ナノ粒子やナノチューブの合成をはじめとして、プラズマを用いる材料プロセッシングの研究が産学ともに活発である。これらのプロセッシングに用いられるプラズマのうち、大気圧で発生する熱プラズマと非平衡プラズマに注目し、プラズマの発生方法や特徴を把握するための基礎知識に関する解説を行う。これらの知識は、各種のプロセスにおける要求内容に応じて、適切な種類のプラズマとそのプロセス条件を決定するために大切である。

1. プラズマを知るための基礎知識
   1. 身の回りのプラズマ
   2. プラズマの定義
   3. 大気圧プラズマの特徴
2. プラズマ工学の基礎
   1. 局所熱平衡プラズマと非平衡プラズマプラズマ
   2. デバイ遮蔽
   3. 単一荷電粒子の運動
   4. クーロン衝突
   5. 原子や分子の励起・解離・電離
3. プラズマの組成
   1. 局所熱平衡の定義
   2. サハの式によって組成を計算する方法
4. プラズマの物性
   1. 熱伝導率
   2. 粘性係数
   3. 電気伝導度
   4. 拡散係数
   5. 熱力学係数
5. 熱プラズマ発生方法とその特徴
   1. 直流放電アーク
   2. 誘導結合型プラズマ
   3. 多相交流放電アーク
   4. マイクロ波プラズマ
6. 大気圧非平衡プラズマ発生方法とその特徴
   1. ストリーマー放電
   2. グロー放電
   3. コロナ放電
7. プラズマの計測
   1. 分光計測で温度を測る
   2. 熱量的に温度を測る
   3. 電極の温度を測る
   4. プラズマ中の粒子の温度を測る
   5. 電極の温度を測る
8. ナノ粒子を合成するプロセス
   1. 金属ナノ粒子の合成
   2. セラミックスナノ粒子の合成
   3. 金属間化合物ナノ粒子の合成
   4. コアシェル型ナノ粒子の合成
   5. ナノ粒子の生成メカニズム (均一核生成,凝縮)
1. プラズマ溶射による厚膜合成
9. プラズマ利用の課題と対応
• 質疑応用・名刺交換