代デバイス作製に必須の技術と目されています。しかし、そのプロセスは原料供給、パージ、反応性ガス供給、パージなどからなり、各段階での条件設定は、これまでの類似手法であるChemical Vapor Deposition (CVD、気相薄膜形成法) と比較してかなり複雑であり、速度論の基礎的知識なしには容易に最適化を達成できません。
このため、本講座では、まずALDの基礎知識として、CVDの速度論から説明を行い、CVD/ALDプロセスの開発・解析能力を養うことを目標とします。また、ALDプロセスの理想と現実について、原理およびメカニズムから詳しく解説を行い、新たにALD/ALEtプロセス開発・製品応用に関わる方の一助となるよう配慮した講義を行います。
開始日時 | 会場 | 開催方法 | |
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2024/4/23 | トライボロジー (摩擦、摩耗、潤滑) の基礎と耐摩耗対策、摩擦制御法 | オンライン | |
2024/4/23 | めっき膜の密着性評価と剥離対策 | オンライン | |
2024/4/24 | スパッタリング法による薄膜形成技術とトラブルシューティング | オンライン | |
2024/4/24 | 高分子材料の粘弾性の基礎と応力/ひずみの発生メカニズムとその制御・評価技術 | オンライン | |
2024/4/25 | 耐指紋・防汚性材料の設計、評価、応用、今後の展望 | オンライン |
発行年月 | |
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2023/8/31 | “ぬれ性“の制御と表面処理・改質技術 |
2023/5/31 | 塗布・乾燥のトラブル対策 |
2022/5/20 | コーティング技術の基礎と実践的トラブル対応 |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) |
2021/3/26 | 超撥水・超撥油・滑液性表面の技術 (第2巻) (製本版 + ebook版) |
2021/3/8 | プラズマ技術 |
2021/3/8 | プラズマ技術 (CD-ROM版) |
2019/12/20 | 高分子の表面処理・改質と接着性向上 |
2018/9/27 | プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例 |
2018/8/31 | 防汚・防水・防曇性向上のための材料とコーティング、評価・応用 |
2018/3/29 | 超親水・親油性表面の技術 |
2015/10/1 | すぐ分かるラミネート加工技術と実際およびトラブル・シューティング |
2015/9/1 | マンガと写真でわかる初歩のシート成形 |
2015/7/30 | ダイ塗布の流動理論と塗布欠陥メカニズムへの応用および対策 |
2014/8/25 | ぬれ性のメカニズムと測定・制御技術 |
2014/4/5 | 真空蒸着技術 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
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2012/9/20 | フッ素樹脂 技術開発実態分析調査報告書 (CD-ROM版) |
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2012/6/1 | 超撥水・超親水化のメカニズムとコントロール |