パルス化したDCプラズマCVDによる
DLC膜コーティングの低コスト化と密着性向上および機能材料としての応用
個別相談付き
低価格で密着性がよく膜質の制御が簡単にできるコーティング方法を習得し、製品への応用を急げ!
概要
本セミナーでは、DLC膜のコーティングに関する基礎知識と応用について、これまでの研究成果や実用化に取り組んでいる状況をもとに詳解いたします。
個別相談の時間を設け、講師がご相談に乗ります
開催日
2010年3月29日(月) 13時00分~17時00分
2010年3月30日(火) 9時30分~16時30分
受講対象者
- 以下の関連企業の方
- 自動車
- 工具
- 治工具 (ローラ、ガイド)
- 金型
- 太陽電池
- コンデンサ
- 燃料電池
- 以下、要望がある技術者、研究開発者、経営者
- DLCに関する基礎知識を得たい方
- DLCのコーティングに取り組みたい方
- DLCのコーティングについての問題点を解決したい方
修得知識
- DLC膜に関する基礎知識
- DLC膜の種々の部材へのコーティング方法についての知識
- 基礎技術となるダイヤモンドの成膜
- ダイヤモンドのコーティングについての知識
- 太陽電池や電極としての利用についての知識
- 個別相談の時間を設け、講師がご相談に乗ります
予備知識
- 理工系の学部卒程度を想定し、大学院の集中講義のようにおこないます。
- 内容がいくつかの専門分野に関連しますので、受講者の専門や知識の程度に対応して理解できるように講義いたします。
プログラム
- DLC (Diamond Like Carbon) の成膜の基礎
- ダイヤモンド膜の特徴と物性
- グラファイト膜の特徴と物性
- DLC膜の微細構造と特徴
- カーボンの結合と軌道
- プラズマの発光分析
- PVD (Physical Vapor Deposition) による成膜
- CVD (Chemical Vapor Deposition) による成膜
- DLC膜のコーティングに対する要望と対応
- 放電を間欠化して成膜したときの特徴
- 放電の間欠化による膜質の改善
- 補助電極を用いる成膜法
- ガス圧力による膜質の変化
- 絶縁体への成膜法
- 放電をパルス化したDCプラズマCVDによる成膜法
- パルス電源の作製
- パルスの繰り返し周波数とデューティ比による制御
- アルミ板上への成膜
- 大気圧近傍の高いガス圧力での成膜
- パルス放電プラズマCVDによるDLC膜のコーティング
- パルス放電プラズマCVDによるDLCの成膜法
- チタン板へのコーティング
- 鉄系材料へのコーティング
- 工具へのコーティング
- 金型へのコーティング
- 機能材料としての応用
- ガラス板上への成膜
- 太陽電池への応用とバンドギャップ制御
- 微細構造と光導電性
- 触媒を利用した多孔質カーボン電極の作製
- 大容量コンデンサの電極としての利用
DLC (Diamond Like Carbon) は、ダイヤモンドとグラファイトを形成する結合が混在しているカーボン膜であり、高硬度で耐摩耗性がある、低摩擦係数ですべりがよい、アモルファスであるため平滑性がよい、などの特徴があるため、工具、部材の摺動部分、金型、などの表面へのコーティング材料として注目され実用化が急速に進展しています。このような状況の中で、低価格で密着性がよく膜質の制御が簡単にできるコーティング方法が求められており、その方法として、放電をパルス化したDCプラズマCVD (Chemical vapor Deposition) に取り組んできました。
本講座では、この方法を中心として、DLC膜のコーティングに関する基礎知識と応用について、これまでの研究成果や実用化に取り組んでいる状況をもとにして講義します。一方、半導体としても、広い範囲でバンドギャップが変えられる、化学的に安定である、資源が豊富で環境負荷が少ない、などの特長を有しており、太陽電池用材料としての基礎研究もおこなってきました。また、触媒を用いると、多孔質カーボン膜を作製することもでき、大容量コンデンサや燃料電池の電極としての利用も可能ですので、これらについての話もします。
会場
株式会社日本テクノセンター 研修室 (東京・西新宿)