https://tech-seminar.jp/taxonomy/term/1631/all ja https://tech-seminar.jp/seminar/2024-07-31-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/59156"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング (PA-ALE) 、熱原子層エッチング (thermal ALE) など～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/59156/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div class="contact"> <li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59156&date=2024-07-31&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=archive">アーカイブ配信セミナーに申し込む</a></li> </div> </div> <div class="field"> <p>視聴期間は2024年7月26日〜8月2日を予定しております。<br /> お申し込みは2024年7月31日まで承ります。</p></div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2024-07-31T10:30:00+09:00">2024年7月31日(水) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2024-07-31T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2024-08-02T16:30:00+09:00">2024年8月2日(金) 16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2024-08-02T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>エッチング用プラズマ装置の基礎</li> <li>プラズマエッチングにおける物質表面化学反応の基礎</li> <li>反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング (PA-<span class="caps">ALE</span>) 、熱原子層エッチング (thermal <span class="caps">ALE</span>) の特徴と応用</li> </ul> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説する。具体的には、ドライエッチングに用いられるプラズマ装置、装置内のプラズマの構造やダイナミクス、気相反応、および、反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) から、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) にわたるドライエッチング技術に関して、プラズマ物質相互作用の物理機構から最新技術動向まで、詳しく紹介する。<br /> 　関連項目として、プラズマCVDと原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション (DX) の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。</p> <ol> <li>背景</li> <li>プラズマ科学の基礎</li> <li>代表的なプラズマプロセス装置 <ol> <li>容量結合型プラズマ (<span class="caps">CCP</span>) 装置</li> <li>誘導結合型プラズマ (<span class="caps">ICP</span>) 装置</li> </ol></li> <li>反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) の基礎 <ol> <li>プラズマ表面相互作用</li> <li>表面帯電効果</li> <li>シリコン系材料エッチング反応機構</li> <li>金属・金属酸化物材料エッチング反応機構</li> <li>高アスペクト比 (<span class="caps">HAR</span>) エッチング概要</li> </ol></li> <li>プラズマCVD概要:原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) の基礎として</li> <li>ALDプロセスの概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の逆過程として <ol> <li>熱ALD</li> <li>プラズマ支援 (PA-) <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALEプロセスの概要と最新技術動向 <ol> <li>PA-<span class="caps">ALE</span></li> <li>熱ALE:リガンド交換</li> <li>熱ALE:金属錯体形成</li> </ol></li> <li>半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション (DX)</li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/42294"><span itemprop="name">浜口 智志</span></a> 氏 <div>大阪大学 大学院 工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=59156&date=2024-07-31&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 55,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59156&date=2024-07-31&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-14T16:14:26+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="25000">25000円</span> (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59156&date=2024-07-31&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-14T16:14:26+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="50000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="25000" /> <meta itemprop="highPrice" content="50000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59156&date=2024-07-31&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-14T16:14:26+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。</p> <p>「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>アーカイブ配信セミナー</h3> <ul> <li>当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。</li> <li>配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。</li> <li>視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。</li> <li>視聴期間は2024年7月26日〜8月2日を予定しております。<br /> ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。</li> </ul></div> <div class="field"> <div class="contact"><li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59156&date=2024-07-31&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=archive">アーカイブ配信セミナーに申し込む</a></li></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59156&date=2024-07-31&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=archive">アーカイブ配信セミナーに申し込む</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=59156&date=2024-07-31&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/59156/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ 半導体 Thu, 14 Mar 2024 07:11:25 +0000 admin 59156 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2024-07-22-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/59155"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング (PA-ALE) 、熱原子層エッチング (thermal ALE) など～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/59155/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div class="contact"> <li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59155&date=2024-07-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=online">ライブ配信セミナーに申し込む</a></li><li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59155&date=2024-07-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=archive">アーカイブ配信セミナーに申し込む</a></li> </div> </div> <div class="field"> <p>アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2024年7月26日〜8月2日を予定しております。<br /> アーカイブ配信のお申し込みは2024年7月31日まで承ります。</p></div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2024-07-22T10:30:00+09:00">2024年7月22日(月) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2024-07-22T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2024-07-22T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2024-07-22T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>エッチング用プラズマ装置の基礎</li> <li>プラズマエッチングにおける物質表面化学反応の基礎</li> <li>反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング (PA-<span class="caps">ALE</span>) 、熱原子層エッチング (thermal <span class="caps">ALE</span>) の特徴と応用</li> </ul> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説する。具体的には、ドライエッチングに用いられるプラズマ装置、装置内のプラズマの構造やダイナミクス、気相反応、および、反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) から、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) にわたるドライエッチング技術に関して、プラズマ物質相互作用の物理機構から最新技術動向まで、詳しく紹介する。<br /> 　関連項目として、プラズマCVDと原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション (DX) の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。</p> <ol> <li>背景</li> <li>プラズマ科学の基礎</li> <li>代表的なプラズマプロセス装置 <ol> <li>容量結合型プラズマ (<span class="caps">CCP</span>) 装置</li> <li>誘導結合型プラズマ (<span class="caps">ICP</span>) 装置</li> </ol></li> <li>反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) の基礎 <ol> <li>プラズマ表面相互作用</li> <li>表面帯電効果</li> <li>シリコン系材料エッチング反応機構</li> <li>金属・金属酸化物材料エッチング反応機構</li> <li>高アスペクト比 (<span class="caps">HAR</span>) エッチング概要</li> </ol></li> <li>プラズマCVD概要:原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) の基礎として</li> <li>ALDプロセスの概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の逆過程として <ol> <li>熱ALD</li> <li>プラズマ支援 (PA-) <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALEプロセスの概要と最新技術動向 <ol> <li>PA-<span class="caps">ALE</span></li> <li>熱ALE:リガンド交換</li> <li>熱ALE:金属錯体形成</li> </ol></li> <li>半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション (DX)</li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/42294"><span itemprop="name">浜口 智志</span></a> 氏 <div>大阪大学 大学院 工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=59155&date=2024-07-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 55,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59155&date=2024-07-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-14T16:10:53+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="25000">25000円</span> (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59155&date=2024-07-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-14T16:10:53+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="50000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="25000" /> <meta itemprop="highPrice" content="50000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59155&date=2024-07-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-14T16:10:53+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。</p> <p>「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー</h3> <ul> <li>「Zoom」を使ったライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は、PDFファイルを配布予定です。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> </ul> <h4>ライブ配信セミナーをご希望の場合</h4> <ul> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul> <h4>アーカイブ配信セミナーをご希望の場合</h4> <ul> <li>当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。</li> <li>配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。</li> <li>視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。</li> <li>視聴期間は2024年7月26日〜8月2日を予定しております。<br /> ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。</li> </ul></div> <div class="field"> <div class="contact"><li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59155&date=2024-07-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=online">ライブ配信セミナーに申し込む</a></li><li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59155&date=2024-07-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=archive">アーカイブ配信セミナーに申し込む</a></li></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59155&date=2024-07-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=online">ライブ配信セミナーに申し込む</a></li><li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59155&date=2024-07-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=archive">アーカイブ配信セミナーに申し込む</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=59155&date=2024-07-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/59155/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ 半導体 Thu, 14 Mar 2024 07:10:53 +0000 admin 59155 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2024-05-29-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/59455"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ドライエッチングのメカニズムと最先端技術</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/59455/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div class="contact"> <li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59455&date=2024-05-29&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=online">ライブ配信セミナーに申し込む</a></li> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーではエッチング技術の基礎・メカニズムの説明からスタートし、現在IntelやTSMC, Samsung, SK Hynixなど最新半導体デバイスを製造しているメーカが使用している先端エッチング技術までを紹介いたします。<br /> また、エッチング技術にも多くの課題があり、そのブレークスルー技術についても解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2024-05-29T13:00:00+09:00">2024年5月29日(水) 13時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2024-05-29T13:00:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2024-05-29T16:00:00+09:00">16時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2024-05-29T16:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体デバイス開発、半導体製造装置開発に携わって5年以内程度の技術者</li> <li>半導体デバイス・半導体製造装置の営業職</li> <li>半導体製造装置の製造技術、量産技術の技術者</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>エッチングにおける課題、課題解決へのアプローチ</li> <li>最新デバイスにおけるエッチング技術</li> <li>半導体製造におけるプラズマエッチングの位置づけと原理</li> <li>異方性エッチングと等方性エッチングそれぞれの意義とメカニズム、装置構成</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　台湾TSMCの熊本工場、北海道のラピダスの設立など半導体製造メーカの日本進出が進んできていますが、2ナノメートルといった超微細な構造を加工するには、エッチング技術が欠かせません。刃物や研磨では得られない超微細加工を実現するためには原子・分子・イオンを活用したエッチング技術が必要であり、デバイス寸法の縮小に伴い、日進月歩の技術革新が行われています。<br /> 　本セミナーではエッチング技術の基礎・メカニズムの説明からスタートし、現在IntelやTSMC, Samsung, SK Hynixなど最新半導体デバイスを製造しているメーカが使用している先端エッチング技術までを紹介します。エッチング技術にも多くの課題があり、そのブレークスルー技術についてもご紹介いたします。</p> <ol> <li>エッチングの基礎 <ol> <li>微細加工</li> <li>プラズマの生成とエッチング</li> </ol></li> <li>異方性エッチング <ol> <li>異方性エッチングのメカニズム</li> <li>異方性エッチング向け製造装置</li> </ol></li> <li>等方性エッチング <ol> <li>等方性エッチングのニーズ</li> <li>等方性エッチングへのアプローチ</li> <li>等方性エッチングの例</li> </ol></li> <li>エッチングの高機能化 &#8211; パルスプラズマ <ol> <li>ソースパルス</li> <li>バイアスパルス</li> <li>シンクロナイズドパルス</li> </ol></li> <li>エッチングの課題 <ol> <li>形状異常</li> <li>プラズマ誘起ダメージ</li> <li>量産における課題</li> </ol></li> <li>最新エッチング技術 <ol> <li>ロジックデバイス向けエッチング技術</li> <li>メモリデバイス向けエッチング技術</li> </ol></li> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/59454"><span itemprop="name">大竹 浩人</span></a> 氏 <div>株式会社 日立ハイテク プロセス企画部 </div> <div>部長</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=59455&date=2024-05-29&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="45000">45000円</span> (税別) / 49,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59455&date=2024-05-29&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-30T19:07:51+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59455&date=2024-05-29&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-30T19:07:51+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="45000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="22500" /> <meta itemprop="highPrice" content="45000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/InStock" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59455&date=2024-05-29&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-30T19:07:51+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。</p> <p>「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 42,000円(税別) / 46,200円(税込) で受講いただけます。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div class="contact"><li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59455&date=2024-05-29&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=online">ライブ配信セミナーに申し込む</a></li></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/order/rdsc.co.jp/seminar?id=59455&date=2024-05-29&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E6%8A%80%E8%A1%93&mode=online">ライブ配信セミナーに申し込む</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=59455&date=2024-05-29&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/59455/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング 半導体 Sat, 30 Mar 2024 10:07:18 +0000 admin 59455 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2024-04-23-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/59050"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体ドライエッチングの基礎と原子層プロセスの最新動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～基礎となる物理化学原理から解説する～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/719" rel="tag" title="CVD">CVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/59050/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=59050&date=2024-04-23&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/59050/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2024-04-23T10:00:00+09:00">2024年4月23日(火) 10時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2024-04-23T10:00:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2024-04-23T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2024-04-23T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventPostponed" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマプロセスの基礎知識</li> <li>ドライエッチングの基礎知識</li> <li>原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の基礎知識と最新技術動向</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説する。<br /> 　具体的には、ドライエッチングに用いられるプラズマ装置、装置内のプラズマの構造やダイナミクス、気相反応、および、反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) から、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) にわたるドライエッチング技術に関して、プラズマ物質相互作用の物理機構から最新技術動向まで、詳しく紹介する。関連項目として、プラズマCVDと原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション (DX) の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。</p> <ol> <li>背景</li> <li>プラズマ科学の基礎</li> <li>代表的なプラズマプロセス装置 <ol> <li>容量結合型プラズマ (<span class="caps">CCP</span>) 装置</li> <li>誘導結合型プラズマ (<span class="caps">ICP</span>) 装置</li> </ol></li> <li>反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) の基礎 <ol> <li>プラズマ表面相互作用</li> <li>表面帯電効果</li> <li>シリコン系材料エッチング反応機構</li> <li>金属・金属酸化物材料エッチング反応機構</li> <li>高アスペクト比 (<span class="caps">HAR</span>) エッチング概要</li> </ol></li> <li>プラズマCVD概要:原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) の基礎として</li> <li>ALDプロセスの概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の逆過程として <ol> <li>熱ALD</li> <li>プラズマ支援 (PA-) <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALEプロセスの概要と最新技術動向 <ol> <li>PA &#8211; <span class="caps">ALE</span></li> <li>熱ALE:リガンド交換</li> <li>熱ALE:金属錯体形成</li> </ol></li> <li>半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション (DX)</li> <li>まとめ</li> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/42294"><span itemprop="name">浜口 智志</span></a> 氏 <div>大阪大学 大学院 工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/triceps.co.jp">株式会社 トリケップス</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=59050&date=2024-04-23&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="49000">49000円</span> (税別) / 53,900円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/triceps.co.jp/seminar?id=59050&date=2024-04-23&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-04-16T15:44:21+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1口</div> : <span itemprop="price" content="60000">60000円</span> (税別) / 66,000円 (税込) (3名まで受講可) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/triceps.co.jp/seminar?id=59050&date=2024-04-23&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-04-16T15:44:21+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="49000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="49000" /> <meta itemprop="highPrice" content="60000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/triceps.co.jp/seminar?id=59050&date=2024-04-23&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-04-16T15:44:21+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=59050&date=2024-04-23&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=59050&date=2024-04-23&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=59050&date=2024-04-23&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/59050/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) CVD エッチング ドライエッチング プラズマ プラズマCVD 半導体 Tue, 12 Mar 2024 06:22:42 +0000 admin 59050 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2024-03-08-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%AD%E3%82%B8%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/57695"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ドライエッチングのメカニズムと先端ロジックデバイスのエッチング技術</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～エッチング速度、形状のメカニズムとその制御手法 / FinFET, GAA, ポストスケーリング時代へ向けた最新エッチング技術～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/57695/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=57695&date=2024-03-08&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%AD%E3%82%B8%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/57695/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から解説し、エッチングにおける劣化トラブルと抑制技術、プロセス制御によるCD安定化について解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2024-03-08T13:00:00+09:00">2024年3月8日(金) 13時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2024-03-08T13:00:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2024-03-08T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2024-03-08T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>ドライエッチングに関連する技術者 <ul> <li>半導体のエッチング</li> <li>ボーイング制御</li> <li>マイクロローディング</li> <li>ゲートCDの安定化</li> <li>ゲートCDのプロセス制御 など</li> </ul></li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>エッチング速度のメカニズム</li> <li>エッチング形状のメカニズムとそのハード、プロセス制御応用</li> <li>先端ロジックデバイスにおけるエッチング技術</li> <li>横方向のドライエッチング技術</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　半導体デバイスは微細化により大幅に性能を向上することで、高度な情報通信技術などの革新に寄与してきた。ドライエッチング技術はその微細化の一翼を担ってきた技術である。<br /> 　本セミナーでは、ドライエッチング技術について、表面反応モデルをベースにした形状制御の考え方と装置への展開について解説する。さらに、FinFET、GAA (Gate all around) 世代およびポストスケーリング世代を見据えた半導体デバイスのエッチング加工についての取組みと横方向の加工技術について解説する。</p> <ol> <li>イントロダクション <ol> <li>半導体デバイスのトレンドとプロセス</li> </ol></li> <li>ドライエッチング装置 <ol> <li>プラズマ源とドライエッチング装置</li> </ol></li> <li>ドライエッチングのメカニズム <ol> <li>イオンアシスト反応 エッチング速度のモデル式</li> <li>エッチング選択比とガス</li> <li>CDシフト (寸法変動) のメカニズム</li> <li>均一性制御技術 <ul> <li>ウエハ温度</li> <li>ガス分布制御</li> </ul></li> <li>構造起因ゲート寸法ばらつきとAPC応用</li> </ol></li> <li>先端ロジックデバイスにおけるエッチング技術 <ol> <li>DTCO採用に伴うエッチングの課題</li> <li>Si/SiGe fin etching</li> <li>SAC対応エッチング技術</li> <li><span class="caps">WFM</span> patterning</li> </ol></li> <li><span class="caps">GAA</span>/CFET世代のエッチング技術 <ol> <li>GAAのエッチング課題とSiGeリセス加工</li> <li>CFETで求められるエッチング加工</li> </ol></li> <li>コンフォーマルドライエッチング技術 <ol> <li>等方性ドライエッチング技術の概要</li> <li>熱サイクルALE技術と装置</li> <li>プラズマを用いたコンフォーマルALE</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/17743"><span itemprop="name">伊澤 勝</span></a> 氏 <div>株式会社 日立ハイテク ナノテクノロジーソリューション事業統括本部 </div> <div>主管技師長</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/gijutu.co.jp">株式会社 技術情報協会</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=57695&date=2024-03-08&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%AD%E3%82%B8%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="45000">45000円</span> (税別) / 49,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=57695&date=2024-03-08&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%AD%E3%82%B8%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-01-01T17:46:36+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="40000">40000円</span> (税別) / 44,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=57695&date=2024-03-08&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%AD%E3%82%B8%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-01-01T17:46:36+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="45000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="40000" /> <meta itemprop="highPrice" content="45000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=57695&date=2024-03-08&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%AD%E3%82%B8%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-01-01T17:46:36+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講割引について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 80,000円(税別) / 88,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 120,000円(税別) / 132,000円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul> <h3>アカデミック割引</h3> <ul> <li>1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)</li> </ul> <p>日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。</p> <ul> <li>学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒</li> <li>病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者</li> <li>文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など</li> <li>公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方</li> </ul> <ul> <li>支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。</li> <li>企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。</li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。</li> <li>開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。<br /> ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。<br /> 印刷物は後日お手元に届くことになります。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=57695&date=2024-03-08&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%AD%E3%82%B8%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=57695&date=2024-03-08&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%AD%E3%82%B8%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=57695&date=2024-03-08&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E3%83%A1%E3%82%AB%E3%83%8B%E3%82%BA%E3%83%A0%E3%81%A8%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%AD%E3%82%B8%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%87%E3%83%90%E3%82%A4%E3%82%B9%E3%81%AE%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/57695/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング Mon, 01 Jan 2024 08:46:22 +0000 admin 57695 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2024-02-26-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/57577"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング (PA-ALE) 、熱原子層エッチング (thermal ALE) など～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/57577/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=57577&date=2024-02-26&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/57577/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field"> <p>アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2024年2月29日〜3月8日を予定しております。<br /> アーカイブ配信のお申し込みは2024年3月6日まで承ります。</p></div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2024-02-26T10:30:00+09:00">2024年2月26日(月) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2024-02-26T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2024-02-26T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2024-02-26T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventRescheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>エッチング用プラズマ装置の基礎</li> <li>プラズマエッチングにおける物質表面化学反応の基礎</li> <li>反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング (PA-<span class="caps">ALE</span>) 、熱原子層エッチング (thermal <span class="caps">ALE</span>) の特徴と応用</li> </ul> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説する。具体的には、ドライエッチングに用いられるプラズマ装置、装置内のプラズマの構造やダイナミクス、気相反応、および、反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) から、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) にわたるドライエッチング技術に関して、プラズマ物質相互作用の物理機構から最新技術動向まで、詳しく紹介する。<br /> 　関連項目として、プラズマCVDと原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション (DX) の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。</p> <ol> <li>背景</li> <li>プラズマ科学の基礎</li> <li>代表的なプラズマプロセス装置 <ol> <li>容量結合型プラズマ (<span class="caps">CCP</span>) 装置</li> <li>誘導結合型プラズマ (<span class="caps">ICP</span>) 装置</li> </ol></li> <li>反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) の基礎 <ol> <li>プラズマ表面相互作用</li> <li>表面帯電効果</li> <li>シリコン系材料エッチング反応機構</li> <li>金属・金属酸化物材料エッチング反応機構</li> <li>高アスペクト比 (<span class="caps">HAR</span>) エッチング概要</li> </ol></li> <li>プラズマCVD概要:原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) の基礎として</li> <li>ALDプロセスの概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の逆過程として <ol> <li>熱ALD</li> <li>プラズマ支援 (PA-) <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALEプロセスの概要と最新技術動向 <ol> <li>PA-<span class="caps">ALE</span></li> <li>熱ALE:リガンド交換</li> <li>熱ALE:金属錯体形成</li> </ol></li> <li>半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション (DX)</li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=57577&date=2024-02-26&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 55,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/LimitedAvailability" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=57577&date=2024-02-26&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-14T16:11:32+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="25000">25000円</span> (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/LimitedAvailability" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=57577&date=2024-02-26&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-14T16:11:32+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="50000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="25000" /> <meta itemprop="highPrice" content="50000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/LimitedAvailability" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=57577&date=2024-02-26&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2024-03-14T16:11:32+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。</p> <p>「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー</h3> <ul> <li>「Zoom」を使ったライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は、PDFファイルを配布予定です。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> </ul> <h4>ライブ配信セミナーをご希望の場合</h4> <ul> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul> <h4>アーカイブ配信セミナーをご希望の場合</h4> <ul> <li>当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。</li> <li>配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。</li> <li>視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。</li> <li>視聴期間は2024年2月29日〜3月8日を予定しております。<br /> ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=57577&date=2024-02-26&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=57577&date=2024-02-26&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=57577&date=2024-02-26&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/57577/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ 半導体 Sun, 31 Dec 2023 04:52:37 +0000 admin 57577 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2024-01-26-%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/56855"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> ドライエッチングのプロと装置・コンポーネント・材料メーカーエンジニアのための特別講座</div> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 最先端ドライエッチング技術</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～GAAエッチング、クライオエッチング、アトミックレイヤーエッチングを含む最先端ドライエッチング / スマートファクトリ対応インテリジエントツールを詳説～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OfflineEventAttendanceMode"> 会場 開催 </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/56855/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=56855&date=2024-01-26&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/56855/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ドライエッチングについて基礎から解説し、最先端ドライエッチング技術として、マルチパターニング、FinFETやGAAなどのロジックFEOLエッチング、1.4nm以降のロジック配線エッチング、さらには超低温 (クライオ) エッチングを含む、3D NANDのHARエッチングについて具体的なプロセスフローを用いて詳細に解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2024-01-26T13:00:00+09:00">2024年1月26日(金) 13時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2024-01-26T13:00:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2024-01-26T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2024-01-26T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>ドライエッチングの最新の技術動向 <ul> <li>マルチパターニング</li> <li>GAAエッチング</li> <li>1.4nmノード配線エッチング</li> <li>3D NANDのHARクライオエッチングなど</li> </ul></li> <li>最近ホットな話題となっているアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) の原理、応用</li> <li>スマートファクトリ対応インテリジェントツール</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　半導体デバイスの微細化・高集積化が進むにつれ、ドライエッチングに課せられる要求はますます厳しくなってきています。ロジックデバイスでは3nmノードからGAA (Gate <span class="caps">ALL</span> Around) 構造が採用され、また1.4nmノード以降の配線は、これまでのCuダマシンから、Ruなどの金属材料をエッチングして形成する方式に変わると予想されています。フラッシュメモリは3次元化され、既に200層以上の3D NANDが量産されています。また、10nmノード以降のデバイスでは原子レベルで表面反応を制御するアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) が必要となってきています。半導体のスマートファクトリでは、装置自身が自己診断してメインテナンス時期を知ったり、プロセス条件のずれを修正するような、いわゆるインテリジェントツールが求められています。本セミナーでは、ドライエッチングの最新技術動向、ALEおよびインテリジエントツールについて分かりやすく解説します。<br /> 　セミナーでは、最初に本講座を理解する上で必要とされるドライエッチングの基礎について解説します。次に最先端ドライエッチング技術として、マルチパターニング、FinFETやGAAなどのロジックFEOLエッチング、1.4nm以降のロジック配線エッチング、さらには3D NANDのHARエッチングについて具体的なプロセスフローを用いて詳細に解説します。3D NANDのHARエッチングでは、最近話題になっている超低温 (クライオ) エッチングについても解説します。ALEに関しては最初に原理と特徴について解説し、次にALEで実際にその特徴が実現できることを示します。さらには10nmロジックデバイスから量産適用が始まったSiO2のALEや、GAAや3D NANDのような3次元構造デバイスで必要とされる等方性ALEについて詳細に解説します。インテリジェントツールに関しては、チャンバーモニタリング、セルフメインテナンス、フィードフォワード/フィードバック制御やバーチャルメトロロジー (VM) を中心に解説します。<br /> 　本セミナーは、長年半導体の製造現場に近い所で仕事をしていた講師の体験に基づいておりますので、実践的で密度の濃い内容になっており、ドライエッチングのプロを目指す方に最適な講座となっています。また、半導体装置メーカー、コンポーネントメーカー、材料メーカーのエンジニアの方々がドライエッチングの最新技術動向を理解し、また自分たちの技術が先端デバイスの中でどのように使われているのかを理解するのにも役立つセミナーです。</p> <ol> <li>ドライエッチングの基礎 <ol> <li>デバイスの微細化・高集積化のトレンドとドライエッチング技術の進展</li> <li>ドライエッチングの概要</li> <li>異方性エッチングのメカニズム</li> <li>SiエッチングとSiO2エッチング</li> <li>ドライエッチング装置</li> </ol></li> <li>マルチパターニング <ol> <li><span class="caps">SADP</span></li> <li><span class="caps">SAQP</span></li> </ol></li> <li>ロジックFEOLエッチング <ol> <li>メタルゲート/ High-kエッチング</li> <li>FinFETエッチング</li> <li>GAAエッチング</li> </ol></li> <li>ロジックBEOLエッチング <ol> <li>Low-k Cuダマシンエッチング</li> <li>1.4nm以降の配線エッチング</li> <li>D NAND用HARエッチング</li> <li>HARエッチングのキーパラメータ</li> <li>クライオエッチング</li> </ol></li> <li>アトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) <ol> <li>ALEの原理と特徴</li> <li>EPCのイオンエネルギー依存性</li> <li>EPCとスパッタ閾値を決めるファクター</li> <li>表面平滑性</li> <li>SiO2 ALEのSACプロセスへの応用</li> <li>等方性サーマルALEとその応用</li> </ol></li> <li>スマートファクトリ対応インテリジェントツール <ol> <li>スマートファクトリとインテリジェントツール</li> <li>チャンバーモニタリング</li> <li>セルフメインテナンス</li> <li>フィードフォワード/フィードバック制御</li> <li>バーチャルメトロロジー (VM)</li> <li>インテリジェントサブシステム</li> </ol></li> <li>おわりに &#8211; 今後の課題と展望</li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/20410"><span itemprop="name">野尻 一男</span></a> 氏 <div>ナノテクリサーチ</div> <div>代表</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/Place"> <a href="/place/%E9%80%A3%E5%90%88%E4%BC%9A%E9%A4%A8">連合会館</a> <p>4F 402会議室</p> <meta itemprop="name" content="連合会館" /> <meta itemprop="telephone" content="03-3253-1771" /> <meta itemprop="url" content="http://rengokaikan.jp/" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="https://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="101-0062" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">千代田区</span> <span itemprop="streetAddress">神田駿河台三丁目2-11</span> </div> <a href="/node/1730"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都千代田区神田駿河台三丁目2-11&amp;markers=東京都千代田区神田駿河台三丁目2-11&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="連合会館の地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=56855&date=2024-01-26&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="42700">42700円</span> (税別) / 46,970円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=56855&date=2024-01-26&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-11-16T17:23:30+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,750円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=56855&date=2024-01-26&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-11-16T17:23:30+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="42700" /> <meta itemprop="lowPrice" content="22500" /> <meta itemprop="highPrice" content="42700" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=56855&date=2024-01-26&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-11-16T17:23:30+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>会場受講の複数名受講割引</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,700円(税別) / 46,970円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> <li>サイエンス&amp;テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=56855&date=2024-01-26&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-place">会場</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=56855&date=2024-01-26&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=56855&date=2024-01-26&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/56855/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> 表面処理 エッチング ドライエッチング Thu, 16 Nov 2023 08:23:13 +0000 admin 56855 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2023-12-15-%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/56389"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/588" rel="tag" title="プラズマ表面処理">プラズマ表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/56389/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=56389&date=2023-12-15&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/56389/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field"> <p>視聴期間は2023年12月5日〜19日を予定しております。<br /> お申し込みは2023年12月15日まで承ります。</p></div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマの生成機構や特徴について解説いたします。<br /> また、プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置の構造、処理条件の最適化法など解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2023-12-15T12:30:00+09:00">2023年12月15日(金) 12時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2023-12-15T12:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2023-12-19T16:30:00+09:00">2023年12月19日(火) 16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2023-12-19T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体プロセスに用いられるプラズマの特徴と基礎</li> <li>プラズマCVDの原理</li> <li>Si系薄膜の膜質制御の考え方</li> <li>ドライエッチングの原理</li> <li>種々のエッチング手法</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　プラズマは、現在では産業の広い分野で日常的に使われています。しかし、プラズマの原理やプラズマを用いることの利点については、あまり系統的に学ぶ機会がないと思います。現在の応用だけでなく、今後道具としてさらにプラズマを利用していくためには、その物理的な考え方、特徴を理解することが不可欠になります。<br /> 　そこで、本セミナーでは、まず前半で薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマ (非平衡プラズマと呼ばれる) の生成機構や特徴について解説します。後半ではそれらを踏まえて、プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置の構造、処理条件の最適化法などについて説明します。</p> <ol> <li>プラズマの基礎 <ol> <li>プラズマ中の衝突現象とその定量的な取り扱い</li> <li>衝突反応の種類と反応速度定数の考え方</li> <li>Boltzmann方程式</li> <li>Boltzmann方程式から得られるプラズマの基礎方程式 <ul> <li>拡散方程式</li> <li>連続の式など</li> </ul></li> <li>プラズマの生成 (直流放電プラズマ)</li> <li>プラズマの生成 (容量性結合RF放電プラズマ)</li> <li>プラズマの生成 (誘導性結合RF放電プラズマ)</li> <li>プラズマの生成 (大気圧低温プラズマ)</li> </ol></li> <li>プラズマCVD <ol> <li>プラズマCVDの特徴と原理 (アモルファスSi薄膜を中心に)</li> <li>代表的なプラズマCVD装置</li> <li>製膜パラメータの考え方</li> <li>アモルファスSi堆積条件と高品質化</li> </ol></li> <li>プラズマエッチング <ol> <li>プラズマエッチングの特徴と原理 <ul> <li>等方性</li> <li>異方性</li> </ul></li> <li>代表的なエッチング装置</li> <li>エッチングダメージ</li> <li>終点検出の原理</li> </ol></li> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=56389&date=2023-12-15&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="45000">45000円</span> (税別) / 49,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=56389&date=2023-12-15&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-29T13:23:07+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=56389&date=2023-12-15&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-29T13:23:07+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="45000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="22500" /> <meta itemprop="highPrice" content="45000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=56389&date=2023-12-15&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-29T13:23:07+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。</p> <p>「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 42,000円(税別) / 46,200円(税込) で受講いただけます。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>アーカイブ配信セミナー</h3> <ul> <li>当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。</li> <li>配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。</li> <li>視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。</li> <li>視聴期間は2023年12月5日〜19日を予定しております。<br /> ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=56389&date=2023-12-15&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=56389&date=2023-12-15&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=56389&date=2023-12-15&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/56389/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ プラズマCVD プラズマ表面処理 半導体 Sun, 29 Oct 2023 04:22:46 +0000 admin 56389 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2023-12-06-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0-ALE-%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/56229"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術 / 原子層エッチング (ALE:アトミックレイヤーエッチング) 技術 / プラズマCVD、原子層堆積 (ALD) プロセス、デジタル・トランスフォーメーション (DX)～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/56229/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=56229&date=2023-12-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/56229/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field"> <p>視聴期間は2023年12月6日〜19日を予定しております。<br /> お申し込みは2023年12月6日まで承ります。</p></div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2023-12-06T10:30:00+09:00">2023年12月6日(水) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2023-12-06T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2023-12-19T16:30:00+09:00">2023年12月19日(火) 16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2023-12-19T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマプロセスの基礎知識</li> <li>ドライエッチングの基礎知識</li> <li>原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の基礎知識と最新技術動向</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを詳しく紹介する。<br /> 　関連項目として、プラズマCVDと原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション (DX) の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。</p> <ol> <li>背景</li> <li>プラズマ科学の基礎</li> <li>代表的なプラズマプロセス装置</li> <li>反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) の基礎 <ol> <li>プラズマ表面相互作用</li> <li>表面帯電効果</li> <li>シリコン系材料エッチング反応機構</li> <li>金属・金属酸化物材料エッチング反応機構</li> <li>高アスペクト比 (<span class="caps">HAR</span>) エッチング概要</li> </ol></li> <li>プラズマCVD概要:原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) の基礎として</li> <li>ALDプロセスの概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の逆過程として <ol> <li>熱ALD</li> <li>プラズマ支援 (PA &#8211; ) <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALEプロセスの概要と最新技術動向 <ol> <li>PA &#8211; <span class="caps">ALE</span></li> <li>熱ALE:リガンド交換</li> <li>熱ALE:金属錯体形成</li> </ol></li> <li>半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション (DX) <ol> <li>プロセス数値シミュレーションとTCAD (technical computer aided design)</li> <li>仮想計測 (VM) とプロセス装置制御</li> <li>マテリアルズ・インフォマティクス</li> <li>プロセス開発における機械学習 (ML) ・AIの活用</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/42294"><span itemprop="name">浜口 智志</span></a> 氏 <div>大阪大学 大学院 工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=56229&date=2023-12-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="34700">34700円</span> (税別) / 38,170円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=56229&date=2023-12-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-07T00:27:11+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="25000">25000円</span> (税別) / 27,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=56229&date=2023-12-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-07T00:27:11+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="34700" /> <meta itemprop="lowPrice" content="25000" /> <meta itemprop="highPrice" content="34700" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=56229&date=2023-12-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-07T00:27:11+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名受講割引</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,700円(税別) / 38,170円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> <li>サイエンス&amp;テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul> <h3>アーカイブ配信セミナー</h3> <ul> <li>「ビデオグ」を使ったアーカイブ配信セミナーとなります。</li> <li>当日のセミナーを、後日にお手元のPCなどからご視聴ができます。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://logic-design.zendesk.com/hc/ja/articles/115001376193#spec-environment">視聴環境</a> をご確認いただき、 <a href="https://logic-design.zendesk.com/hc/ja/articles/115001336974">視聴テスト</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>別途、ID,パスワードをメールにてご連絡申し上げます。</li> <li>視聴期間は2023年12月6日〜19日を予定しております。<br /> ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。</li> <li>セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=56229&date=2023-12-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=56229&date=2023-12-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=56229&date=2023-12-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/56229/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ 半導体 Fri, 06 Oct 2023 15:26:49 +0000 admin 56229 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2023-12-04-%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/56388"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> プラズマの基礎と半導体プロセス・エッチング入門</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/588" rel="tag" title="プラズマ表面処理">プラズマ表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/56388/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=56388&date=2023-12-04&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/56388/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field"> <p>アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2023年12月5日〜19日を予定しております。<br /> アーカイブ配信のお申し込みは2023年12月15日まで承ります。</p></div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマの生成機構や特徴について解説いたします。<br /> また、プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置の構造、処理条件の最適化法など解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2023-12-04T12:30:00+09:00">2023年12月4日(月) 12時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2023-12-04T12:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2023-12-04T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2023-12-04T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体プロセスに用いられるプラズマの特徴と基礎</li> <li>プラズマCVDの原理</li> <li>Si系薄膜の膜質制御の考え方</li> <li>ドライエッチングの原理</li> <li>種々のエッチング手法</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　プラズマは、現在では産業の広い分野で日常的に使われています。しかし、プラズマの原理やプラズマを用いることの利点については、あまり系統的に学ぶ機会がないと思います。現在の応用だけでなく、今後道具としてさらにプラズマを利用していくためには、その物理的な考え方、特徴を理解することが不可欠になります。<br /> 　そこで、本セミナーでは、まず前半で薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられるプラズマ (非平衡プラズマと呼ばれる) の生成機構や特徴について解説します。後半ではそれらを踏まえて、プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置の構造、処理条件の最適化法などについて説明します。</p> <ol> <li>プラズマの基礎 <ol> <li>プラズマ中の衝突現象とその定量的な取り扱い</li> <li>衝突反応の種類と反応速度定数の考え方</li> <li>Boltzmann方程式</li> <li>Boltzmann方程式から得られるプラズマの基礎方程式 <ul> <li>拡散方程式</li> <li>連続の式など</li> </ul></li> <li>プラズマの生成 (直流放電プラズマ)</li> <li>プラズマの生成 (容量性結合RF放電プラズマ)</li> <li>プラズマの生成 (誘導性結合RF放電プラズマ)</li> <li>プラズマの生成 (大気圧低温プラズマ)</li> </ol></li> <li>プラズマCVD <ol> <li>プラズマCVDの特徴と原理 (アモルファスSi薄膜を中心に)</li> <li>代表的なプラズマCVD装置</li> <li>製膜パラメータの考え方</li> <li>アモルファスSi堆積条件と高品質化</li> </ol></li> <li>プラズマエッチング <ol> <li>プラズマエッチングの特徴と原理 <ul> <li>等方性</li> <li>異方性</li> </ul></li> <li>代表的なエッチング装置</li> <li>エッチングダメージ</li> <li>終点検出の原理</li> </ol></li> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=56388&date=2023-12-04&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="45000">45000円</span> (税別) / 49,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=56388&date=2023-12-04&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-29T13:22:16+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,750円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=56388&date=2023-12-04&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-29T13:22:16+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="45000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="22500" /> <meta itemprop="highPrice" content="45000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=56388&date=2023-12-04&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-29T13:22:16+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。</p> <p>「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 42,000円(税別) / 46,200円(税込) で受講いただけます。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,000円(税別) / 46,200円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー</h3> <ul> <li>「Zoom」を使ったライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は、PDFファイルを配布予定です。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> </ul> <h4>ライブ配信セミナーをご希望の場合</h4> <ul> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul> <h4>アーカイブ配信セミナーをご希望の場合</h4> <ul> <li>当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。</li> <li>配信開始となりましたら、改めてメールでご案内いたします。</li> <li>視聴サイトにログインしていただき、ご視聴いただきます。</li> <li>視聴期間は2023年12月5日〜19日を予定しております。<br /> ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=56388&date=2023-12-04&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=56388&date=2023-12-04&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=56388&date=2023-12-04&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%83%BB%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E5%85%A5%E9%96%80">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/56388/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ プラズマCVD プラズマ表面処理 半導体 Sun, 29 Oct 2023 04:22:16 +0000 admin 56388 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2023-11-27-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0-ALE-%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/56228"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術 / 原子層エッチング (ALE:アトミックレイヤーエッチング) 技術 / プラズマCVD、原子層堆積 (ALD) プロセス、デジタル・トランスフォーメーション (DX)～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/56228/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=56228&date=2023-11-27&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/56228/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field"> <p>アーカイブ配信で受講をご希望の場合、視聴期間は2023年12月6日〜19日を予定しております。<br /> アーカイブ配信のお申し込みは2023年12月6日まで承ります。</p></div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2023-11-27T10:30:00+09:00">2023年11月27日(月) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2023-11-27T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2023-11-27T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2023-11-27T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマプロセスの基礎知識</li> <li>ドライエッチングの基礎知識</li> <li>原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の基礎知識と最新技術動向</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを詳しく紹介する。<br /> 　関連項目として、プラズマCVDと原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション (DX) の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。</p> <ol> <li>背景</li> <li>プラズマ科学の基礎</li> <li>代表的なプラズマプロセス装置</li> <li>反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) の基礎 <ol> <li>プラズマ表面相互作用</li> <li>表面帯電効果</li> <li>シリコン系材料エッチング反応機構</li> <li>金属・金属酸化物材料エッチング反応機構</li> <li>高アスペクト比 (<span class="caps">HAR</span>) エッチング概要</li> </ol></li> <li>プラズマCVD概要:原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) の基礎として</li> <li>ALDプロセスの概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の逆過程として <ol> <li>熱ALD</li> <li>プラズマ支援 (PA &#8211; ) <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALEプロセスの概要と最新技術動向 <ol> <li>PA &#8211; <span class="caps">ALE</span></li> <li>熱ALE:リガンド交換</li> <li>熱ALE:金属錯体形成</li> </ol></li> <li>半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション (DX) <ol> <li>プロセス数値シミュレーションとTCAD (technical computer aided design)</li> <li>仮想計測 (VM) とプロセス装置制御</li> <li>マテリアルズ・インフォマティクス</li> <li>プロセス開発における機械学習 (ML) ・AIの活用</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/42294"><span itemprop="name">浜口 智志</span></a> 氏 <div>大阪大学 大学院 工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=56228&date=2023-11-27&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="34700">34700円</span> (税別) / 38,170円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=56228&date=2023-11-27&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-07T00:26:16+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="25000">25000円</span> (税別) / 27,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=56228&date=2023-11-27&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-07T00:26:16+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="34700" /> <meta itemprop="lowPrice" content="25000" /> <meta itemprop="highPrice" content="34700" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=56228&date=2023-11-27&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-10-07T00:26:16+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名受講割引</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,700円(税別) / 38,170円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> <li>サイエンス&amp;テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul> <h3>ライブ配信対応セミナー / アーカイブ配信対応セミナー</h3> <p>ライブ配信またはアーカイブ配信セミナーのいずれかをご選択いただけます。</p> <h4>ライブ配信セミナーをご希望の場合</h4> <ul> <li>「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul> <h4>アーカイブ配信セミナーをご希望の場合</h4> <ul> <li>「ビデオグ」を使ったアーカイブ配信セミナーとなります。</li> <li>当日のセミナーを、後日にお手元のPCなどからご視聴ができます。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://logic-design.zendesk.com/hc/ja/articles/115001376193#spec-environment">視聴環境</a> をご確認いただき、 <a href="https://logic-design.zendesk.com/hc/ja/articles/115001336974">視聴テスト</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>別途、ID,パスワードをメールにてご連絡申し上げます。</li> <li>視聴期間は2023年12月6日〜19日を予定しております。<br /> ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。</li> <li>セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=56228&date=2023-11-27&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=56228&date=2023-11-27&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=56228&date=2023-11-27&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/56228/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ 半導体 Fri, 06 Oct 2023 15:26:16 +0000 admin 56228 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2023-10-27-%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/55310"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> ドライエッチングのプロと装置・コンポーネント・材料メーカーエンジニアのための特別講座</div> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 最先端ドライエッチング技術</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～GAAエッチング、クライオエッチング、アトミックレイヤーエッチングを含む最先端ドライエッチング / スマートファクトリ対応インテリジエントツールを詳説～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OfflineEventAttendanceMode"> 会場 開催 </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/55310/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=55310&date=2023-10-27&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/55310/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ドライエッチングについて基礎から解説し、最先端ドライエッチング技術として、マルチパターニング、FinFETやGAAなどのロジックFEOLエッチング、1.4nm以降のロジック配線エッチング、さらには超低温 (クライオ) エッチングを含む、3D NANDのHARエッチングについて具体的なプロセスフローを用いて詳細に解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2023-10-27T13:00:00+09:00">2023年10月27日(金) 13時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2023-10-27T13:00:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2023-10-27T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2023-10-27T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>ドライエッチングの最新の技術動向 <ul> <li>マルチパターニング</li> <li>GAAエッチング</li> <li>1.4nmノード配線エッチング</li> <li>3D NANDのHARクライオエッチングなど</li> </ul></li> <li>最近ホットな話題となっているアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) の原理、応用</li> <li>スマートファクトリ対応インテリジェントツール</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　半導体デバイスの微細化・高集積化が進むにつれ、ドライエッチングに課せられる要求はますます厳しくなってきています。ロジックデバイスでは3nmノードからGAA (Gate <span class="caps">ALL</span> Around) 構造が採用され、また1.4nmノード以降の配線は、これまでのCuダマシンから、Ruなどの金属材料をエッチングして形成する方式に変わると予想されています。フラッシュメモリは3次元化され、既に200層以上の3D NANDが量産されています。また、10nmノード以降のデバイスでは原子レベルで表面反応を制御するアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) が必要となってきています。半導体のスマートファクトリでは、装置自身が自己診断してメインテナンス時期を知ったり、プロセス条件のずれを修正するような、いわゆるインテリジェントツールが求められています。本セミナーでは、ドライエッチングの最新技術動向、ALEおよびインテリジエントツールについて分かりやすく解説します。<br /> 　セミナーでは、最初に本講座を理解する上で必要とされるドライエッチングの基礎について解説します。次に最先端ドライエッチング技術として、マルチパターニング、FinFETやGAAなどのロジックFEOLエッチング、1.4nm以降のロジック配線エッチング、さらには3D NANDのHARエッチングについて具体的なプロセスフローを用いて詳細に解説します。3D NANDのHARエッチングでは、最近話題になっている超低温 (クライオ) エッチングについても解説します。ALEに関しては最初に原理と特徴について解説し、次にALEで実際にその特徴が実現できることを示します。さらには10nmロジックデバイスから量産適用が始まったSiO2のALEや、GAAや3D NANDのような3次元構造デバイスで必要とされる等方性ALEについて詳細に解説します。インテリジェントツールに関しては、チャンバーモニタリング、セルフメインテナンス、フィードフォワード/フィードバック制御やバーチャルメトロロジー (VM) を中心に解説します。<br /> 　本セミナーは、長年半導体の製造現場に近い所で仕事をしていた講師の体験に基づいておりますので、実践的で密度の濃い内容になっており、ドライエッチングのプロを目指す方に最適な講座となっています。また、半導体装置メーカー、コンポーネントメーカー、材料メーカーのエンジニアの方々がドライエッチングの最新技術動向を理解し、また自分たちの技術が先端デバイスの中でどのように使われているのかを理解するのにも役立つセミナーです。</p> <ol> <li>ドライエッチングの基礎 <ol> <li>デバイスの微細化・高集積化のトレンドとドライエッチング技術の進展</li> <li>ドライエッチングの概要</li> <li>異方性エッチングのメカニズム</li> <li>SiエッチングとSiO2エッチング</li> <li>ドライエッチング装置</li> </ol></li> <li>マルチパターニング <ol> <li><span class="caps">SADP</span></li> <li><span class="caps">SAQP</span></li> </ol></li> <li>ロジックFEOLエッチング <ol> <li>メタルゲート/ High-kエッチング</li> <li>FinFETエッチング</li> <li>GAAエッチング</li> </ol></li> <li>ロジックBEOLエッチング <ol> <li>Low-k Cuダマシンエッチング</li> <li>1.4nm以降の配線エッチング</li> <li>D NAND用HARエッチング</li> <li>HARエッチングのキーパラメータ</li> <li>クライオエッチング</li> </ol></li> <li>アトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) <ol> <li>ALEの原理と特徴</li> <li>EPCのイオンエネルギー依存性</li> <li>EPCとスパッタ閾値を決めるファクター</li> <li>表面平滑性</li> <li>SiO2 ALEのSACプロセスへの応用</li> <li>等方性サーマルALEとその応用</li> </ol></li> <li>スマートファクトリ対応インテリジェントツール <ol> <li>スマートファクトリとインテリジェントツール</li> <li>チャンバーモニタリング</li> <li>セルフメインテナンス</li> <li>フィードフォワード/フィードバック制御</li> <li>バーチャルメトロロジー (VM)</li> <li>インテリジェントサブシステム</li> </ol></li> <li>おわりに &#8211; 今後の課題と展望</li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/20410"><span itemprop="name">野尻 一男</span></a> 氏 <div>ナノテクリサーチ</div> <div>代表</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%93%81%E5%B7%9D%E5%8C%BA%E7%AB%8B%E7%B7%8F%E5%90%88%E5%8C%BA%E6%B0%91%E4%BC%9A%E9%A4%A8-%E3%81%8D%E3%82%85%E3%82%8A%E3%81%82%E3%82%93">品川区立総合区民会館 きゅりあん</a> <p>5F 第3講習室</p> <meta itemprop="name" content="品川区立総合区民会館 きゅりあん" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5479-4100" /> <meta itemprop="url" content="http://www.shinagawa-culture.or.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="https://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="140-0011" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">東大井5丁目18-1</span> </div> <a href="/node/1729"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;markers=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=55310&date=2023-10-27&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="42700">42700円</span> (税別) / 46,970円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=55310&date=2023-10-27&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-09-12T12:18:53+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,750円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=55310&date=2023-10-27&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-09-12T12:18:53+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="42700" /> <meta itemprop="lowPrice" content="22500" /> <meta itemprop="highPrice" content="42700" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=55310&date=2023-10-27&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-09-12T12:18:53+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>会場受講の複数名受講割引</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,700円(税別) / 46,970円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> <li>サイエンス&amp;テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=55310&date=2023-10-27&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-place">会場</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=55310&date=2023-10-27&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=55310&date=2023-10-27&title=%E6%9C%80%E5%85%88%E7%AB%AF%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/55310/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> 表面処理 エッチング ドライエッチング Sun, 20 Aug 2023 00:11:20 +0000 admin 55310 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2023-08-09-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E5%BF%9C%E7%94%A8%E4%BA%8B%E4%BE%8B <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/54151"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体エッチング技術の基礎と最新動向、応用事例</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～ドライ、ウェット、原子層の各エッチング技術の原理から各種材料への応用、微細化、三次元化への対応まで～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/863" rel="tag" title="ウェットエッチング">ウェットエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/54151/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=54151&date=2023-08-09&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E5%BF%9C%E7%94%A8%E4%BA%8B%E4%BE%8B">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/54151/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ドライエッチング、ウェットエッチング、および原子層エッチングについて、エッチングの原理から、各種材料への応用、技術動向、そして最先端の開発事例までを、メーカで各種半導体製造のエッチングプロセス開発に携わってきた講師が、実経験を交えて分かり易く解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2023-08-09T10:30:00+09:00">2023年8月9日(水) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2023-08-09T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2023-08-09T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2023-08-09T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>エッチングに関連する技術者、製造技術担当者、品質担当者 <ul> <li><span class="caps">MEMS</span></li> <li>半導体</li> <li>微細回路 など</li> </ul></li> <li>半導体デバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーの研究開発・生産製造に携わる方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体製造プロセスの技術トレンド</li> <li>ドライ、ウェット、および原子層エッチングの基礎知識</li> <li>各種材料のエッチング技術</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　モノのインターネット (IoT) の普及により、データを処理するロジックデバイスやメモリーデバイスには、更なる性能向上と高集積化が求められている。このためデバイス構造の微細化と三次元化が益々進んでおり、エッチング技術にも、多様な膜種の原子レベル加工など、更なる進化が求められている。 <br /> 　本講座では、ドライエッチング、ウェットエッチング、および原子層エッチングについて、エッチングの原理から、各種材料への応用、技術動向、そして最先端の開発事例までを、メーカで各種半導体製造のエッチングプロセス開発に携わってきた講師が、実経験を交えて分かり易く解説する。</p> <ol> <li>半導体デバイスのトレンド/構造/製造プロセス <ol> <li>半導体デバイスの技術トレンド</li> <li>半導体デバイスの構造と製造プロセス</li> </ol></li> <li>半導体製造プロセスにおけるエッチング <ol> <li>エッチング工程の種類</li> <li>エッチング工程の課題</li> </ol></li> <li>ドライエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ドライエッチング装置、プロセスの歴史</li> <li>ドライエッチングの原理</li> <li>ドライエッチングの速度、選択性および損傷</li> <li>各種材料のドライエッチング技術</li> </ol></li> <li>ウェットエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ウェットエッチングの原理</li> <li>ウェットエッチングの律速過程</li> <li>ウェットエッチングの選択比および面方位依存性</li> <li>各種材料のウェットエッチング技術</li> </ol></li> <li>原子層エッチングの基礎と最新技術 <ol> <li>原子層エッチングの基礎と分類</li> <li>有機金属錯体反応を用いた熱ALE</li> <li>プラズマと熱サイクルを用いた等方性ALE</li> <li>ハロゲン化とイオン照射を用いた異方性ALE</li> <li>フルオロカーボンアシスト法を用いた異方性ALE</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/23411"><span itemprop="name">篠田 和典</span></a> 氏 <div>株式会社 日立製作所 研究開発グループ 計測・エレクトロニクスイノベーションセンタ ナノプロセス研究部 </div> <div>主任研究員</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/gijutu.co.jp">株式会社 技術情報協会</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=54151&date=2023-08-09&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E5%BF%9C%E7%94%A8%E4%BA%8B%E4%BE%8B">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 55,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=54151&date=2023-08-09&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E5%BF%9C%E7%94%A8%E4%BA%8B%E4%BE%8B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-05-31T01:30:16+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="45000">45000円</span> (税別) / 49,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=54151&date=2023-08-09&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E5%BF%9C%E7%94%A8%E4%BA%8B%E4%BE%8B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-05-31T01:30:16+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="50000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="45000" /> <meta itemprop="highPrice" content="50000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=54151&date=2023-08-09&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E5%BF%9C%E7%94%A8%E4%BA%8B%E4%BE%8B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-05-31T01:30:16+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講割引について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul> <h3>アカデミック割引</h3> <ul> <li>1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)</li> </ul> <p>日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。</p> <ul> <li>学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒</li> <li>病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者</li> <li>文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など</li> <li>公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方</li> </ul> <ul> <li>支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。</li> <li>企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。</li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=54151&date=2023-08-09&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E5%BF%9C%E7%94%A8%E4%BA%8B%E4%BE%8B">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=54151&date=2023-08-09&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E5%BF%9C%E7%94%A8%E4%BA%8B%E4%BE%8B">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=54151&date=2023-08-09&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E5%BF%9C%E7%94%A8%E4%BA%8B%E4%BE%8B">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/54151/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> ウェットエッチング エッチング ドライエッチング 半導体 Tue, 30 May 2023 16:29:52 +0000 admin 54151 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2023-06-02-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/53102"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体製造におけるエッチング技術の基礎知識と最新動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～ドライ/ウェットエッチングの基礎とプロセス制御、原子層エッチング (ALE) の最前線～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/53102/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=53102&date=2023-06-02&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/53102/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2023-06-02T10:30:00+09:00">2023年6月2日(金) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2023-06-02T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2023-06-02T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2023-06-02T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体デバイス/製造の技術者</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体デバイス製造の開発動向と先端課題</li> <li>ドライ/ウェットエッチングの基礎と各種材料のエッチング</li> <li>原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の原理と各種手法</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　半導体集積回路の微細化・三次元化は益々進み、現在は原子層レベルの制御性が求められている。<br /> 　本講演では、半導体集積回路の製造に不可欠なエッチング技術について、ドライエッチングおよびウェットエッチングの原理から、装置、技術潮流、各種材料のエッチング技術、そして原子層エッチングの最前線までを、メーカで光デバイスのエッチングプロセスやシリコンLSI向け先端エッチング装置の開発に携わってきた講師が、実経験を交えながら分かりやすく解説する。</p> <ol> <li>半導体デバイスのトレンド/構造/製造プロセス <ol> <li>半導体デバイスのトレンド</li> <li>半導体デバイスの構造</li> <li>半導体デバイスの製造プロセス</li> </ol></li> <li>半導体製造プロセスにおけるエッチング <ol> <li>エッチングプロセスの種類</li> <li>エッチングプロセス技術</li> <li>エッチングプロセスの課題</li> </ol></li> <li>ドライエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ドライエッチング装置の種類及び特徴</li> <li>ドライエッチングプロセスの特徴・要点</li> <li>ドライエッチングの原理</li> <li>ドライエッチングにおけるプロセス制御の考え方</li> <li>ドライエッチング損傷</li> <li>各種材料のドライエッチング技術及びプロセス制御のポイント <ul> <li>Si</li> <li>SiO2</li> <li>Si3N4</li> <li>GaAs</li> <li>InP</li> <li>GaN</li> </ul></li> </ol></li> <li>ウェットエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ウェットエッチングの原理</li> <li>ウェットエッチングの律速過程</li> <li>ウェットエッチングにおけるプロセス制御の考え方</li> <li>各種半導体のウェットエッチング技術及びプロセス制御のポイント <ul> <li>Si</li> <li>SiO2</li> <li>Si3N4</li> <li>GaAs</li> <li>InP</li> <li>GaN</li> </ul></li> </ol></li> <li>原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の基礎と最新技術 <ol> <li>原子層プロセス技術のトレンド</li> <li>原子層エッチングの基礎と分類</li> <li>有機金属錯体反応を用いた熱ALE</li> <li>プラズマと熱サイクルを用いた等方性ALE</li> <li>ハロゲン化とイオン照射を用いた異方性ALE</li> <li>フルオロカーボンアシスト法を用いた異方性ALE</li> </ol></li> <li>実プロセスにおけるエッチングの課題・トラブル事例と対策</li> <li>今後の課題</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/23411"><span itemprop="name">篠田 和典</span></a> 氏 <div>株式会社 日立製作所 研究開発グループ 計測・エレクトロニクスイノベーションセンタ ナノプロセス研究部 </div> <div>主任研究員</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=53102&date=2023-06-02&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="34200">34200円</span> (税別) / 37,620円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=53102&date=2023-06-02&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-04-08T16:24:35+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,750円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=53102&date=2023-06-02&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-04-08T16:24:35+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="34200" /> <meta itemprop="lowPrice" content="22500" /> <meta itemprop="highPrice" content="34200" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=53102&date=2023-06-02&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-04-08T16:24:35+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名受講割引</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,200円(税別) / 37,620円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> <li>サイエンス&amp;テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。</li> <li>開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。<br /> ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。<br /> 印刷物は後日お手元に届くことになります。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=53102&date=2023-06-02&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=53102&date=2023-06-02&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=53102&date=2023-06-02&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/53102/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) エッチング ドライエッチング 半導体 Sat, 08 Apr 2023 07:24:09 +0000 admin 53102 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2023-03-10-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/51862"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング (PA-ALE) 、熱原子層エッチング (thermal ALE) など～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/51862/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=51862&date=2023-03-10&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/51862/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2023-03-10T10:30:00+09:00">2023年3月10日(金) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2023-03-10T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2023-03-10T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2023-03-10T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>エッチング用プラズマ装置の基礎</li> <li>プラズマエッチングにおける物質表面化学反応の基礎</li> <li>反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング (PA-<span class="caps">ALE</span>) 、熱原子層エッチング (thermal <span class="caps">ALE</span>) の特徴と応用</li> </ul> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説する。具体的には、ドライエッチングに用いられるプラズマ装置、装置内のプラズマの構造やダイナミクス、気相反応、および、反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) から、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) にわたるドライエッチング技術に関して、プラズマ物質相互作用の物理機構から最新技術動向まで、詳しく紹介する。<br /> 　関連項目として、プラズマCVDと原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション (DX) の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。</p> <ol> <li>背景</li> <li>プラズマ科学の基礎</li> <li>代表的なプラズマプロセス装置 <ol> <li>容量結合型プラズマ (<span class="caps">CCP</span>) 装置</li> <li>誘導結合型プラズマ (<span class="caps">ICP</span>) 装置</li> </ol></li> <li>反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) の基礎 <ol> <li>プラズマ表面相互作用</li> <li>表面帯電効果</li> <li>シリコン系材料エッチング反応機構</li> <li>金属・金属酸化物材料エッチング反応機構</li> <li>高アスペクト比 (<span class="caps">HAR</span>) エッチング概要</li> </ol></li> <li>プラズマCVD概要:原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) の基礎として</li> <li>ALDプロセスの概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の逆過程として <ol> <li>熱ALD</li> <li>プラズマ支援 (PA-) <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALEプロセスの概要と最新技術動向 <ol> <li>PA-<span class="caps">ALE</span></li> <li>熱ALE:リガンド交換</li> <li>熱ALE:金属錯体形成</li> </ol></li> <li>半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション (DX)</li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=51862&date=2023-03-10&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 55,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=51862&date=2023-03-10&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-01-30T01:28:56+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="25000">25000円</span> (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=51862&date=2023-03-10&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-01-30T01:28:56+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="50000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="25000" /> <meta itemprop="highPrice" content="50000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=51862&date=2023-03-10&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-01-30T01:28:56+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。</p> <p>「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=51862&date=2023-03-10&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=51862&date=2023-03-10&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=51862&date=2023-03-10&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/51862/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ 半導体 Sun, 29 Jan 2023 16:28:13 +0000 admin 51862 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2023-01-27-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4-%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88-%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/51004"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体 (ドライ/ウェット) エッチングの基礎とプロセス制御・最新技術</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/51004/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=51004&date=2023-01-27&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/51004/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ドライエッチングおよびウェットエッチングについて、エッチング反応の原理から装置、微細加工技術のトレンド、シリコン系材料やIII-V族化合物半導体のエッチング技術、そして最先端の原子層エッチング技術までを、メーカで化合物半導体光デバイスの製造プロセスやシリコンLSI向けエッチング装置の開発に携わってきた講師が、実経験を交えながら分かりやすく解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2023-01-27T10:30:00+09:00">2023年1月27日(金) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2023-01-27T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2023-01-27T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2023-01-27T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマエッチングに関連する技術者、製造技術担当者、品質担当者 <ul> <li><span class="caps">MEMS</span></li> <li>半導体</li> <li>微細回路 など</li> </ul></li> <li>半導体デバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーの研究開発・生産製造に携わる方</li> <li>これからプロセスプラズマを扱う方</li> <li>プロセスガスの開発に携わっている方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体デバイス・製造プロセスの技術トレンド</li> <li>ドライエッチング、ウェットエッチング、原子層エッチングの基礎知識</li> <li>各種材料のエッチング反応・エッチングプロセス制御の考え方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　半導体集積回路の開発や製造において、エッチングは必要不可欠な技術である。モノのインターネット (IoT) の普及により、データ処理を担う半導体集積回路の高密度集積化が益々進んでいる。加工寸法の微細化は原子層レベルに到達し、また、三次元構造化と積層化による集積度向上が加速している。このような、微細な三次元構造をもつ今後の半導体デバイスでは、原子層レベルの制御性でエッチングする技術が求められる。また,微細化限界後のポストスケーリング時代に向けて、新トランジスタ構造や新チャネル材料が検討されており、III &#8211; V族化合物半導体など様々な新材料の微細加工技術が鍵を握る。<br /> 　本講座では、ドライエッチングおよびウェットエッチングについて、エッチング反応の原理から装置、微細加工技術のトレンド、シリコン系材料やIII &#8211; V族化合物半導体のエッチング技術,そして最先端の原子層エッチング技術までを、メーカで化合物半導体光デバイスの製造プロセスやシリコンLSI向けエッチング装置の開発に携わってきた講師が、実経験を交えながら分かり易く解説する。</p> <ol> <li>半導体デバイスのトレンド/構造/製造プロセス <ol> <li>半導体デバイスのトレンド <ol> <li>ロジックデバイス</li> <li>メモリーデバイス</li> <li>光デバイス</li> </ol></li> <li>半導体デバイスの構造 <ol> <li>ロジックデバイス</li> <li>メモリーデバイス</li> <li>光デバイス</li> </ol></li> <li>半導体デバイスの製造プロセス <ol> <li>半導体レーザ</li> <li>CMOSトランジスタ</li> </ol></li> </ol></li> <li>デバイス製造プロセスにおけるエッチング <ol> <li>エッチングプロセスの種類</li> <li>エッチングにおけるプロセス制御 <ol> <li>高アスペクト比エッチング</li> <li>難エッチング材のエッチング</li> <li>高選択比エッチング</li> </ol></li> <li>エッチングプロセスの課題 <ol> <li>3D &#8211; NANDエッチングの課題</li> <li>ナノワイヤFETエッチングの課題</li> <li>光デバイスエッチングの課題</li> </ol></li> </ol></li> <li>ドライエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ドライエッチング装置の種類及び特徴</li> <li>ドライエッチングの原理</li> <li>ドライエッチングにおけるプロセス制御 <ol> <li>エッチング反応</li> <li>エッチング速度</li> <li>エッチング選択比</li> <li>エッチング形状</li> </ol></li> <li>ドライエッチング損傷 <ol> <li>損傷のメカニズム</li> <li>損傷の評価法</li> <li>損傷の低減策</li> <li>ドライエッチングとウェットエッチングの損傷比較</li> </ol></li> <li>各種材料のドライエッチング及びプロセス制御 <ol> <li>Si</li> <li>SiO2</li> <li>Si3N4</li> <li>GaAs</li> <li>InP</li> <li>GaN</li> </ol></li> </ol></li> <li>ウェットエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ウェットエッチングの原理 <ol> <li>エッチング液の構成と化学反応</li> <li>酸化剤および標準酸化還元電位</li> <li>エッチング液に用いられる各種試薬</li> </ol></li> <li>ウェットエッチングの律速過程 <ol> <li>反応律速と拡散律速</li> <li>半導体結晶構造と面方位依存性</li> </ol></li> <li>ウェットエッチングにおけるプロセス制御 <ol> <li>エッチング反応</li> <li>エッチング速度</li> <li>エッチング選択比</li> <li>エッチング形状</li> </ol></li> <li>各種半導体のウェットエッチング及びプロセス制御 <ol> <li>Si</li> <li>SiO2</li> <li>Si3N4</li> <li>GaAs</li> <li>InP</li> <li>GaN</li> </ol></li> </ol></li> <li>原子層エッチングの基礎と最新技術 <ol> <li>原子層プロセス技術のトレンド</li> <li>原子層エッチングの基礎</li> <li>等方性原子層エッチングの各種手法 <ol> <li>有機金属錯体反応</li> <li>プラズマアシスト熱サイクル</li> </ol></li> <li>異方性原子層エッチングの各種手法 <ol> <li>ハロゲンとイオン照射</li> <li>フルオロカーボンアシスト</li> </ol></li> </ol></li> <li>実プロセスにおけるトラブル事例と対策 <ol> <li>半導体レーザのエッチング工程における凹凸発生</li> </ol></li> <li>今後の課題</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=51004&date=2023-01-27&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 55,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=51004&date=2023-01-27&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-12-01T01:28:46+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="25000">25000円</span> (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=51004&date=2023-01-27&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-12-01T01:28:46+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="50000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="25000" /> <meta itemprop="highPrice" content="50000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=51004&date=2023-01-27&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-12-01T01:28:46+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。</p> <p>「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=51004&date=2023-01-27&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=51004&date=2023-01-27&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=51004&date=2023-01-27&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/51004/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) エッチング ドライエッチング 半導体 Wed, 30 Nov 2022 16:28:33 +0000 admin 51004 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2022-12-08-%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/49917"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 原子層エッチングの原理、反応プロセスとその応用技術</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/49917/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=49917&date=2022-12-08&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/49917/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、原子層エッチングについて取り上げ、原子層エッチングの基礎から、これまでの研究動向、各手法の特徴、各種材料の加工事例まで分かりやすく解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2022-12-08T10:30:00+09:00">2022年12月8日(木) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2022-12-08T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2022-12-08T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2022-12-08T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventCancelled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>原子層エッチングに関連する技術者、製造技術担当者、品質担当者 <ul> <li><span class="caps">MEMS</span></li> <li>半導体</li> <li>微細回路 など</li> </ul></li> <li>半導体デバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーの研究開発・生産製造に携わる方</li> <li>これから原子層エッチングを扱う方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プロセスプラズマの基礎</li> <li>プラズマエッチング一般における表面反応機構の基礎</li> <li>プラズマ支援原子層エッチング (PE-<span class="caps">ALE</span>) の基礎と応用例</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <h4>第1部 原子層エッチングの原理、手法とその開発事例</h4> <p>(2022年12月8日 10:30〜14:30)※途中、昼休みを含む</p> <ol> <li>先端半導体パッケージの背景</li> <li>Fan-Out Wafer-Level Packaging (<span class="caps">FOWLP</span>) <ol> <li>FOWLPの概要と歴史</li> <li>FOWLPの分類と特徴 <ul> <li>Die-first</li> <li><span class="caps">RDL</span>-first</li> <li>InFO</li> </ul></li> <li>FOWLPの課題</li> <li><span class="caps">FOWLP</span> の研究開発動向</li> </ol></li> <li>三次元積層型集積回路 (3D-IC) /シリコン貫通配線 (<span class="caps">TSV</span>) <ol> <li>3D-ICの概要と歴史</li> <li>3D-ICの分類</li> <li>TSV形成技術</li> <li>接合・積層技術</li> <li>その他、3D-IC作製技術</li> </ol></li> <li>先端半導体パッケージング技術の開発動向 <ol> <li>三次元イメージセンサ技術</li> <li><span class="caps">HBM</span> (High-Bandwidth Memory) 技術</li> <li>Chip-on-Wafer-on-Substrate (CoWoS) 技術</li> <li>2.5Dシリコンインターポーザ技術</li> <li>2.3D有機インターポーザ技術</li> <li>Siブリッジ技術</li> <li>チップレット技術</li> <li>ハイブリッド接合技術</li> </ol></li> <li>世界最大の半導体パッケージング技術国際会議ECTC2022を振り返って<br /> - 多様化する実装形態の進化 &#8211; </li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol> <h4>第2部 プラズマを用いた原子層エッチングの表面反応機構と最新技術動向</h4> <p>(2022年12月8日 14:45〜16:15)</p> <p>　本講座では、最先端半導体プロセスにおいて、今後活用がますます広がることが期待される原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術、特に、プラズマ支援ALE (PE-<span class="caps">ALE</span>) 技術を、基礎となる物理化学原理から解説する。具体的には、半導体プロセスで用いられるプラズマ装置の概要、気相反応、および、プラズマ物質相互作用の物理機構を、ALEの観点から、できるだけ分かりやすく解説する。</p> <ol> <li>背景</li> <li>プラズマ科学の基礎</li> <li>代表的なプラズマプロセス装置</li> <li>反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) 概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の基礎として <ol> <li>プラズマ表面相互作用</li> <li>シリコン系材料エッチング反応機構</li> </ol></li> <li>ALDプロセスの概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の逆過程として <ol> <li>熱ALD</li> <li>プラズマ支援ALD</li> </ol></li> <li>ALEプロセスの概要と最新技術動向 <ol> <li>プラズマ支援ALE</li> <li>熱ALE:リガンド交換</li> <li>熱ALE:金属錯体形成</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/23411"><span itemprop="name">篠田 和典</span></a> 氏 <div>株式会社 日立製作所 研究開発グループ 計測・エレクトロニクスイノベーションセンタ ナノプロセス研究部 </div> <div>主任研究員</div> </div> </li> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/42294"><span itemprop="name">浜口 智志</span></a> 氏 <div>大阪大学 大学院 工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/gijutu.co.jp">株式会社 技術情報協会</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=49917&date=2022-12-08&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 55,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=49917&date=2022-12-08&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-12-01T16:10:27+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="45000">45000円</span> (税別) / 49,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=49917&date=2022-12-08&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-12-01T16:10:27+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="50000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="45000" /> <meta itemprop="highPrice" content="50000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=49917&date=2022-12-08&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-12-01T16:10:27+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講割引について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul> <h3>アカデミック割引</h3> <ul> <li>1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)</li> </ul> <p>日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。</p> <ul> <li>学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒</li> <li>病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者</li> <li>文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など</li> <li>公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方</li> </ul> <ul> <li>支払名義が企業の場合は対象外とさせていただきます。</li> <li>企業に属し、大学、公的機関に派遣または出向されている方は対象外とさせていただきます。</li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=49917&date=2022-12-08&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=49917&date=2022-12-08&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=49917&date=2022-12-08&title=%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%80%81%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%A8%E3%81%9D%E3%81%AE%E5%BF%9C%E7%94%A8%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/49917/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) エッチング ドライエッチング 半導体 Mon, 03 Oct 2022 09:44:19 +0000 admin 49917 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2022-11-11-ALE-%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF-%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC-%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0-%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/48003"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ALE (アトミック レイヤー エッチング) 技術の基本原理と最新動向、今後の展望</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～従来エッチングの課題・ALEの基本原理・各種材料での開発事例～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/48003/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=48003&date=2022-11-11&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/48003/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2022-11-11T13:00:00+09:00">2022年11月11日(金) 13時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2022-11-11T13:00:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2022-11-11T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2022-11-11T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマエッチングに関連する技術者、製造技術担当者、品質担当者 <ul> <li><span class="caps">MEMS</span></li> <li>半導体</li> <li>微細回路 など</li> </ul></li> <li>半導体デバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーの研究開発・生産製造に携わる方</li> <li>これからプロセスプラズマを扱う方</li> <li>プロセスガスの開発に携わっている方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体デバイス製造の開発動向と先端課題</li> <li>ドライ/ウェットエッチングの基礎と各種材料のエッチング</li> <li><span class="caps">ALE</span> (アトミック レイヤー エッチング) の原理</li> <li>ALEの各種手法、および様々な材料のALE研究開発事例</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　半導体加工の微細化は原子層レベルに到達しており、3次元構造化と積層化による集積度向上が加速しています。また、ポストスケーリングに向けて、新構造トランジスタや新材料の検討が進んでいます。このため今後の半導体製造では、様々な膜種を原子層レベルの寸法精度でエッチング加工する技術が重要になります。<br /> 　そこで本講座では、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説します。</p> <ol> <li>半導体デバイス製造におけるエッチング <ol> <li>エッチングとは</li> <li>エッチング工程の種類</li> </ol></li> <li>デバイス動向とエッチングの先端課題 <ol> <li>ロジック/メモリーデバイスの動向</li> <li>エッチングの歴史と先端課題</li> </ol></li> <li>エッチングの基礎 <ol> <li>プラズマエッチング</li> <li>ウェットエッチング</li> </ol></li> <li>従来エッチングの課題 <ol> <li>面内分布</li> <li>エッチング損傷</li> </ol></li> <li>アトミック レイヤー エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の基礎 <ol> <li>ALEの原理</li> <li>ALE手法の分類</li> </ol></li> <li>有機金属錯体反応による等方性ALE <ol> <li>La2O3</li> <li>Co</li> </ol></li> <li>プラズマアシスト熱サイクルによる等方性ALE <ol> <li>Si3N4</li> <li>SiO2</li> <li>TiN</li> <li>W</li> </ol></li> <li>ハロゲン化とイオン照射による異方性ALE <ol> <li>Si</li> </ol></li> <li>フルオロカーボンアシストによる異方性ALE <ol> <li>Si3N4</li> </ol></li> <li>今後の課題</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/23411"><span itemprop="name">篠田 和典</span></a> 氏 <div>株式会社 日立製作所 研究開発グループ 計測・エレクトロニクスイノベーションセンタ ナノプロセス研究部 </div> <div>主任研究員</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=48003&date=2022-11-11&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="30400">30400円</span> (税別) / 33,440円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=48003&date=2022-11-11&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-06-11T14:57:03+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="20000">20000円</span> (税別) / 22,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=48003&date=2022-11-11&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-06-11T14:57:03+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="30400" /> <meta itemprop="lowPrice" content="20000" /> <meta itemprop="highPrice" content="30400" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=48003&date=2022-11-11&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-06-11T14:57:03+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名受講割引</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> <li>サイエンス&amp;テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。</li> <li>開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。<br /> ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。<br /> 印刷物は後日お手元に届くことになります。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=48003&date=2022-11-11&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=48003&date=2022-11-11&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=48003&date=2022-11-11&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/48003/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) エッチング ドライエッチング 半導体 Sat, 11 Jun 2022 05:56:07 +0000 admin 48003 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2022-06-16-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/46761"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体製造プロセスにおけるエッチング技術の最新動向とプロセス制御</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/46761/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=46761&date=2022-06-16&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/46761/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ドライ、ウェット、原子層の各エッチング技術の原理から各種材料への応用、三次元化への対応まで最新事例を交えながら解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2022-06-16T10:30:00+09:00">2022年6月16日(木) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2022-06-16T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2022-06-16T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2022-06-16T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>エッチングに関連する技術者、製造技術担当者、品質担当者 <ul> <li><span class="caps">MEMS</span></li> <li>半導体</li> <li>微細回路 など</li> </ul></li> <li>半導体デバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーの研究開発・生産製造に携わる方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体製造プロセスの技術トレンド</li> <li>ドライ、ウェット、および原子層エッチングの基礎知識</li> <li>各種材料のエッチング技術</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　モノのインターネット (IoT) の普及により、データを処理するロジックデバイスやメモリーデバイスには、更なる性能向上と高集積化が求められている。このためデバイス構造の微細化と三次元化が益々進んでおり、エッチング技術にも、多様な膜種の原子レベル加工など、更なる進化が求められている。<br /> 　本講座では、ドライエッチング、ウェットエッチング、および原子層エッチングについて、エッチングの原理から、各種材料への応用、技術動向、そして最先端の開発事例までを、メーカで各種半導体製造のエッチングプロセス開発に携わってきた講師が、実経験を交えて分かり易く解説する。</p> <ol> <li>半導体デバイスのトレンド/構造/製造プロセス <ol> <li>半導体デバイスの技術トレンド</li> <li>半導体デバイスの構造と製造プロセス</li> </ol></li> <li>半導体製造プロセスにおけるエッチング <ol> <li>エッチング工程の種類</li> <li>エッチング工程の課題</li> </ol></li> <li>ドライエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ドライエッチング装置、プロセスの歴史</li> <li>ドライエッチングの原理</li> <li>ドライエッチングの速度、選択性および損傷</li> <li>各種材料のドライエッチング技術</li> </ol></li> <li>ウェットエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ウェットエッチングの原理</li> <li>ウェットエッチングの律速過程</li> <li>ウェットエッチングの選択比および面方位依存性</li> <li>各種材料のウェットエッチング技術</li> </ol></li> <li>原子層エッチングの基礎と最新技術 <ol> <li>原子層エッチングの基礎と分類</li> <li>有機金属錯体反応を用いた熱ALE</li> <li>プラズマと熱サイクルを用いた等方性ALE</li> <li>ハロゲン化とイオン照射を用いた異方性ALE</li> <li>フルオロカーボンアシスト法を用いた異方性ALE</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/23411"><span itemprop="name">篠田 和典</span></a> 氏 <div>株式会社 日立製作所 研究開発グループ 計測・エレクトロニクスイノベーションセンタ ナノプロセス研究部 </div> <div>主任研究員</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/gijutu.co.jp">株式会社 技術情報協会</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=46761&date=2022-06-16&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 55,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=46761&date=2022-06-16&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-04-03T16:04:28+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="45000">45000円</span> (税別) / 49,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=46761&date=2022-06-16&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-04-03T16:04:28+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="50000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="45000" /> <meta itemprop="highPrice" content="50000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/gijutu.co.jp/seminar?id=46761&date=2022-06-16&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-04-03T16:04:28+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講割引について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 45,000円(税別) / 49,500円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 90,000円(税別) / 99,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 135,000円(税別) / 148,500円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul> <h3>アカデミック割引</h3> <ul> <li>1名様あたり 30,000円(税別) / 33,000円(税込)</li> </ul> <p>日本国内に所在しており、以下に該当する方は、アカデミック割引が適用いただけます。</p> <ul> <li>学校教育法にて規定された国、地方公共団体、および学校法人格を有する大学、大学院、短期大学、附属病院、高等専門学校および各種学校の教員、生徒</li> <li>病院などの医療機関・医療関連機関に勤務する医療従事者</li> <li>文部科学省、経済産業省が設置した独立行政法人に勤務する研究者。理化学研究所、産業技術総合研究所など</li> <li>公設試験研究機関。地方公共団体に置かれる試験所、研究センター、技術センターなどの機関で、試験研究および企業支援に関する業務に従事する方</li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=46761&date=2022-06-16&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=46761&date=2022-06-16&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=46761&date=2022-06-16&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/46761/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) エッチング ドライエッチング 半導体 Sun, 03 Apr 2022 07:04:03 +0000 admin 46761 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2022-06-06-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0-ALE-%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/46531"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術 / 原子層エッチング (ALE:アトミックレイヤーエッチング) 技術 / プラズマCVD、原子層堆積 (ALD) プロセス、デジタル・トランスフォーメーション (DX)～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/46531/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=46531&date=2022-06-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/46531/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2022-06-06T10:30:00+09:00">2022年6月6日(月) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2022-06-06T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2022-06-06T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2022-06-06T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマプロセスの基礎知識</li> <li>ドライエッチングの基礎知識</li> <li>原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の基礎知識と最新技術動向</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを詳しく紹介する。<br /> 　関連項目として、プラズマCVDと原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション (DX) の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。</p> <ol> <li>背景</li> <li>プラズマ科学の基礎</li> <li>代表的なプラズマプロセス装置</li> <li>反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) の基礎 <ol> <li>プラズマ表面相互作用</li> <li>表面帯電効果</li> <li>シリコン系材料エッチング反応機構</li> <li>金属・金属酸化物材料エッチング反応機構</li> <li>高アスペクト比 (<span class="caps">HAR</span>) エッチング概要</li> </ol></li> <li>プラズマCVD概要:原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) の基礎として</li> <li>ALDプロセスの概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の逆過程として <ol> <li>熱ALD</li> <li>プラズマ支援 (PA-) <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALEプロセスの概要と最新技術動向 <ol> <li>PA &#8211; <span class="caps">ALE</span></li> <li>熱ALE:リガンド交換</li> <li>熱ALE:金属錯体形成</li> </ol></li> <li>半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション (DX) <ol> <li>プロセス数値シミュレーションと <acronym title="Technical Computer Aided Design"><span class="caps">TCAD</span></acronym></li> <li>仮想計測 (VM) とプロセス装置制御</li> <li>マテリアルズ・インフォマティクス</li> <li>プロセス開発における機械学習 (ML) ・AIの活用</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/42294"><span itemprop="name">浜口 智志</span></a> 氏 <div>大阪大学 大学院 工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=46531&date=2022-06-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="34200">34200円</span> (税別) / 37,620円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=46531&date=2022-06-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-05-11T16:57:41+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,750円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=46531&date=2022-06-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-05-11T16:57:41+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="34200" /> <meta itemprop="lowPrice" content="22500" /> <meta itemprop="highPrice" content="34200" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=46531&date=2022-06-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-05-11T16:57:41+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名受講割引</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,200円(税別) / 37,620円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> <li>サイエンス&amp;テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=46531&date=2022-06-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=46531&date=2022-06-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=46531&date=2022-06-06&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/46531/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ 半導体 Thu, 17 Mar 2022 10:07:37 +0000 admin 46531 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2022-04-22-%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E5%87%A6%E7%90%86%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E8%96%84%E8%86%9C%E5%A0%86%E7%A9%8D%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93-%E5%85%A5%E9%96%80 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/46364"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> プラズマ処理の基礎・薄膜堆積と半導体ドライエッチング技術 入門</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～プラズマの基礎から、プラズマCVD/エッチングまで～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/428" rel="tag" title="プラズマCVD">プラズマCVD</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/588" rel="tag" title="プラズマ表面処理">プラズマ表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/46364/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=46364&date=2022-04-22&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E5%87%A6%E7%90%86%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E8%96%84%E8%86%9C%E5%A0%86%E7%A9%8D%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93+%E5%85%A5%E9%96%80">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/46364/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられる非平衡プラズマの基礎から解説し、プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置構造、処理条件の最適化法などについて説明いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2022-04-22T13:00:00+09:00">2022年4月22日(金) 13時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2022-04-22T13:00:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2022-04-22T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2022-04-22T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>非平衡プラズマの特徴と基礎</li> <li>プラズマCVDの原理とアモルファスSi製膜の膜質制御の考え方</li> <li>ドライエッチングの原理と種々のエッチング技術など</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　プラズマという言葉は一般化し、現在では産業の広い分野で日常的に使われている。しかし、プラズマを道具として利用するためには、その物理的な考え方、解析の方法を理解することが重要である。<br /> 　本講演では、まず薄膜堆積やドライエッチングなどの半導体プロセスに用いられる非平衡プラズマの基礎を学ぶことでその特徴を理解する。後半ではそれらを踏まえて、プラズマCVDやドライエッチングの原理、装置構造、処理条件の最適化法などについて説明する。</p> <ol> <li>プラズマの基礎 <ol> <li>プラズマ中の衝突現象とその定量的な取り扱い</li> <li>衝突反応の種類と反応速度定数の考え方</li> <li>Boltzmann方程式</li> <li>Boltzmann方程式から得られるプラズマの基礎方程式 <ul> <li>拡散方程式</li> <li>連続の式など</li> </ul></li> <li>プラズマの生成 (直流放電プラズマ)</li> <li>プラズマの生成 (容量性結合RF放電プラズマ)</li> <li>プラズマの生成 (誘導性結合RF放電プラズマ)</li> <li>プラズマの生成 (大気圧低温プラズマ)</li> </ol></li> <li>プラズマCVD <ol> <li>プラズマCVDの特徴と原理 (アモルファスSi薄膜を中心に)</li> <li>代表的なプラズマCVD装置</li> <li>製膜パラメータの考え方</li> <li>アモルファスSi堆積条件と高品質化</li> </ol></li> <li>プラズマエッチング <ol> <li>プラズマエッチングの特徴と原理 <ul> <li>等方性</li> <li>異方性</li> </ul></li> <li>代表的なエッチング装置</li> <li>エッチングダメージ</li> <li>終点検出の原理</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/46363"><span itemprop="name">市川 幸美</span></a> 氏 <div>東京電機大学 大学院 工学研究科</div> <div>非常勤講師</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=46364&date=2022-04-22&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E5%87%A6%E7%90%86%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E8%96%84%E8%86%9C%E5%A0%86%E7%A9%8D%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93+%E5%85%A5%E9%96%80">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="34200">34200円</span> (税別) / 37,620円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=46364&date=2022-04-22&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E5%87%A6%E7%90%86%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E8%96%84%E8%86%9C%E5%A0%86%E7%A9%8D%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93+%E5%85%A5%E9%96%80" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-03-09T13:29:26+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,750円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=46364&date=2022-04-22&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E5%87%A6%E7%90%86%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E8%96%84%E8%86%9C%E5%A0%86%E7%A9%8D%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93+%E5%85%A5%E9%96%80" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-03-09T13:29:26+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="34200" /> <meta itemprop="lowPrice" content="22500" /> <meta itemprop="highPrice" content="34200" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=46364&date=2022-04-22&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E5%87%A6%E7%90%86%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E8%96%84%E8%86%9C%E5%A0%86%E7%A9%8D%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93+%E5%85%A5%E9%96%80" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-03-09T13:29:26+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名受講割引</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 34,200円(税別) / 37,620円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> <li>サイエンス&amp;テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。</li> <li>開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。<br /> ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。<br /> 印刷物は後日お手元に届くことになります。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=46364&date=2022-04-22&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E5%87%A6%E7%90%86%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E8%96%84%E8%86%9C%E5%A0%86%E7%A9%8D%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93+%E5%85%A5%E9%96%80">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=46364&date=2022-04-22&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E5%87%A6%E7%90%86%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E8%96%84%E8%86%9C%E5%A0%86%E7%A9%8D%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93+%E5%85%A5%E9%96%80">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=46364&date=2022-04-22&title=%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E5%87%A6%E7%90%86%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%83%BB%E8%96%84%E8%86%9C%E5%A0%86%E7%A9%8D%E3%81%A8%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93+%E5%85%A5%E9%96%80">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/46364/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ プラズマCVD プラズマ表面処理 半導体 Tue, 08 Mar 2022 08:01:26 +0000 admin 46364 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2022-02-25-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4-%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88-%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/45397"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体 (ドライ/ウェット) エッチングの基礎とプロセス制御・最新技術</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/45397/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=45397&date=2022-02-25&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/45397/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ドライエッチングおよびウェットエッチングについて、エッチング反応の原理から装置、微細加工技術のトレンド、シリコン系材料やIII-V族化合物半導体のエッチング技術、そして最先端の原子層エッチング技術までを、メーカで化合物半導体光デバイスの製造プロセスやシリコンLSI向けエッチング装置の開発に携わってきた講師が、実経験を交えながら分かりやすく解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2022-02-25T10:30:00+09:00">2022年2月25日(金) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2022-02-25T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2022-02-25T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2022-02-25T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマエッチングに関連する技術者、製造技術担当者、品質担当者 <ul> <li><span class="caps">MEMS</span></li> <li>半導体</li> <li>微細回路 など</li> </ul></li> <li>半導体デバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーの研究開発・生産製造に携わる方</li> <li>これからプロセスプラズマを扱う方</li> <li>プロセスガスの開発に携わっている方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体デバイス・製造プロセスの技術トレンド</li> <li>ドライエッチング、ウェットエッチング、原子層エッチングの基礎知識</li> <li>各種材料のエッチング反応・エッチングプロセス制御の考え方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　半導体集積回路の開発や製造において、エッチングは必要不可欠な技術である。モノのインターネット (IoT) の普及により、データ処理を担う半導体集積回路の高密度集積化が益々進んでいる。加工寸法の微細化は原子層レベルに到達し、また、三次元構造化と積層化による集積度向上が加速している。このような、微細な三次元構造をもつ今後の半導体デバイスでは、原子層レベルの制御性でエッチングする技術が求められる。また,微細化限界後のポストスケーリング時代に向けて、新トランジスタ構造や新チャネル材料が検討されており、III &#8211; V族化合物半導体など様々な新材料の微細加工技術が鍵を握る。<br /> 　本講座では、ドライエッチングおよびウェットエッチングについて、エッチング反応の原理から装置、微細加工技術のトレンド、シリコン系材料やIII &#8211; V族化合物半導体のエッチング技術,そして最先端の原子層エッチング技術までを、メーカで化合物半導体光デバイスの製造プロセスやシリコンLSI向けエッチング装置の開発に携わってきた講師が、実経験を交えながら分かり易く解説する。</p> <ol> <li>半導体デバイスのトレンド/構造/製造プロセス <ol> <li>半導体デバイスのトレンド <ol> <li>ロジックデバイス</li> <li>メモリーデバイス</li> <li>光デバイス</li> </ol></li> <li>半導体デバイスの構造 <ol> <li>ロジックデバイス</li> <li>メモリーデバイス</li> <li>光デバイス</li> </ol></li> <li>半導体デバイスの製造プロセス <ol> <li>半導体レーザ</li> <li>CMOSトランジスタ</li> </ol></li> </ol></li> <li>デバイス製造プロセスにおけるエッチング <ol> <li>エッチングプロセスの種類</li> <li>エッチングにおけるプロセス制御 <ol> <li>高アスペクト比エッチング</li> <li>難エッチング材のエッチング</li> <li>高選択比エッチング</li> </ol></li> <li>エッチングプロセスの課題 <ol> <li>3D &#8211; NANDエッチングの課題</li> <li>ナノワイヤFETエッチングの課題</li> <li>光デバイスエッチングの課題</li> </ol></li> </ol></li> <li>ドライエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ドライエッチング装置の種類及び特徴</li> <li>ドライエッチングの原理</li> <li>ドライエッチングにおけるプロセス制御 <ol> <li>エッチング反応</li> <li>エッチング速度</li> <li>エッチング選択比</li> <li>エッチング形状</li> </ol></li> <li>ドライエッチング損傷 <ol> <li>損傷のメカニズム</li> <li>損傷の評価法</li> <li>損傷の低減策</li> <li>ドライエッチングとウェットエッチングの損傷比較</li> </ol></li> <li>各種材料のドライエッチング及びプロセス制御 <ol> <li>Si</li> <li>SiO2</li> <li>Si3N4</li> <li>GaAs</li> <li>InP</li> <li>GaN</li> </ol></li> </ol></li> <li>ウェットエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ウェットエッチングの原理 <ol> <li>エッチング液の構成と化学反応</li> <li>酸化剤および標準酸化還元電位</li> <li>エッチング液に用いられる各種試薬</li> </ol></li> <li>ウェットエッチングの律速過程 <ol> <li>反応律速と拡散律速</li> <li>半導体結晶構造と面方位依存性</li> </ol></li> <li>ウェットエッチングにおけるプロセス制御 <ol> <li>エッチング反応</li> <li>エッチング速度</li> <li>エッチング選択比</li> <li>エッチング形状</li> </ol></li> <li>各種半導体のウェットエッチング及びプロセス制御 <ol> <li>Si</li> <li>SiO2</li> <li>Si3N4</li> <li>GaAs</li> <li>InP</li> <li>GaN</li> </ol></li> </ol></li> <li>原子層エッチングの基礎と最新技術 <ol> <li>原子層プロセス技術のトレンド</li> <li>原子層エッチングの基礎</li> <li>等方性原子層エッチングの各種手法 <ol> <li>有機金属錯体反応</li> <li>プラズマアシスト熱サイクル</li> </ol></li> <li>異方性原子層エッチングの各種手法 <ol> <li>ハロゲンとイオン照射</li> <li>フルオロカーボンアシスト</li> </ol></li> </ol></li> <li>実プロセスにおけるトラブル事例と対策 <ol> <li>半導体レーザのエッチング工程における凹凸発生</li> </ol></li> <li>今後の課題</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=45397&date=2022-02-25&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 55,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=45397&date=2022-02-25&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-01-13T10:49:24+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="25000">25000円</span> (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=45397&date=2022-02-25&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-01-13T10:49:24+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="50000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="25000" /> <meta itemprop="highPrice" content="50000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=45397&date=2022-02-25&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2022-01-13T10:49:24+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。</p> <p>「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=45397&date=2022-02-25&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=45397&date=2022-02-25&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=45397&date=2022-02-25&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/45397/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) エッチング ドライエッチング 半導体 Thu, 13 Jan 2022 01:49:24 +0000 admin 45397 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2021-12-20-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/44359"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体ドライエッチングの基礎と最新技術</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング (PA-ALE) 、熱原子層エッチング (thermal ALE) など～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/44359/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=44359&date=2021-12-20&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/44359/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2021-12-20T10:30:00+09:00">2021年12月20日(月) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2021-12-20T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2021-12-20T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2021-12-20T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>エッチング用プラズマ装置の基礎</li> <li>プラズマエッチングにおける物質表面化学反応の基礎</li> <li>反応性イオンエッチング、プラズマ支援原子層エッチング (PA-<span class="caps">ALE</span>) 、熱原子層エッチング (thermal <span class="caps">ALE</span>) の特徴と応用</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説する。具体的には、ドライエッチングに用いられるプラズマ装置、装置内のプラズマの構造やダイナミクス、気相反応、および、反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) から、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) にわたるドライエッチング技術に関して、プラズマ物質相互作用の物理機構から最新技術動向まで、詳しく紹介する。<br /> 　関連項目として、プラズマCVDと原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション (DX) の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。</p> <ol> <li>背景</li> <li>プラズマ科学の基礎</li> <li>代表的なプラズマプロセス装置 <ol> <li>容量結合型プラズマ (<span class="caps">CCP</span>) 装置</li> <li>誘導結合型プラズマ (<span class="caps">ICP</span>) 装置</li> </ol></li> <li>反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) の基礎 <ol> <li>プラズマ表面相互作用</li> <li>表面帯電効果</li> <li>シリコン系材料エッチング反応機構</li> <li>金属・金属酸化物材料エッチング反応機構</li> <li>高アスペクト比 (<span class="caps">HAR</span>) エッチング概要</li> </ol></li> <li>プラズマCVD概要:原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) の基礎として</li> <li>ALDプロセスの概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の逆過程として <ol> <li>熱ALD</li> <li>プラズマ支援 (PA &#8211; ) <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALEプロセスの概要と最新技術動向 <ol> <li>PA &#8211; <span class="caps">ALE</span></li> <li>熱ALE:リガンド交換</li> <li>熱ALE:金属錯体形成</li> </ol></li> <li>半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション (DX)</li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=44359&date=2021-12-20&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 55,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=44359&date=2021-12-20&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-01-30T01:27:15+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="25000">25000円</span> (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=44359&date=2021-12-20&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-01-30T01:27:15+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="50000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="25000" /> <meta itemprop="highPrice" content="50000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=44359&date=2021-12-20&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-01-30T01:27:15+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。</p> <p>「案内の希望」をご選択いただいた場合、1名様 40,000円(税別) / 44,000円(税込) で受講いただけます。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=44359&date=2021-12-20&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=44359&date=2021-12-20&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=44359&date=2021-12-20&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/44359/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ 半導体 Fri, 05 Nov 2021 03:56:14 +0000 admin 44359 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2021-11-30-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/43608"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体製造におけるエッチング技術の基礎知識と最新動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～ドライ/ウェットエッチングの基礎とプロセス制御、原子層エッチング (ALE) の最前線～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/43608/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=43608&date=2021-11-30&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/43608/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2021-11-30T10:30:00+09:00">2021年11月30日(火) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2021-11-30T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2021-11-30T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2021-11-30T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体デバイス/製造の技術者</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体デバイス製造の開発動向と先端課題</li> <li>ドライ/ウェットエッチングの基礎と各種材料のエッチング</li> <li>原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の原理と各種手法</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　半導体集積回路の微細化・三次元化は益々進み、現在は原子層レベルの制御性が求められている。本講演では、半導体集積回路の製造に不可欠なエッチング技術について、ドライエッチングおよびウェットエッチングの原理から、装置、技術潮流、各種材料のエッチング技術、そして原子層エッチングの最前線までを、メーカで光デバイスのエッチングプロセスやシリコンLSI向け先端エッチング装置の開発に携わってきた講師が、実経験を交えながら分かりやすく解説する。</p> <ol> <li>半導体デバイスのトレンド/構造/製造プロセス <ol> <li>半導体デバイスのトレンド</li> <li>半導体デバイスの構造</li> <li>半導体デバイスの製造プロセス</li> </ol></li> <li>半導体製造プロセスにおけるエッチング <ol> <li>エッチングプロセスの種類</li> <li>エッチングプロセス技術</li> <li>エッチングプロセスの課題</li> </ol></li> <li>ドライエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ドライエッチング装置の種類及び特徴</li> <li>ドライエッチングプロセスの特徴・要点</li> <li>ドライエッチングの原理</li> <li>ドライエッチングにおけるプロセス制御の考え方</li> <li>ドライエッチング損傷</li> <li>各種材料のドライエッチング技術及びプロセス制御のポイント <ul> <li>Si</li> <li>SiO2</li> <li>Si3N4</li> <li>GaAs</li> <li>InP</li> <li>GaN</li> </ul></li> </ol></li> <li>ウェットエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ウェットエッチングの原理</li> <li>ウェットエッチングの律速過程</li> <li>ウェットエッチングにおけるプロセス制御の考え方</li> <li>各種半導体のウェットエッチング技術及びプロセス制御のポイント <ul> <li>Si</li> <li>SiO2</li> <li>Si3N4</li> <li>GaAs</li> <li>InP</li> <li>GaN</li> </ul></li> </ol></li> <li>原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の基礎と最新技術 <ol> <li>原子層プロセス技術のトレンド</li> <li>原子層エッチングの基礎と分類</li> <li>有機金属錯体反応を用いた熱ALE</li> <li>プラズマと熱サイクルを用いた等方性ALE</li> <li>ハロゲン化とイオン照射を用いた異方性ALE</li> <li>フルオロカーボンアシスト法を用いた異方性ALE</li> </ol></li> <li>実プロセスにおけるエッチングの課題・トラブル事例と対策</li> <li>今後の課題</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/23411"><span itemprop="name">篠田 和典</span></a> 氏 <div>株式会社 日立製作所 研究開発グループ 計測・エレクトロニクスイノベーションセンタ ナノプロセス研究部 </div> <div>主任研究員</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=43608&date=2021-11-30&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="30400">30400円</span> (税別) / 33,440円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=43608&date=2021-11-30&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2021-09-14T16:56:32+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,750円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=43608&date=2021-11-30&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2021-09-14T16:56:32+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="30400" /> <meta itemprop="lowPrice" content="22500" /> <meta itemprop="highPrice" content="30400" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=43608&date=2021-11-30&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2021-09-14T16:56:32+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名受講割引</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> <li>サイエンス&amp;テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。</li> <li>開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。<br /> ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。<br /> 印刷物は後日お手元に届くことになります。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=43608&date=2021-11-30&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=43608&date=2021-11-30&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=43608&date=2021-11-30&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93%E8%A3%BD%E9%80%A0%E3%81%AB%E3%81%8A%E3%81%91%E3%82%8B%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E7%9F%A5%E8%AD%98%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/43608/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) エッチング ドライエッチング 半導体 Tue, 14 Sep 2021 07:54:55 +0000 admin 43608 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2021-08-30-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0-ALE-%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/42295"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ドライエッチング技術の基礎と原子層エッチング (ALE) の最新技術動向</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術 / 原子層エッチング (ALE:アトミックレイヤーエッチング) 技術 / プラズマCVD、原子層堆積 (ALD) プロセス、デジタル・トランスフォーメーション (DX)～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/297" rel="tag" title="プラズマ">プラズマ</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/42295/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=42295&date=2021-08-30&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/42295/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2021-08-30T10:30:00+09:00">2021年8月30日(月) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2021-08-30T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2021-08-30T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2021-08-30T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマプロセスの基礎知識</li> <li>ドライエッチングの基礎知識</li> <li>原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の基礎知識と最新技術動向</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　本講座では、最先端半導体プロセスに用いられるドライエッチング技術全体を、基礎となる物理化学原理から解説し、特に、近年注目を集める原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) 技術について、表面反応機構から最新技術動向までを詳しく紹介する。<br /> 　関連項目として、プラズマCVDと原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) プロセス、および、現在進行しつつあるプロセス開発におけるデジタル・トランスフォーメーション (DX) の最新研究動向についても、概要を紹介する。プラズマプロセスの初心者でも聴講できる講義内容を目指す。</p> <ol> <li>背景</li> <li>プラズマ科学の基礎</li> <li>代表的なプラズマプロセス装置</li> <li>反応性イオンエッチング (<span class="caps">RIE</span>) の基礎 <ol> <li>プラズマ表面相互作用</li> <li>表面帯電効果</li> <li>シリコン系材料エッチング反応機構</li> <li>金属・金属酸化物材料エッチング反応機構</li> <li>高アスペクト比 (<span class="caps">HAR</span>) エッチング概要</li> </ol></li> <li>プラズマCVD概要:原子層堆積 (<span class="caps">ALD</span>) の基礎として</li> <li>ALDプロセスの概要:原子層エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の逆過程として <ol> <li>熱ALD</li> <li>プラズマ支援 (PA-) <span class="caps">ALD</span></li> </ol></li> <li>ALEプロセスの概要と最新技術動向 <ol> <li>PA &#8211; <span class="caps">ALE</span></li> <li>熱ALE:リガンド交換</li> <li>熱ALE:金属錯体形成</li> </ol></li> <li>半導体プロセス分野のデジタル・トランスフォーメーション (DX) <ol> <li>プロセス数値シミュレーションと <acronym title="Technical Computer Aided Design"><span class="caps">TCAD</span></acronym></li> <li>仮想計測 (VM) とプロセス装置制御</li> <li>マテリアルズ・インフォマティクス</li> <li>プロセス開発における機械学習 (ML) ・AIの活用</li> </ol></li> <li>まとめ</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/42294"><span itemprop="name">浜口 智志</span></a> 氏 <div>大阪大学 大学院 工学研究科</div> <div>教授</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=42295&date=2021-08-30&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="30400">30400円</span> (税別) / 33,440円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=42295&date=2021-08-30&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2021-06-08T16:21:33+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="22500">22500円</span> (税別) / 24,750円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=42295&date=2021-08-30&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2021-06-08T16:21:33+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="30400" /> <meta itemprop="lowPrice" content="22500" /> <meta itemprop="highPrice" content="30400" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=42295&date=2021-08-30&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91" /> <meta itemprop="validFrom" content="2021-06-08T16:21:33+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名受講割引</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> <li>サイエンス&amp;テクノロジー社の「2名同時申込みで1名分無料」価格を適用しています。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> と <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/115002262083">テストミーティングへの参加手順</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">テストミーティング</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は、PDFファイルをダウンロードいただきます。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>ご視聴は、お申込み者様ご自身での視聴のみに限らせていただきます。不特定多数でご覧いただくことはご遠慮下さい。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=42295&date=2021-08-30&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=42295&date=2021-08-30&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=42295&date=2021-08-30&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E5%8E%9F%E5%AD%90%E5%B1%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%28ALE%29+%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/42295/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> エッチング ドライエッチング プラズマ 半導体 Tue, 08 Jun 2021 07:20:43 +0000 admin 42295 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2020-12-22-%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4-%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88-%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/38545"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> Zoomを使ったライブ配信セミナー</div> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> 半導体 (ドライ/ウェット) エッチングの基礎とプロセス制御・最新技術</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OnlineEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="オンライン 開催" /> オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/38545/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=38545&date=2020-12-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/38545/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ドライエッチングおよびウェットエッチングについて、エッチング反応の原理から装置、微細加工技術のトレンド、シリコン系材料やIII-V族化合物半導体のエッチング技術、そして最先端の原子層エッチング技術までを、メーカで化合物半導体光デバイスの製造プロセスやシリコンLSI向けエッチング装置の開発に携わってきた講師が、実経験を交えながら分かりやすく解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2020-12-22T10:00:00+09:00">2020年12月22日(火) 10時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2020-12-22T10:00:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2020-12-22T16:00:00+09:00">16時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2020-12-22T16:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマエッチングに関連する技術者、製造技術担当者、品質担当者 <ul> <li><span class="caps">MEMS</span></li> <li>半導体</li> <li>微細回路 など</li> </ul></li> <li>半導体デバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーの研究開発・生産製造に携わる方</li> <li>これからプロセスプラズマを扱う方</li> <li>プロセスガスの開発に携わっている方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体デバイス・製造プロセスの技術トレンド</li> <li>ドライエッチング、ウェットエッチング、原子層エッチングの基礎知識</li> <li>各種材料のエッチング反応・エッチングプロセス制御の考え方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　半導体集積回路の開発や製造において、エッチングは必要不可欠な技術である。モノのインターネット (IoT) の普及により、データ処理を担う半導体集積回路の高密度集積化が益々進んでいる。加工寸法の微細化は原子層レベルに到達し、また、三次元構造化と積層化による集積度向上が加速している。このような、微細な三次元構造をもつ今後の半導体デバイスでは、原子層レベルの制御性でエッチングする技術が求められる。また、微細化限界後のポストスケーリング時代に向けて、新トランジスタ構造や新チャネル材料が検討されており、III-V族化合物半導体など様々な新材料の微細加工技術が鍵を握る。<br /> 　本講座では、ドライエッチングおよびウェットエッチングについて、エッチング反応の原理から装置、微細加工技術のトレンド、シリコン系材料やIII-V族化合物半導体のエッチング技術、そして最先端の原子層エッチング技術までを、メーカで化合物半導体光デバイスの製造プロセスやシリコンLSI向けエッチング装置の開発に携わってきた講師が、実経験を交えながら分かり易く解説する。</p> <ol> <li>半導体デバイスのトレンド/構造/製造プロセス <ol> <li>半導体デバイスのトレンド <ol> <li>ロジックデバイス</li> <li>メモリーデバイス</li> <li>光デバイス</li> </ol></li> <li>半導体デバイスの構造 <ol> <li>ロジックデバイス</li> <li>メモリーデバイス</li> <li>光デバイス</li> </ol></li> <li>半導体デバイスの製造プロセス <ol> <li>半導体レーザ</li> <li>CMOSトランジスタ</li> </ol></li> </ol></li> <li>デバイス製造プロセスにおけるエッチング <ol> <li>エッチングプロセスの種類</li> <li>エッチングにおけるプロセス制御 <ol> <li>高アスペクト比エッチング</li> <li>難エッチング材のエッチング</li> <li>高選択比エッチング</li> </ol></li> <li>エッチングプロセスの課題 <ol> <li>3D-NANDエッチングの課題</li> <li>ナノワイヤFETエッチングの課題</li> <li>光デバイスエッチングの課題</li> </ol></li> </ol></li> <li>ドライエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ドライエッチング装置の種類及び特徴</li> <li>ドライエッチングの原理</li> <li>ドライエッチングにおけるプロセス制御 <ol> <li>エッチング反応</li> <li>エッチング速度</li> <li>エッチング選択比</li> <li>エッチング形状</li> </ol></li> <li>ドライマエッチング損傷 <ol> <li>損傷のメカニズム</li> <li>損傷の評価法</li> <li>損傷の低減策</li> <li>ドライエッチングとウェットエッチングの損傷比較</li> </ol></li> <li>各種材料のドライエッチング及びプロセス制御 <ol> <li>Si</li> <li>SiO2</li> <li>Si3N4</li> <li>GaAs</li> <li>InP</li> <li>GaN</li> </ol></li> </ol></li> <li>ウェットエッチングの基礎及びプロセス技術 <ol> <li>ウェットエッチングの原理 <ol> <li>エッチング液の構成と化学反応</li> <li>酸化剤および標準酸化還元電位</li> <li>エッチング液に用いられる各種試薬</li> </ol></li> <li>ウェットエッチングの律速過程 <ol> <li>反応律速と拡散律速</li> <li>半導体結晶構造と面方位依存性</li> </ol></li> <li>ウェットエッチングにおけるプロセス制御 <ol> <li>エッチング反応</li> <li>エッチング速度</li> <li>エッチング選択比</li> <li>エッチング形状</li> </ol></li> <li>各種半導体のウェットエッチング及びプロセス制御 <ol> <li>Si</li> <li>SiO2</li> <li>Si3N4</li> <li>GaAs</li> <li>InP</li> <li>GaN</li> </ol></li> </ol></li> <li>原子層エッチングの基礎と最新技術 <ol> <li>原子層プロセス技術のトレンド</li> <li>原子層エッチングの基礎</li> <li>等方性原子層エッチングの各種手法 <ol> <li>有機金属錯体反応</li> <li>プラズマアシスト熱サイクル</li> </ol></li> <li>異方性原子層エッチングの各種手法 <ol> <li>ハロゲンとイオン照射</li> <li>フルオロカーボンアシスト</li> </ol></li> </ol></li> <li>実プロセスにおけるトラブル事例と対策 <ol> <li>半導体レーザのエッチング工程における凹凸発生</li> </ol></li> <li>今後の課題</li> <ul> <li>質疑応答</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/rdsc.co.jp">株式会社 R&amp;D支援センター</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=38545&date=2020-12-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="50000">50000円</span> (税別) / 55,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=38545&date=2020-12-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-10-12T01:07:47+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="25000">25000円</span> (税別) / 27,500円 (税込) (案内をご希望の場合に限ります) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=38545&date=2020-12-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-10-12T01:07:47+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="50000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="25000" /> <meta itemprop="highPrice" content="50000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/rdsc.co.jp/seminar?id=38545&date=2020-12-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-10-12T01:07:47+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>案内割引・複数名同時申込割引について</h3> <p>R&amp;D支援センターからの案内登録をご希望の方は、割引特典を受けられます。<br /> 案内および割引をご希望される方は、お申込みの際、「案内の希望 (割引適用)」の欄から案内方法をご選択ください。<br /> 複数名で同時に申込いただいた場合、1名様につき 25,000円(税別) / 27,500円(税込) で受講いただけます。</p> <ul> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望する方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 75,000円(税別) / 82,500円(税込)</li> </ul></li> <li>R&amp;D支援センターからの案内を希望しない方 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 50,000円(税別) / 55,000円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 100,000円(税別) / 110,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 150,000円(税別) / 165,000円(税込)</li> </ul></li> </ul> <h3>ライブ配信セミナーについて</h3> <ul> <li>本セミナーは「Zoom」を使ったライブ配信セミナーとなります。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://support.zoom.us/hc/ja/articles/201362023">視聴環境</a> をご確認いただき、 <a href="https://zoom.us/test">ミーティングテスト</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>開催日前に、接続先URL、ミーティングID​、パスワードを別途ご連絡いたします。</li> <li>セミナー開催日時に、視聴サイトにログインしていただき、ご視聴ください。</li> <li>セミナー資料は郵送にて前日までにお送りいたします。電子媒体での配布はございません。</li> <li>開催まで4営業日を過ぎたお申込みの場合、セミナー資料の到着が、開講日に間に合わない可能性がありますこと、ご了承下さい。<br /> ライブ配信の画面上でスライド資料は表示されますので、セミナー視聴には差し支えございません。<br /> 印刷物は後日お手元に届くことになります。</li> <li>ご自宅への書類送付を希望の方は、通信欄にご住所・宛先などをご記入ください。</li> <li>タブレットやスマートフォンでも受講可能ですが、機能が制限される場合があります。</li> <li>講義の録音、録画などの行為や、権利者の許可なくテキスト資料、講演データの複製、転用、販売などの二次利用することを固く禁じます。</li> <li>Zoomのグループにパスワードを設定しています。お申込者以外の参加を防ぐため、パスワードを外部に漏洩しないでください。<br /> 万が一、部外者が侵入した場合は管理者側で部外者の退出あるいはセミナーを終了いたします。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=38545&date=2020-12-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=38545&date=2020-12-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=38545&date=2020-12-22&title=%E5%8D%8A%E5%B0%8E%E4%BD%93+%28%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%2F%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%83%E3%83%88%29+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%AD%E3%82%BB%E3%82%B9%E5%88%B6%E5%BE%A1%E3%83%BB%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/38545/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) エッチング ドライエッチング 半導体 Sun, 11 Oct 2020 16:06:35 +0000 admin 38545 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2020-11-16-ALE-%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF-%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC-%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0-%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/37889"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> アーカイブ配信対応セミナー</div> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ALE (アトミック レイヤー エッチング) 技術の基本原理と最新動向、今後の展望</h1> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="MixedEventAttendanceMode"> <span itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/VirtualLocation"> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/" /> <meta itemprop="name" content="会場・オンライン 開催" /> 会場・オンライン 開催 </span> </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/1796" rel="tag" title="ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)">ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法)</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1195" rel="tag" title="半導体">半導体</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/37889/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=37889&date=2020-11-16&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/37889/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field"> <p>アーカイブ配信は2020年11月24日ごろ配信開始予定 (視聴期間:配信後10日間)</p></div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2020-11-16T13:00:00+09:00">2020年11月16日(月) 13時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2020-11-16T13:00:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2020-11-16T16:30:00+09:00">16時30分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2020-11-16T16:30:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventScheduled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-target-user"> <h3 class="field-label">受講対象者</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>プラズマエッチングに関連する技術者、製造技術担当者、品質担当者 <ul> <li><span class="caps">MEMS</span></li> <li>半導体</li> <li>微細回路 など</li> </ul></li> <li>半導体デバイスメーカー、装置メーカー、材料メーカーの研究開発・生産製造に携わる方</li> <li>これからプロセスプラズマを扱う方</li> <li>プロセスガスの開発に携わっている方</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>半導体デバイス製造の開発動向と先端課題</li> <li>ドライ/ウェットエッチングの基礎と各種材料のエッチング</li> <li><span class="caps">ALE</span> (アトミック レイヤー エッチング) の原理</li> <li>ALEの各種手法、および様々な材料のALE研究開発事例</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　半導体加工の微細化は原子層レベルに到達しており、3次元構造化と積層化による集積度向上が加速しています。また、ポストスケーリングに向けて、新構造トランジスタや新材料の検討が進んでいます。このため今後の半導体製造では、様々な膜種を原子層レベルの寸法精度でエッチング加工する技術が重要になります。<br /> 　そこで本講座では、半導体デバイス製造の動向を紹介した後、従来のドライ/ウェットエッチングの基礎と課題、ALEの基本原理、そして各種材料のALE開発事例までを、メーカの研究開発現場にいる講師が、実経験を交えて分かりやすく解説します。</p> <ol> <li>半導体デバイス製造におけるエッチング <ol> <li>エッチングとは</li> <li>エッチング工程の種類</li> </ol></li> <li>デバイス動向とエッチングの先端課題 <ol> <li>ロジック/メモリーデバイスの動向</li> <li>エッチングの歴史と先端課題</li> </ol></li> <li>エッチングの基礎 <ol> <li>プラズマエッチング</li> <li>ウェットエッチング</li> </ol></li> <li>従来エッチングの課題 <ol> <li>面内分布</li> <li>エッチング損傷</li> </ol></li> <li>アトミック レイヤー エッチング (<span class="caps">ALE</span>) の基礎 <ol> <li>ALEの原理</li> <li>ALE手法の分類</li> </ol></li> <li>有機金属錯体反応による等方性ALE <ol> <li>La2O3</li> <li>Co</li> </ol></li> <li>プラズマアシスト熱サイクルによる等方性ALE <ol> <li>Si3N4</li> <li>SiO2</li> <li>TiN</li> <li>W</li> </ol></li> <li>ハロゲン化とイオン照射による異方性ALE <ol> <li>Si</li> </ol></li> <li>フルオロカーボンアシストによる異方性ALE <ol> <li>Si3N4</li> </ol></li> <li>今後の課題</li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/23411"><span itemprop="name">篠田 和典</span></a> 氏 <div>株式会社 日立製作所 研究開発グループ 計測・エレクトロニクスイノベーションセンタ ナノプロセス研究部 </div> <div>主任研究員</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/Place"> <a href="/place/%E5%93%81%E5%B7%9D%E5%8C%BA%E7%AB%8B%E7%B7%8F%E5%90%88%E5%8C%BA%E6%B0%91%E4%BC%9A%E9%A4%A8-%E3%81%8D%E3%82%85%E3%82%8A%E3%81%82%E3%82%93">品川区立総合区民会館 きゅりあん</a> <p>5F 第1講習室</p> <meta itemprop="name" content="品川区立総合区民会館 きゅりあん" /> <meta itemprop="telephone" content="03-5479-4100" /> <meta itemprop="url" content="http://www.shinagawa-culture.or.jp" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="https://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="140-0011" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">品川区</span> <span itemprop="streetAddress">東大井5丁目18-1</span> </div> <a href="/node/1729"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;markers=東京都品川区東大井5丁目18-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="品川区立総合区民会館 きゅりあんの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=37889&date=2020-11-16&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="30400">30400円</span> (税別) / 33,440円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=37889&date=2020-11-16&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-08-25T15:16:46+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="20000">20000円</span> (税別) / 22,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=37889&date=2020-11-16&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-08-25T15:16:46+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="30400" /> <meta itemprop="lowPrice" content="20000" /> <meta itemprop="highPrice" content="30400" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/SoldOut" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=37889&date=2020-11-16&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-08-25T15:16:46+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>会場受講 / アーカイブ配信対応セミナー</h3> <p>会場受講 または オンラインセミナー (アーカイブ配信) のいずれかをご選択いただけます。<br /> お申し込みの際、受講方法の欄にて、会場受講またはオンライン受講をご指定ください。<br /> オンラインセミナーの申込み受付の締切日も、会場受講のセミナー開催日までです。ご注意ください。​</p> <p>オンラインセミナーをご選択の場合、以下の流れ・受講内容となります。<br /> ※会場で受講の場合、このサービスは付与されませんのでご注意ください。</p> <ul> <li>当日のセミナーを、後日にお手元のPCやスマホ・タブレッドなどからご視聴・学習することができます。</li> <li>お申し込み前に、 <a href="https://logic-design.zendesk.com/hc/ja/articles/115001376193#spec-environment">視聴環境</a> をご確認いただき、 <a href="https://logic-design.zendesk.com/hc/ja/articles/115001336974">視聴テスト</a> にて動作確認をお願いいたします。</li> <li>後日(開催終了後から10日以内を目途)に、メールにてご連絡申し上げます。</li> <li>視聴期間は10日間です。ご視聴いただけなかった場合でも期間延長いたしませんのでご注意ください。</li> <li>セミナー資料は印刷・郵送いたします。</li> <li>このセミナーに関する質問に限り、後日に講師にメールで質問可能です。(テキストに講師の連絡先を掲載)</li> </ul> <h3>複数名受講割引</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,000円(税別) / 41,800円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」とご記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul> <h3>オンライン受講割引</h3> <ul> <li>オンライン受講の場合、1名様 30,400円(税別) / 33,440円(税込) で受講いただだけます。</li> <li>2名様以上でお申込みの場合、1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 30,400円(税別) / 33,440円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)</li> </ul></li> <li>申込みフォームの受講方法から「オンライン」をご選択ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=37889&date=2020-11-16&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-place">会場</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=37889&date=2020-11-16&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=37889&date=2020-11-16&title=ALE+%28%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF+%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC+%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%29+%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E6%9C%AC%E5%8E%9F%E7%90%86%E3%81%A8%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%80%81%E4%BB%8A%E5%BE%8C%E3%81%AE%E5%B1%95%E6%9C%9B">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/37889/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> ALD (Atomic Layer Deposition / 原子層堆積法) エッチング ドライエッチング 半導体 Tue, 25 Aug 2020 06:15:44 +0000 admin 37889 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2020-03-19-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8-%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0-ALE <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/35240"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージ およびアトミックレイヤーエッチング(ALE)</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～ドライエッチングのプロと材料メーカーエンジニアのための特別講座～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OfflineEventAttendanceMode"> 会場 開催 </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/35240/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=35240&date=2020-03-19&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8+%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%28ALE%29">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/35240/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field"> <p>関連するセミナーとの同時申し込みで特別割引にて受講いただけます。</p> <ul> <li><a href="/node/35241">2020年3月18日,19日「ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)」</a><br /> 通常受講料 : 88,770円(税込) → 全2コース申込 割引受講料 73,150円(税込)</li> </ul></div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) までを詳説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2020-03-19T10:30:00+09:00">2020年3月19日(木) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2020-03-19T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2020-03-19T16:00:00+09:00">16時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2020-03-19T16:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventCancelled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>マルチパターニングや3D NANDのHARCエッチングを始めとした、ドライエッチングの最新の技術動向</li> <li>プラズマダメージの発生メカニズムから対策まで</li> <li>最近ホットな話題となっているアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) の原理、応用</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　半導体デバイスの微細化・高集積化が進むにつれ、ドライエッチングに課せられる要求はますます厳しくなってきており、10nmノード以降では原子レベルで表面反応を制御するアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) が必要となってきています。本セミナーでは、ドライエッチングの最新技術動向、プラズマダメージ、およびALEについて分かりやすく解説します。<br /> 　最新技術動向では、Low-k Cuダマシンエッチング、メタルゲート/High-kエッチング、FinFETエッチング、3D IC用エッチング技術、さらには最近注目されているマルチパターニングや3D NANDのHARCエッチングについて具体的なプロセスフローを用いて詳細に解説します。<br /> 　プラズマダメージに関してはチャージアップの発生メカニズム、各種エッチング装置のチャージアップアップ評価について解説し、プロセス面、ハードウェア面、デバイスデザインルール面からの対策方法を明らかにします。ここでは、生産現場で実際に起こった不良事例も紹介します。<br /> 　アトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) に関しては最初に原理と特徴について解説し、次にSi やGaN、AlGaNのALEで実際にその特徴が実現できることを示します。さらには10nmロジックデバイスへの適用が始まったSiO2のALEについて詳細に解説します。<br /> 　本セミナーは、長年半導体の製造現場に近い所で仕事をしていた講師の体験に基づいておりますので、実践的で密度の濃い内容になっており、ドライエッチングのプロを目指す方に最適な講座となっています。また、半導体材料メーカーのエンジニアの方々がドライエッチングの最新技術動向を理解し、また自分たちの技術が先端デバイスの中でどのように使われているのかを理解するのにも役立つセミナーです。</p> <ol> <li>最新技術動向 <ol> <li>Low-k Cuダマシンエッチング</li> <li>メタルゲート/ High-kエッチング</li> <li>FinFETエッチング</li> <li>マルチパターニング <ol> <li><span class="caps">SADP</span></li> <li><span class="caps">SAQP</span></li> </ol></li> <li>3D <span class="caps">NAND</span>/DRAM用HARCエッチング</li> <li>3D IC用エッチング技術</li> </ol></li> <li>ドライエッチングダメージ <ol> <li>Si表面に導入されるダメージ</li> <li>チャージアップダメージ <ol> <li>チャージアップダメージの評価方法</li> <li>チャージアップの発生メカニズム</li> <li>各種エッチング装置のチャージアップ評価とその低減法</li> <li>パターンに起因したゲート酸化膜破壊</li> <li>デバイスデザインルールによるチャージアップダメージ対策</li> <li>チャージアップダメージによる不良事例</li> </ol></li> </ol></li> <li>アトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) <ol> <li>ALEの歴史</li> <li>今なぜALEが必要か</li> <li>ALEの原理と特徴</li> <li>SiのALE</li> <li>GaN,AlGaNのALE</li> <li>SiO2のALE</li> </ol></li> <li>おわりに ～ドライエッチング技術の今後の課題と展望～</li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/20410"><span itemprop="name">野尻 一男</span></a> 氏 <div>ナノテクリサーチ</div> <div>代表</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%9D%B1%E4%BA%AC%E6%B5%81%E9%80%9A%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC">東京流通センター</a> <p>2F 第1会議室</p> <meta itemprop="name" content="東京流通センター" /> <meta itemprop="telephone" content="" /> <meta itemprop="url" content="" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="https://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="143-0006" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">大田区</span> <span itemprop="streetAddress">平和島6-1-1</span> </div> <a href="/node/1831"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都大田区平和島6-1-1&amp;markers=東京都大田区平和島6-1-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="東京流通センターの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=35240&date=2020-03-19&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8+%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%28ALE%29">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="38000">38000円</span> (税別) / 41,800円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=35240&date=2020-03-19&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8+%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%28ALE%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-03-02T13:45:29+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="20000">20000円</span> (税別) / 22,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=35240&date=2020-03-19&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8+%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%28ALE%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-03-02T13:45:29+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="38000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="20000" /> <meta itemprop="highPrice" content="38000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=35240&date=2020-03-19&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8+%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%28ALE%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-03-02T13:45:29+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講の割引特典について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 22,500円(税別) / 24,750円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 42,700円(税別) / 46,970円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 45,000円(税別) / 49,500円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 67,500円(税別) / 74,250円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 10,000円(税別) / 11,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul> <h3>全2コース申込セット受講料について</h3> <ul> <li>通常受講料 : 88,770円(税込) → 全2コース申込 割引受講料 73,150円(税込)</li> <li>通常受講料 : 80,700円(税別) → 全2コース申込 割引受講料 66,500円(税別)</li> </ul> <h4>2日間コースのお申込み</h4> <ul> <li><a href="/node/35241">2020年3月18日,19日「ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)」</a></li> </ul> <h4>割引対象セミナー</h4> <ul> <li><a href="/node/35239">2020年3月18日「ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御」</a> <ul> <li>受講料 : 38,000円(税別) / 41,040円(税込)</li> </ul></li> <li><a href="/node/35240">2020年3月19日「ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージおよびアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>)」</a> <ul> <li>受講料 : 42,700円(税別) / 46,970円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=35240&date=2020-03-19&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8+%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%28ALE%29">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-place">会場</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=35240&date=2020-03-19&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8+%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%28ALE%29">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=35240&date=2020-03-19&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E3%81%AE%E6%9C%80%E6%96%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8+%E3%81%8A%E3%82%88%E3%81%B3%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%28ALE%29">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/35240/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> 表面処理 エッチング ドライエッチング Sun, 09 Feb 2020 09:19:00 +0000 admin 35240 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2020-03-18-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/35239"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～ドライエッチングのプロと材料メーカーエンジニアのための特別講座 / 半導体の生産で実際に使われているドライエッチングプロセス・装置がわかる / 極力数式を使わないでドライエッチングのメカニズムがわかる～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OfflineEventAttendanceMode"> 会場 開催 </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/35239/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=35239&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/35239/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field"> <p>関連するセミナーとの同時申し込みで特別割引にて受講いただけます。</p> <ul> <li><a href="/node/35241">2020年3月18日,19日「ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)」</a><br /> 通常受講料 : 88,770円(税込) → 全2コース申込 割引受講料 73,150円(税込)</li> </ul></div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2020-03-18T13:00:00+09:00">2020年3月18日(水) 13時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2020-03-18T13:00:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2020-03-18T17:00:00+09:00">17時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2020-03-18T17:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventCancelled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>ドライエッチングのメカニズムから応用まで</li> <li>ドライエッチングを支配するパラメータと制御法</li> <li>半導体の生産で実際に使われているドライエッチングプロセス・装置とその実践的な知識</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <p>　ドライエッチング技術は、半導体デバイスの微細化・高集積化を実現するためのキーテクノロジーです。しかしながら、プラズマを用いた物理化学反応でエッチングが進むため、電気、物理、化学の総合的な知識を必要とし、かつチャンバー内で起こっている現象が複雑なため理解を難しくしています。特に半導体材料メーカーのエンジニアの方々が、自分たちの技術との関連でドライエッチングを理解することはきわめて難しい状況にあります。<br /> 　本セミナーではドライエッチングのメカニズム、各種材料のエッチング、およびドライエッチング装置について分かりやすく解説します。セミナーでは、まずドライエッチングの基礎から始め、極力数式を使わないでドライエッチングのメカニズムが容易に理解できるよう解説します。各種材料のエッチングでは単なる各論にとどまらず、エッチングを支配するパラメータとその制御方法について詳細に解説します。ここではプラズマからから被エッチ膜表面への入射種とエッチ速度、選択比、形状との相関関係、およびこれら加工特性の制御手法について解説します。また、半導体製造に実際に使われている各種ドライエッチング装置に関し、プラズマ発生原理や特徴について解説するとともに、プロセスを制御する上で重要な役割を担っている静電チャックについても解説します。<br /> 　本セミナーは、長年半導体の製造現場に近い所で仕事をしていた講師の体験に基づいておりますので、実践的で密度の濃い内容になっており、入門としても、またドライエッチングのプロを目指す方にも最適な講座となっています。また、半導体材料メーカーのエンジニアの方々がドライエッチングの全体像を理解し、また自分たちの技術がどのように使われているのかを理解するのにも役立つセミナーです。</p> <ol> <li>はじめに ～半導体集積回路の発展とドライエッチング技術～ <ol> <li>ドライエッチングの概要</li> <li>LSIの高集積化にドライエッチング技術が果たす役割</li> </ol></li> <li>ドライエッチングのメカニズム <ol> <li>プラズマの基礎</li> <li>ドライエッチングの反応過程</li> <li>異方性エッチングのメカニズム</li> <li>エッチ速度</li> </ol></li> <li>各種材料のエッチング <ol> <li>ゲートエッチング <ol> <li>選択比を支配するキーパラメータ</li> <li>CDのウェハ面内均一性の制御</li> <li>Poly-Si、WSi2/Poly-S、W/Poly-Siゲートエッチング</li> </ol></li> <li>SiO2エッチング <ol> <li>SiO2エッチングのメカニズム</li> <li>選択比を支配するキーパラメータ</li> <li>形状制御</li> <li>高アスペクト比ホールエッチング、SACエッチング</li> </ol></li> <li>配線エッチング <ol> <li>Al配線エッチング</li> <li>Al配線の防食処理技術</li> <li>その他の配線材料のエッチング</li> </ol></li> </ol></li> <li>ドライエッチング装置 <ol> <li>CCPプラズマエッチャー</li> <li>マグネトロンRIE</li> <li>ECRプラズマエッチャー</li> <li>ICPプラズマエッチャー</li> <li>静電チャック</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/20410"><span itemprop="name">野尻 一男</span></a> 氏 <div>ナノテクリサーチ</div> <div>代表</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%9D%B1%E4%BA%AC%E6%B5%81%E9%80%9A%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC">東京流通センター</a> <p>2F 第1会議室</p> <meta itemprop="name" content="東京流通センター" /> <meta itemprop="telephone" content="" /> <meta itemprop="url" content="" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="https://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="143-0006" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">大田区</span> <span itemprop="streetAddress">平和島6-1-1</span> </div> <a href="/node/1831"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都大田区平和島6-1-1&amp;markers=東京都大田区平和島6-1-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="東京流通センターの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=35239&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="38000">38000円</span> (税別) / 41,800円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=35239&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-08-20T09:11:41+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="20000">20000円</span> (税別) / 22,000円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=35239&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-08-20T09:11:41+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="38000" /> <meta itemprop="lowPrice" content="20000" /> <meta itemprop="highPrice" content="38000" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=35239&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1" /> <meta itemprop="validFrom" content="2023-08-20T09:11:41+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講の割引特典について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 38,000円(税別) / 41,800円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 40,000円(税別) / 44,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 60,000円(税別) / 66,000円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul> <h3>全2コース申込セット受講料について</h3> <ul> <li>通常受講料 : 88,770円(税込) → 全2コース申込 割引受講料 73,150円(税込)</li> <li>通常受講料 : 80,700円(税別) → 全2コース申込 割引受講料 66,500円(税別)</li> </ul> <h4>2日間コースのお申込み</h4> <ul> <li><a href="/node/35241">2020年3月18日,19日「ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)」</a></li> </ul> <h4>割引対象セミナー</h4> <ul> <li><a href="/node/35239">2020年3月18日「ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御」</a> <ul> <li>受講料 : 38,000円(税別) / 41,040円(税込)</li> </ul></li> <li><a href="/node/35240">2020年3月19日「ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージおよびアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>)」</a> <ul> <li>受講料 : 42,700円(税別) / 46,970円(税込)</li> </ul></li> </ul></div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=35239&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-place">会場</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=35239&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=35239&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E3%81%AE%E5%88%B6%E5%BE%A1">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/35239/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> 表面処理 エッチング ドライエッチング Sun, 09 Feb 2020 09:16:35 +0000 admin 35239 at https://tech-seminar.jp https://tech-seminar.jp/seminar/2020-03-18-%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E5%88%B6%E5%BE%A1-%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%80%81%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0-2%E6%97%A5%E9%96%93 <link rel="amphtml" href="https://amp.tech-seminar.jp/35241"> <div itemscope itemtype="https://schema.org/Event"> <div class="field"> ドライエッチング : 2日間特別セミナー</div> <div class="field"> <h1 itemprop="name"> ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応制御 / 最新動向とプラズマダメージ、アトミックレイヤーエッチング (2日間)</h1> </div> <div class="field field-seminar-subtitle"> <span class="subtitle">～ドライエッチングのプロと材料メーカーエンジニアのための特別講座～</span> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-option"> <span class="option">東京都 開催</span> <span class="attendance_mode" itemprop="eventAttendanceMode" content="OfflineEventAttendanceMode"> 会場 開催 </span> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <ul class="links inline"> <li class="term first"><a href="/taxonomy/term/118" rel="tag" title="表面処理">表面処理</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1514" rel="tag" title="エッチング">エッチング</a></li><li class="term"><a href="/taxonomy/term/1631" rel="tag" title="ドライエッチング">ドライエッチング</a></li></ul> </div> </div> <div class="clear-block"> <div class="terms"> <a href="/node/35241/similar">関連するセミナー・出版物</a> </div> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"> <a href="/request/seminar?id=35241&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E5%88%B6%E5%BE%A1+%2F+%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%80%81%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%282%E6%97%A5%E9%96%93%29">セミナーの再開催を依頼する</a> <a href="/node/35241/similar">関連するセミナー・出版物を探す</a></div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-summary"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-summary">概要</h3> <div class="field-items"><div class="field-item" itemprop="description"> <p>本セミナーでは、ドライエッチングの基礎から最先端のアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) までを詳説いたします。</p></div> </div> </div> <div class="field field-type-date field-seminar-start"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-start">開催日</h3> <ul> <li> <abbr class="dtstart" title="2020-03-18T13:00:00+09:00">2020年3月18日(水) 13時00分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2020-03-18T13:00:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2020-03-18T17:00:00+09:00">17時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2020-03-18T17:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventCancelled" /> </li> <li> <abbr class="dtstart" title="2020-03-19T10:30:00+09:00">2020年3月19日(木) 10時30分</abbr> <meta itemprop="startDate" content="2020-03-19T10:30:00+09:00" /> ～ <abbr class="dtend" title="2020-03-19T16:00:00+09:00">16時00分</abbr> <meta itemprop="endDate" content="2020-03-19T16:00:00+09:00" /> <meta itemprop="eventStatus" content="EventCancelled" /> </li> </ul> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-learn-knowledge"> <h3 class="field-label">修得知識</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li>ドライエッチングのメカニズムから応用まで</li> <li>ドライエッチングを支配するパラメータと制御法</li> <li>半導体の生産で実際に使われているドライエッチングプロセス・装置とその実践的な知識</li> <li>マルチパターニングや3D NANDのHARCエッチングを始めとした、ドライエッチングの最新の技術動向</li> <li>プラズマダメージの発生メカニズムから対策まで</li> <li>最近ホットな話題となっているアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) の原理、応用</li> </ul></div> </div> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-program"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-program">プログラム</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <h4><a href="/node/35239">2020年3月18日「ドライエッチング技術の基礎とプラズマ・表面反応の制御」</a></h4> <p>　ドライエッチング技術は、半導体デバイスの微細化・高集積化を実現するためのキーテクノロジーです。しかしながら、プラズマを用いた物理化学反応でエッチングが進むため、電気、物理、化学の総合的な知識を必要とし、かつチャンバー内で起こっている現象が複雑なため理解を難しくしています。特に半導体材料メーカーのエンジニアの方々が、自分たちの技術との関連でドライエッチングを理解することはきわめて難しい状況にあります。<br /> 　本セミナーではドライエッチングのメカニズム、各種材料のエッチング、およびドライエッチング装置について分かりやすく解説します。セミナーでは、まずドライエッチングの基礎から始め、極力数式を使わないでドライエッチングのメカニズムが容易に理解できるよう解説します。各種材料のエッチングでは単なる各論にとどまらず、エッチングを支配するパラメータとその制御方法について詳細に解説します。ここではプラズマからから被エッチ膜表面への入射種とエッチ速度、選択比、形状との相関関係、およびこれら加工特性の制御手法について解説します。また、半導体製造に実際に使われている各種ドライエッチング装置に関し、プラズマ発生原理や特徴について解説するとともに、プロセスを制御する上で重要な役割を担っている静電チャックについても解説します。<br /> 　本セミナーは、長年半導体の製造現場に近い所で仕事をしていた講師の体験に基づいておりますので、実践的で密度の濃い内容になっており、入門としても、またドライエッチングのプロを目指す方にも最適な講座となっています。また、半導体材料メーカーのエンジニアの方々がドライエッチングの全体像を理解し、また自分たちの技術がどのように使われているのかを理解するのにも役立つセミナーです。</p> <ol> <li>はじめに ～半導体集積回路の発展とドライエッチング技術～ <ol> <li>ドライエッチングの概要</li> <li>LSIの高集積化にドライエッチング技術が果たす役割</li> </ol></li> <li>ドライエッチングのメカニズム <ol> <li>プラズマの基礎</li> <li>ドライエッチングの反応過程</li> <li>異方性エッチングのメカニズム</li> <li>エッチ速度</li> </ol></li> <li>各種材料のエッチング <ol> <li>ゲートエッチング <ol> <li>選択比を支配するキーパラメータ</li> <li>CDのウェハ面内均一性の制御</li> <li>Poly-Si、WSi2/Poly-S、W/Poly-Siゲートエッチング</li> </ol></li> <li>SiO2エッチング <ol> <li>SiO2エッチングのメカニズム</li> <li>選択比を支配するキーパラメータ</li> <li>形状制御</li> <li>高アスペクト比ホールエッチング、SACエッチング</li> </ol></li> <li>配線エッチング <ol> <li>Al配線エッチング</li> <li>Al配線の防食処理技術</li> <li>その他の配線材料のエッチング</li> </ol></li> </ol></li> <li>ドライエッチング装置 <ol> <li>CCPプラズマエッチャー</li> <li>マグネトロンRIE</li> <li>ECRプラズマエッチャー</li> <li>ICPプラズマエッチャー</li> <li>静電チャック</li> </ol></li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol> <h4><a href="/node/35240">2020年3月19日「ドライエッチングの最新技術動向とプラズマダメージおよびアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>)」</a></h4> <p>　半導体デバイスの微細化・高集積化が進むにつれ、ドライエッチングに課せられる要求はますます厳しくなってきており、10nmノード以降では原子レベルで表面反応を制御するアトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) が必要となってきています。本セミナーでは、ドライエッチングの最新技術動向、プラズマダメージ、およびALEについて分かりやすく解説します。<br /> 　最新技術動向では、Low-k Cuダマシンエッチング、メタルゲート/High-kエッチング、FinFETエッチング、3D IC用エッチング技術、さらには最近注目されているマルチパターニングや3D NANDのHARCエッチングについて具体的なプロセスフローを用いて詳細に解説します。<br /> 　プラズマダメージに関してはチャージアップの発生メカニズム、各種エッチング装置のチャージアップアップ評価について解説し、プロセス面、ハードウェア面、デバイスデザインルール面からの対策方法を明らかにします。ここでは、生産現場で実際に起こった不良事例も紹介します。<br /> 　アトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) に関しては最初に原理と特徴について解説し、次にSi やGaN、AlGaNのALEで実際にその特徴が実現できることを示します。さらには10nmロジックデバイスへの適用が始まったSiO2のALEについて詳細に解説します。<br /> 　本セミナーは、長年半導体の製造現場に近い所で仕事をしていた講師の体験に基づいておりますので、実践的で密度の濃い内容になっており、ドライエッチングのプロを目指す方に最適な講座となっています。また、半導体材料メーカーのエンジニアの方々がドライエッチングの最新技術動向を理解し、また自分たちの技術が先端デバイスの中でどのように使われているのかを理解するのにも役立つセミナーです。</p> <ol> <li>最新技術動向 <ol> <li>Low-k Cuダマシンエッチング</li> <li>メタルゲート/ High-kエッチング</li> <li>FinFETエッチング</li> <li>マルチパターニング <ol> <li><span class="caps">SADP</span></li> <li><span class="caps">SAQP</span></li> </ol></li> <li>3D <span class="caps">NAND</span>/DRAM用HARCエッチング</li> <li>3D IC用エッチング技術</li> </ol></li> <li>ドライエッチングダメージ <ol> <li>Si表面に導入されるダメージ</li> <li>チャージアップダメージ <ol> <li>チャージアップダメージの評価方法</li> <li>チャージアップの発生メカニズム</li> <li>各種エッチング装置のチャージアップ評価とその低減法</li> <li>パターンに起因したゲート酸化膜破壊</li> <li>デバイスデザインルールによるチャージアップダメージ対策</li> <li>チャージアップダメージによる不良事例</li> </ol></li> </ol></li> <li>アトミックレイヤーエッチング (<span class="caps">ALE</span>) <ol> <li>ALEの歴史</li> <li>今なぜALEが必要か</li> <li>ALEの原理と特徴</li> <li>SiのALE</li> <li>GaN,AlGaNのALE</li> <li>SiO2のALE</li> </ol></li> <li>おわりに ～ドライエッチング技術の今後の課題と展望～</li> <ul> <li>質疑応答・名刺交換</li> </ul> </ol></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-lecturer"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-lecturer">講師</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"> <ul> <li><div class="field-item" itemprop="performers" itemscope itemtype="https://schema.org/Person"> <a href="/node/20410"><span itemprop="name">野尻 一男</span></a> 氏 <div>ナノテクリサーチ</div> <div>代表</div> </div> </li> </ul> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field field-type-text field-seminar-place"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-place">会場</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="location" itemscope itemtype="https://schema.org/Place"> <a href="/place/%E6%9D%B1%E4%BA%AC%E6%B5%81%E9%80%9A%E3%82%BB%E3%83%B3%E3%82%BF%E3%83%BC">東京流通センター</a> <meta itemprop="name" content="東京流通センター" /> <meta itemprop="telephone" content="" /> <meta itemprop="url" content="" /> <div itemprop="address" itemscope itemtype="https://schema.org/PostalAddress"> <meta itemprop="addressCountry" content="日本" /> <meta itemprop="postalCode" content="143-0006" /> <span itemprop="addressRegion">東京都</span> <span itemprop="addressLocality">大田区</span> <span itemprop="streetAddress">平和島6-1-1</span> </div> <a href="/node/1831"><img class="staticmap" src="//maps.googleapis.com/maps/api/staticmap?center=東京都大田区平和島6-1-1&amp;markers=東京都大田区平和島6-1-1&amp;size=712x270&amp;zoom=16&amp;sensor=false&amp;key=AIzaSyB8IHtYT9FEZ9C5DbHmMhAfDliI9iEJQX8" alt="東京流通センターの地図" /></a> </div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">主催</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item"><a href="/company/science-t.com">サイエンス＆テクノロジー 株式会社</a></div> <div class="field-item">お支払い方法、キャンセルの可否は、必ずお申し込み前にご確認をお願いいたします。</div> </div> </div> <div class="field"> <h3 class="field-label">お問い合わせ</h3> <div class="field-item">本セミナーに関するお問い合わせは <a href="/contact/webadmin?id=35241&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E5%88%B6%E5%BE%A1+%2F+%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%80%81%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%282%E6%97%A5%E9%96%93%29">tech-seminar.jpのお問い合わせ</a>からお願いいたします。</div> <div class="field-item">(主催者への直接のお問い合わせはご遠慮くださいませ。)</div> </div> <div class="field field-type-number-integer field-seminar-fee"> <h3 class="field-label" id="field-seminar-fee">受講料</h3> <div class="field-items"> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">1名様</div> : <span itemprop="price" content="66500">66500円</span> (税別) / 73,150円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=35241&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E5%88%B6%E5%BE%A1+%2F+%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%80%81%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%282%E6%97%A5%E9%96%93%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-03-02T13:44:55+09:00" /> </div> <div class="field-item" itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/Offer"> <div class="field-label-inline-first">複数名</div> : <span itemprop="price" content="35000">35000円</span> (税別) / 38,500円 (税込) <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=35241&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E5%88%B6%E5%BE%A1+%2F+%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%80%81%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%282%E6%97%A5%E9%96%93%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-03-02T13:44:55+09:00" /> </div> <div itemprop="offers" itemscope itemtype="https://schema.org/AggregateOffer"> <meta itemprop="price" content="66500" /> <meta itemprop="lowPrice" content="35000" /> <meta itemprop="highPrice" content="66500" /> <meta itemprop="priceCurrency" content="JPY" /> <link itemprop="availability" href="https://schema.org/Discontinued" /> <meta itemprop="url" content="https://tech-seminar.jp/order/science-t.com/seminar?id=35241&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E5%88%B6%E5%BE%A1+%2F+%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%80%81%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%282%E6%97%A5%E9%96%93%29" /> <meta itemprop="validFrom" content="2020-03-02T13:44:55+09:00" /> </div> </div> </div> <div class="field field-type-text"> <h3>複数名同時受講の割引特典について</h3> <ul> <li>2名様以上でお申込みの場合、<br /> 1名あたり 35,000円(税別) / 38,500円(税込) で受講いただけます。 <ul> <li>1名様でお申し込みの場合 : 1名で 66,500円(税別) / 73,150円(税込)</li> <li>2名様でお申し込みの場合 : 2名で 70,000円(税別) / 77,000円(税込)</li> <li>3名様でお申し込みの場合 : 3名で 105,000円(税別) / 115,500円(税込)</li> </ul></li> <li>同一法人内 (グループ会社でも可) による複数名同時申込みのみ適用いたします。</li> <li>受講券、請求書は、代表者にご郵送いたします。</li> <li>請求書および領収書は1名様ごとに発行可能です。<br /> 申込みフォームの通信欄に「請求書1名ごと発行」と記入ください。</li> <li>他の割引は併用できません。</li> </ul> <h3>アカデミー割引</h3> <p>教員、学生および医療従事者はアカデミー割引価格にて受講いただけます。</p> <ul> <li>1名様あたり 20,000円(税別) / 22,000円(税込)</li> <li>企業に属している方(出向または派遣の方も含む)は、対象外です。</li> <li>お申込み者が大学所属名でも企業名義でお支払いの場合、対象外です。</li> </ul> </div> <div class="field"> <div>本セミナーは終了いたしました。</div><div class="contact"><a href="/request/seminar?id=35241&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E5%88%B6%E5%BE%A1+%2F+%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%80%81%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%282%E6%97%A5%E9%96%93%29">セミナーの再開催を依頼する</a></div> </div> </div> <div class="topnav"> <a href="#header-region">ページのトップヘ</a> </div> <div id="nav-fixed"> <h2>ページ内で移動</h2> <ul> <li><a href="#header-region">ページのトップ</a></li> <li><a href="#field-seminar-summary">概要</a></li> <li><a href="#field-seminar-start">開催日</a></li> <li><a href="#field-seminar-program">プログラム</a></li> <li><a href="#field-seminar-lecturer">講師</a></li> <li><a href="#field-seminar-place">会場</a></li> <li><a href="#field-seminar-fee">受講料</a></li> <li><a href="/request/seminar?id=35241&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E5%88%B6%E5%BE%A1+%2F+%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%80%81%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%282%E6%97%A5%E9%96%93%29">セミナーの再開催を依頼する</a></li> <li><a href="/contact/webadmin?id=35241&date=2020-03-18&title=%E3%83%89%E3%83%A9%E3%82%A4%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0%E6%8A%80%E8%A1%93%E3%81%AE%E5%9F%BA%E7%A4%8E%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%BB%E8%A1%A8%E9%9D%A2%E5%8F%8D%E5%BF%9C%E5%88%B6%E5%BE%A1+%2F+%E6%9C%80%E6%96%B0%E5%8B%95%E5%90%91%E3%81%A8%E3%83%97%E3%83%A9%E3%82%BA%E3%83%9E%E3%83%80%E3%83%A1%E3%83%BC%E3%82%B8%E3%80%81%E3%82%A2%E3%83%88%E3%83%9F%E3%83%83%E3%82%AF%E3%83%AC%E3%82%A4%E3%83%A4%E3%83%BC%E3%82%A8%E3%83%83%E3%83%81%E3%83%B3%E3%82%B0+%282%E6%97%A5%E9%96%93%29">このセミナーについて<br />問い合わせる</a></li> <li><a href="/node/35241/similar">関連セミナー・出版物</a></li> </ul> </div> 表面処理 エッチング ドライエッチング Sun, 09 Feb 2020 09:21:55 +0000 admin 35241 at https://tech-seminar.jp